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公开(公告)号：CN222729880U
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202421395142.8
申请日：2024-06-18
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本申请提供了一种上电极装置及磁控溅射设备，上电极装置包括磁控部件、冷却腔、套筒组件、空心轴以及驱动机构，冷却腔的底部固定设置有靶材组件，磁控部件设置在冷却腔中；空心轴部分穿入冷却腔中，空心轴内部设有介质通道，介质通道用于向冷却腔内输送冷却液；套筒组件套设在空心轴的外周，空心轴和套筒组件中的一者固定设置，另一者与磁控部件相连，并连接驱动机构，用于带动磁控部件绕空心轴转动。冷却液由介质通道输送入冷却腔中。磁控部件绕空心轴转动，带动冷却液流动，使冷却液在冷却腔内均匀扩散，提高冷却液的流动路径，进而提高靶材组件降温效率。另外，冷却液在冷却腔内可分布得更加均匀，提高了靶材组件降温的均匀性。
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