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公开(公告)号：CN102785422B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210293633.7
申请日：2012-08-17
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层，该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列，平均粒径为5-100nm，晶粒长度大于200nm，长度和粒径比大于2，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，V靶安装在中频阴极上，通入N2气，通过调节V靶的功率和N2的流量，在400℃～600℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。
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公开(公告)号：CN102785422A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210293633.7
申请日：2012-08-17
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纤维结构的氮化钒刀具涂层，该氮化钒刀具涂层中的氮化钒晶粒呈纤维状紧密排列，平均粒径为5-100nm，晶粒长度大于200nm，长度和粒径比大于2，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具润滑涂层。本发明还公开了一种纤维状结构的VN刀具涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，V靶安装在中频阴极上，通入N2气，通过调节V靶的功率和N2的流量，在400℃～600℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积得到纤维结构的VN刀具涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。
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公开(公告)号：CN102560355A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210007178.X
申请日：2012-01-11
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：将Si靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，Si靶和V靶通过挡板与基体隔离，先通入Ar气，进行预溅射，再通入N2气，通过调节Si靶的功率和V靶的功率，在350～600℃和0.3～1.0Pa条件下，沉积V-Si-N纳米复合硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于实施。本发明还公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层，成分表示为(V1-xSix)N，其中，1-x为0.7～0.98，x为0.02～0.3，兼具有高硬度和低摩擦系数的性能，沉积有该涂层的刀具加工效率高、加工质量好，具有很大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102534493A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210011554.2
申请日：2012-01-13
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，成分表示为(V1-xAlx)N，其中，1-x为0.41～0.6，x为0.4～0.59，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，将Al靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，通入Ar气和N2气，通过调节Al靶的功率和V靶的功率，在250℃～500℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。
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公开(公告)号：CN119082662A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411009401.3
申请日：2024-07-26
Applicant: 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明属于防护涂层领域，涉及一种多层结构的Cr基防护涂层及其制备方法。所述Cr基防护涂层为多个周期层，每个周期层由Cr层和Cr‑Al‑Si‑N层组成；所述Cr‑Al‑Si‑N层元素组成为CrxAlySizN1‑x‑y‑z，其中x、y、z为原子比，0.33≤x≤0.43，0.20≤y≤0.27，0.04≤z≤0.08；Cr‑Al‑Si‑N层为致密非晶中弥散分布纳米晶的两相复合结构。本发明提供的多层结构涂层结合了耐辐照性和耐高温氧化性的双重优势，表现出良好的综合防护性能，能够在复杂和恶劣的反应堆环境中为核燃料包壳管提供有效的保护。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112125705B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010947693.0
申请日：2020-09-10
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及高温腐蚀防护涂层领域，公开了一种SiC陶瓷的防护涂层及其制备方法，该防护涂层组成表示为MexO1‑x，其中x为原子百分比，0.6≤x≤1；Me选自Cr、CrAl、CrNi中任一种，所述CrAl为Cr为主元，与Al的固溶体结构，所述CrNi为Cr为主元，与Ni的固溶体结构，所述防护涂层采用磁控溅射法制备，利用射频辅助直流的电源来驱动Me靶，通过调节反应气体O2的有无及O2比例和其他工艺参数，在SiC陶瓷表面沉积得到不同结构的防护涂层。该防护涂层，可显著降低SiC陶瓷的腐蚀失重，失重率减少88％～97％。
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公开(公告)号：CN110616400B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201910905033.3
申请日：2019-09-24
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有耐高温水蒸气氧化和强韧性的叠层防护涂层，包括周期性交替沉积Cr‑N层和Cr‑Al‑Si‑N层，所述交替沉积的周期次数为4～40次；单元周期内Cr‑Al‑Si‑N层与Cr‑N层的厚度为0.19～2.5μm，其厚度比为2.8～5.2。本发明该公开了采用磁控溅射法制备上述叠层防护涂层的方法以及该叠层防护涂层在锆合金包壳材料中的应用。本发明制得的叠层防护涂层硬度可达15～22GPa，塑性指数表示可达0.55～0.67，抗塑性变形指数为0.07～0.09，可抵抗1200℃水蒸气腐蚀4小时，抗水蒸汽氧化能力相比单层结构的Cr‑Al‑Si‑N涂层提高了1.5～2倍。
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公开(公告)号：CN110484889B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201910905746.X
申请日：2019-09-24
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有耐高温水蒸汽氧化和耐热水腐蚀性能的多层防护涂层，包括：周期性交替沉积的Cr层和CrAlSiN层，涂层最表层为Cr层；所述交替沉积的周期次数为1～20次；单元周期内Cr层和CrAlSiN层的厚度为0.5～10μm，其厚度比为2：3～3：2。上述多层防护涂层采用磁控溅射法在锆合金基体表面交替沉积Cr层和CrAlSiN层而成，本发明还提供了上述方法制得的锆合金包壳。该多层防护涂层兼备正常工况下(600～650℃)的耐热水腐蚀和事故容错工况下(1000～1200℃)的抗高温水蒸汽氧化，有效地满足了轻水反应堆两种工况下的防护需求。
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公开(公告)号：CN109628901B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201811524624.8
申请日：2018-12-13
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种高韧性的MAX相陶瓷涂层，其成分组成为V2AlC，所述涂层为层状结构，生长尺度上主层的厚度为50～150nm，所述主层由若干层次层组成，所述次层的厚度为10～30nm。本发明还公开了上述MAX相陶瓷涂层的制备方法，采用磁控溅射法并辅助射频叠加直流的电源施加方式，在非晶基体上非外延生长出所述MAX相陶瓷涂层，该涂层的韧性指数δH为0.4～0.8，硬度为20GPa～25Gpa，具有很好的防护性能。
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公开(公告)号：CN109338303B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201811268095.X
申请日：2018-10-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种非晶与纳米晶复合的高硬度涂层，涂层组成为CrxAlySizN100‑x‑y‑z，其中52.0≤x≤55.5，15.3≤y≤20.2，3.3≤z≤6.7，x,y,z为原子比率，高硬度防护涂层为六方相的AlN纳米晶与非晶的两相复合结构，高硬度防护涂层的厚度为8～12μm、密度为4.9～5.7g/cm3。该涂层采用物理气相磁控溅射法制备，当真空度≤3×10‑5Pa时，通过对靶材进行选择、调节靶材的溅射功率密度和辅助等离子体射频电源的功率密度，对基体表面进行沉积，得到的防护涂层硬度可达18～23GPa，还可在较长时间内耐800～1200℃水蒸气氧化。
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