公开(公告)号：CN101354284B

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN200810200112.6

申请日：2008-09-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  宋朝辉 ,  李昕欣 ,  姜伟

IPC: G01H13/00

Abstract: 本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压阻加速度传感器发生共振，利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率：具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接，从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端，记录金属端面之间碰撞过程产生应变波，从对应变波的时域或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。

公开(公告)号：CN100397041C

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200410068145.1

申请日：2004-11-12

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  陈雪萌 ,  宋朝辉 ,  王跃林

IPC: G01C19/56 ,  B81B7/02 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度，实现陀螺灵敏度的温度自我补偿。其制备工艺是将体硅工艺和表面硅工艺相结合，用深反应离子刻蚀工艺完成主梁、微梁、扭转梁和质量块制作，最后将陀螺和盖板对准粘在一起完成制作。本发明提供的陀螺利用扩散在扭转梁上的四端器件实现压阻系数温度自我补偿，扦测时微梁没有弯曲，只有Z方向直拉直压。