公开(公告)号：CN108502843B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201810266220.7

申请日：2018-03-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  李杰 ,  申冲 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  黄堃 ,  张英杰

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法，具体是一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：在圆形硅基片的上表面生长第I氮化硅层；步骤b：在圆形硅基片的上表面刻蚀形成圆形凹腔；步骤c：将第I氮化硅层和第II氮化硅层去除；步骤d：在二氧化硅层的表面生长多晶硅层；步骤e：刻蚀形成第II圆环形窗口；步骤f：再次生长二氧化硅层；步骤g：将圆环形硅凸台腐蚀掉；步骤h：将二氧化硅层的暴露部分腐蚀掉。本发明适用于硅微杯形谐振陀螺的加工。

公开(公告)号：CN109405819A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811225125.9

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/5733

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列包括玻璃基底、第一正方形框架、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块；所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN108983121A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810574190.6

申请日：2018-06-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 黄堃 ,  马宗敏 ,  程林 ,  曹丽琴 ,  傅月平 ,  郑斗斗

IPC: G01R33/02

Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及其制作工艺，本发明将制备有NV色心系综的块状金刚石片进行磨边整形得到梯台状金刚石，随后通过薄膜生长工艺在金刚石上表面制备出多层介质组合的反射膜，并且在底部制备多层介质组合的截止滤波膜，两种光学功能膜包裹金刚石介质形成一个陷光结构，最后，在这个金刚石为主体的陷光结构上制备出环形微波天线，开凿通光孔，微组装激光二极管和光电二极管，实现集成的NV磁强计，本发明开创性的以金刚石为核心集成设计总体陷光腔结构和系统调制光子收集各功能部件，能够最大化提高固态原子磁强计灵敏度和减小器件体积。

公开(公告)号：CN108732518A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810701001.7

申请日：2018-06-29

Applicant: 中北大学

Inventor： 黄堃 ,  曹丽琴 ,  傅月平 ,  郑斗斗

IPC: G01R33/032

Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。

公开(公告)号：CN211012937U

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202020061983.0

申请日：2020-01-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 聂运龙 ,  黄堃 ,  刘鹏悦 ,  杨佳蓬

IPC: G01C9/00 ,  G08C17/02 ,  H02J7/35

Abstract: 本实用新型一种基于MEMS传感器的杆塔倾斜度无线监测系统属于杆塔倾角监测领域，采用的技术方案：包括微处理器模块、运动传感器模块、无线传输模块、电池模块、转换模块以及主控电脑，利用BMI160模块、AK8963模块负责姿态采集，传输给STM32F103CT86微处理器模块，在单片机内部对数据进行状态估算、动力学解算、数字滤波、卡尔曼滤波，单片机对数据进行解算后，利用无线串口通信模块将数据上传到主控电脑。

公开(公告)号：CN209700897U

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201920435758.6

申请日：2019-04-02

Applicant: 中北大学

Inventor： 黄堃 ,  孙雪晶 ,  满文龙

IPC: B63C9/105 ,  B63C9/19 ,  B63C9/20

Abstract: 本实用新型属于救生设备技术领域，具体涉及一种基于传感器和北斗卫星定位技术的智能救生衣；具体技术方案为：一种智能传感救生衣，包括衣身本体，衣身本体的上部布置有心率传感器、比较器、供电模块、定位模块、传感器模块、气室夹层和布置在气室夹层内的气体激发装置，心率传感器和比较器布置在衣身本体的心脏处，心率传感器检测心率变化以判断是否溺水，一旦心率变化速率达到阈值，心率传感器就会将电信号传到气体激发装置，气体激发装置内产生大量气体，气室夹层内的气囊迅速膨胀，将人的头部脱出水面，同时，定位模块将定位信号传输至救援中心，实现自救与求救双保障，该救生衣体积小，穿着轻巧灵便，舒适度高，便于携带。