公开(公告)号：CN105258688B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201510726924.4

申请日：2015-10-30

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 庄海涵 ,  王岩 ,  邢朝洋 ,  刘福民 ,  刘国文 ,  徐宇新 ,  张玲

IPC: G01C19/5614 ,  G01C19/5621

Abstract: 本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应力的到充分的释放，谐振音叉的谐振频率不受热应力的影响。音叉振动时，轴向产生微弱的位移牵动质量块振动，并牵连另一侧音叉形成振动耦合。两个音叉的振动频率相同时，振动频率不随载荷的变化而变化，形成灵敏度死区。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以本发明将加速度计结构整体分为对称的两部分，中间两个质量块由质量块支撑梁分别支撑，将灵敏度死区缩小到最小水平。

公开(公告)号：CN105258688A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510726924.4

申请日：2015-10-30

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 庄海涵 ,  王岩 ,  邢朝洋 ,  刘福民 ,  刘国文 ,  徐宇新 ,  张玲

IPC: G01C19/5614 ,  G01C19/5621

CPC classification number: G01C19/5614 ,  G01C19/5621

Abstract: 本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应力的到充分的释放，谐振音叉的谐振频率不受热应力的影响。音叉振动时，轴向产生微弱的位移牵动质量块振动，并牵连另一侧音叉形成振动耦合。两个音叉的振动频率相同时，振动频率不随载荷的变化而变化，形成灵敏度死区。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以本发明将加速度计结构整体分为对称的两部分，中间两个质量块由质量块支撑梁分别支撑，将灵敏度死区缩小到最小水平。