公开(公告)号：CN109844960A

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201680089834.1

申请日：2016-10-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  桥上洋 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明是一种太阳能电池的制造方法，其特征是具有：准备在至少一方的主表面上具有通过烧成电极前驱体而形成的电极、具有PN结的未满100℃的半导体硅基板的步骤，与将前述半导体硅基板在100℃以上450℃以下进行退火处理的步骤。由此，提供一种可以抑制只在室温·大气中放置着就使太阳能电池的输出降低这种劣化现象的制造太阳能电池的方法。

公开(公告)号：CN106796964A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201580044524.3

申请日：2015-06-12

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/0256 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/068 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0288 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0256 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/546 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明是一种太阳能电池，其具有掺杂有镓且形成有pn结的硅基板，所述太阳能电池的特征在于，在所述硅基板的主表面中的至少具有p型区域的第一主表面设置有热氧化硅膜，并且所述硅基板进一步掺杂有硼。由此，本发明提供一种太阳能电池及太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池具有作为基板表面钝化膜的热氧化硅膜，并且能够抑制光劣化，同时具有高转换效率。

公开(公告)号：CN103059666B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210548232.1

申请日：2012-09-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 月形信太郎 ,  松冈敏文 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: C09D129/04 ,  C09D129/14 ,  C09D131/04 ,  C09D7/12 ,  H01L31/18

CPC classification number: C23C10/00 ,  C23C10/18 ,  C23C10/20 ,  C23C10/60 ,  C23C28/042 ,  C23C28/048 ,  H01L21/2225 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种涂布液，其包括硼化合物、有机粘结剂、硅化合物、氧化铝前体，以及水和/或有机溶剂，该涂布液用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层。将该涂布液旋涂到衬底上以形成具有足够量杂质的均匀涂层，由此在其上形成具有平面均匀性的p型扩散层。

公开(公告)号：CN102598308B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201080050384.8

申请日：2010-05-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 桥上洋 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/068 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/02167 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1868 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了太阳能电池，其包括：具有受光面和非受光面的半导体基板；形成于半导体基板上的pn结；形成于受光面和/或非受光面上的钝化层；以及形成于受光面和非受光面上的电力提取电极。太阳能电池的特征在于，钝化层包括具有40nm或更少厚度的氧化铝膜。由于在基板表面上形成具有预定厚度的氧化铝膜，可以仅通过作为传统技术的烧成导电性糊获得优异的钝化性能以及在硅和电极之间的优异的电接触。此外，可省去过去为获得氧化铝膜的钝化效果所必需的退火步骤，由此显著地降低成本。

公开(公告)号：CN103339739A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201280007073.2

申请日：2012-01-25

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 远洞阳子 ,  三田怜 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/04 ,  B41N1/24

CPC classification number: B41N1/24 ,  B41N1/248 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及其中使用导电浆料来同时印刷母线电极和指状电极的太阳能电池的丝网印刷板，该丝网印刷板的特征在于：丝网印刷板的指状电极开口的开口宽度小于80μm，并且丝网印刷板的母线电极开口具有封闭部分。该丝网印刷板的使用使得有可能降低制造太阳能电池的成本，防止在母线电极与指状电极之间的连接部分断裂，从而不导致屏蔽损耗的增加或者太阳能电池的美学品质，以及以高生产率来制造高可靠性的太阳能电池。

公开(公告)号：CN103155163A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180035025.X

申请日：2011-07-12

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  高桥光人 ,  桥上洋 ,  村上贵志 ,  月形信太郎 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/02168 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/068 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/547

Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，对半导体基板，在电极形成工序之前实施退火工序。根据本发明，通过如上所述实施退火，能够不损害可靠性和外观，改善太阳能电池的电气特性。因此，可以广泛地利用于具有高电气特性和可靠性的太阳能电池的制造方法。

公开(公告)号：CN103038865A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180035789.9

申请日：2011-06-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 村上贵志 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L21/22

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/22 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67754

Abstract: 这里公开的热处理炉，用于半导体基片的热处理步骤中，其特征在于提供了柱形芯管，该柱形芯管的两端部有开口，该开口的尺寸设置成允许半导体基片插入芯管和从芯管中取出。这在连续的半导体热处理过程中减少了在批次之间的等待时间，从而提高生产率。而且，使用芯管结构的简单柱形降低了气体引入管部分失效的频率，从而降低了热处理方法的运行成本。

公开(公告)号：CN103026480A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180036171.4

申请日：2011-06-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 三田怜 ,  渡部武纪 ,  大塚宽之

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/00 ,  B65G49/06 ,  F27B9/06 ,  F27B9/24 ,  F27D3/12 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/18 ,  F27B9/243 ,  F27B17/00 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 公开了一种燃烧炉，用于烧制太阳能电池元件的电极，所述燃烧炉设置有：传送部件，其传送有导电膏涂于其上的衬底；加热区，其加热衬底并且烧制导电膏；以及冷却区，其冷却热衬底。该燃烧炉还设置有用于加热传送部件的加热装置。具体地，在使用线材型燃烧炉烧制导电膏时，由于线材是在基本等于加热区周围温度的温度上被烧制的，因此抑制了由于导电膏金属成分的沉积材料引起的电极损坏，所述沉积材料被沉积在线材上，以及所述线材型燃烧炉可以被连续使用。

公开(公告)号：CN1489793A

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN02804373.1

申请日：2002-01-30

Applicant: 信越半导体株式会社 ,  信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  大塚宽之 ,  高桥正俊 ,  生岛聪之 ,  阿部孝夫

IPC: H01L31/068

CPC classification number: H01L31/035281 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种太阳能电池1具有许多互相平行地形成在硅单晶衬底的第一主要表面24a上的沟槽2。电极6形成在每个沟槽的一侧的内侧面上。每个沟槽形成在和第一主要表面24a上的 方向不一致的方向上。这样提高了太阳能电池1的机械强度。沟槽2的形成方向最好和最靠近该形成方向的 方向在锐角一侧交叉成4度到45度的角度。

公开(公告)号：CN112601839B

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN201980055286.4

申请日：2019-06-13

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 渡部武纪 ,  桥上洋

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明为一种成膜方法，其是在成膜部对雾进行热处理而进行成膜的成膜方法，其包括：在雾化部将原料溶液雾化而产生雾的工序；经由连接所述雾化部和所述成膜部的输送部，通过载气将所述雾从所述雾化部输送至所述成膜部的工序；以及，在所述成膜部对所述雾进行热处理，从而在基体上进行成膜的工序，当将所述载气的流量设为Q(L/分)、将所述载气的温度设为T(℃)时，以7＜T+Q＜67的方式对所述载气的流量和所述载气的温度进行控制。由此可以提供一种成膜速度优异的成膜方法。