-
公开(公告)号：CN210420141U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921035886.8
申请日：2019-07-04
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型提供的磁控管，包括极性相反的内磁极和外磁极，外磁极包围内磁极设置，且内磁极和外磁极之间具有间隙，并且，在内磁极的延伸方向上不同位置处至旋转中心的距离不同。在本实用新型中，对内磁极的分部半径进行调整，使内磁极不同分部至旋转中心的距离不同，如此设置，即便在高气压且射频与直流同时溅射时，也能够实现全靶腐蚀，避免靶材腐蚀不均匀的现象产生。本实用新型还提供了一种磁控溅射设备。
Search Results
31
records
(took 0.037 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
