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公开(公告)号：CN118676140A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202310731621.6
申请日：2023-06-20
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L27/07
Abstract: 实施方式涉及半导体装置。半导体装置具备：第一电极；第一导电型的第一半导体层，其与所述第一电极连接，包含硅及碳；第二导电型的多个第二半导体层，其配置于所述第一半导体层上的一部分，包含硅及碳；第一导电型的第三半导体层，其配置于所述第二半导体层上的一部分，包含硅及碳；第二导电型的第四半导体层，其配置于所述第一半导体层中的所述第二半导体层之间的部分，包含硅及碳；第二电极，其隔着绝缘膜而与所述第二半导体层对置；以及第三电极，其与所述第二半导体层及所述第三半导体层连接。
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公开(公告)号：CN117712138A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202211602911.2
申请日：2022-12-13
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 实施方式涉及半导体装置。半导体装置具备：第一电极；第二电极；第三电极，配置于第一电极与第二电极之间，沿第一方向延伸，具有第一部分和第二部分；第一导电型的第一半导体层，连接于第一电极，隔着绝缘层而与第一部分对置，且包含硅及碳；第一导电型的第二半导体层，连接于第二电极，包含硅及碳；第二导电型的第三半导体层，至少一部分配置于第一半导体层与第二半导体层之间，与第一半导体层及第二半导体层相接，隔着绝缘层而与第三电极对置，且包含硅及碳；第二导电型的第四半导体层，至少一部分配置于第一半导体层与第二部分之间，隔着绝缘层而与第二部分对置，与第三半导体层相接，包含硅及碳，且载流子浓度比第三半导体层的载流子浓度高。
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公开(公告)号：CN116825852A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202210790718.X
申请日：2022-07-05
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/872 , H01L29/06
Abstract: 半导体装置具备第一导电型的第一半导体层、第二导电型的第二至第五半导体层、第一及第二电极。第一及第二电极电连接于第一半导体层。第一半导体层具有活性区域和末端区域。第一半导体层在活性区域中设于第一及第二电极之间。第二半导体层设于第一半导体层与第二电极之间，在从第一电极朝向第二电极的第一方向上具有第一层厚。第三半导体层设于末端区域，包围第二半导体层，在第一方向上具有比第一层厚长的第二层厚。第四半导体层包围第二及第三半导体层，与第三半导体层分离，且在第一方向上具有比第二层厚短的第三层厚。第五半导体层连接于第二半导体层，在末端区域中连接于第三及第四半导体层。第三及第四半导体层设于第一与第五半导体层之间。
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公开(公告)号：CN115911126A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202210019639.9
申请日：2022-01-10
Applicant: 东芝电子元件及存储装置株式会社 , 株式会社东芝
Abstract: 半导体装置具有：包含与具有第1面和第2面的碳化硅层的第1面相接的第1区域的第1导电型的第1碳化硅区域；第1碳化硅区域与第1面之间的第2导电型的第2碳化硅区域；第2碳化硅区域与第1面之间的第2导电型的第3碳化硅区域；第2碳化硅区域与第1面之间的第1导电型的第4碳化硅区域；设置于第1面侧且在第1方向延伸的第1栅极电极；在第1方向延伸的第2栅极电极；包含第1部分和第2部分的第1电极以及设置于碳化硅层的第2面侧的第2电极，第1部分设置于第1面侧并设置于第1栅极电极与第2栅极电极之间，与第3及第4碳化硅区域相接，第2部分设置于第1栅极电极与第2栅极电极之间，设置于第1部分的第1方向，与第1区域相接。
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公开(公告)号：CN115911085A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202210015164.6
申请日：2022-01-07
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 一种半导体装置，具备：第一电极；第二电极；栅极电极，沿第一方向延伸；以及碳化硅层，具有第一面和第二面，包括：第一导电型的第一碳化硅区，具有第一区、与栅极电极相向的第二区以及与第一电极相接的第三区；第二区与第三区之间的第二导电型的第二碳化硅区；第二导电型的第三碳化硅区，在与第二碳化硅区之间夹着第二区；第二导电型的第四碳化硅区，在与第二碳化硅区之间夹着第三区；第一导电型的第五碳化硅区；第二导电型的第六碳化硅区，设置于第一区与第二碳化硅区之间；以及第二导电型的第七碳化硅区，在第一区与第二碳化硅区之间，在第一方向上与第六碳化硅区分开地设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114639733A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202110651477.6
申请日：2021-06-11
Applicant: 东芝电子元件及存储装置株式会社 , 株式会社东芝
Abstract: 实施方式的半导体装置具备：第一电极、第二电极、第一电极与第二电极之间的碳化硅层、在第1方向上延伸的第一栅极电极、第二栅极电极、以及第三栅极电极、以及在与第1方向交叉的第2方向上延伸并连接有第一栅极电极、第二栅极电极以及第三栅极电极的栅极布线，在将第一区域的第一栅极电极与第二栅极电极在第2方向上的间隔设为S1，将比第一区域靠近栅极布线的第二区域的第一栅极电极与第二栅极电极在第2方向上的间隔设为S2，将第一区域的第二栅极电极与第三栅极电极在第2方向上的间隔设为S3，将第二区域的第二栅极电极与第三栅极电极在第2方向上的间隔设为S4的情况下，满足式1、式2及式3。S1＜S3(式1)S1＜S2(式2)S3＞S4(式3)。
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公开(公告)号：CN114203817A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202110646851.3
申请日：2021-06-10
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L21/336
Abstract: 实施方式的半导体装置具有第一电极、第二电极、第一导电型的第一半导体层、第二导电型的第二半导体层、第一导电型的第三半导体层、第一导电型的第一有源区域、以及第三电极。所述第一半导体层设于所述第一电极与所述第二电极之间。所述第二半导体层设于所述第一半导体层之上。所述第一有源区域在第二方向上与所述第二半导体层邻接。所述第一有源区域具有所述第一上部与第二下部。所述第一下部在所述第二方向上的宽度的平均值比所述第一上部在所述第二方向上的宽度的平均值大。所述第三半导体层与所述第二电极电连接。所述第三电极隔着绝缘膜设于与所述第一有源区域之间。
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公开(公告)号：CN119836855A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202480003865.5
申请日：2024-02-15
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 提供能够提高特性的半导体装置。根据实施方式，半导体装置包含第一～第三电极、第一～第四半导体部件以及第一绝缘部件。第一半导体部件设置于第一电极与第二电极之间，为第一导电型。第一半导体部件包含第五部分区域。第二半导体部件为第二导电型。第二半导体部件包含第一半导体区域和第二半导体区域。第五部分区域在第三方向上位于第一半导体区域与第二半导体区域之间。第三半导体部件为第二导电型。第四半导体部件为第一导电型。
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公开(公告)号：CN111640790B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201910619462.4
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 实施方式提供能够降低导通电阻的半导体装置。实施方式的半导体装置，具备：第一电极、第二电极、碳化硅层、和与第二碳化硅区域对置的栅极电极。碳化硅层具有：第1导电型的第一碳化硅区域，设在第一电极与第二电极之间，具有第一面和第二面；第一碳化硅区域与第一面之间的第2导电型的第二碳化硅区域；第一碳化硅区域与第一面之间的、与第二碳化硅区域分离的第2导电型的第三碳化硅区域；第二碳化硅区域与第一面之间的、与第一电极相接的第1导电型的第四碳化硅区域、第二碳化硅区域与第三碳化硅区域之间的、第1导电型杂质浓度比第一碳化硅区域高的第1导电型的第五碳化硅区域；以及第五碳化硅区域与第一面之间的、与第一电极相接的第2导电型的第六碳化硅区域。
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公开(公告)号：CN116845083A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210919891.5
申请日：2022-08-01
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子元件及存储装置株式会社
Abstract: 实施方式的碳化硅半导体装置包括：第一电极；第二电极；第一半导体层，设置在第一电极与第二电极之间，包括碳化硅；包括碳化硅的第一导电型的多个第一半导体柱区域；包括碳化硅的第二导电型的第二半导体柱区域。第一半导体柱区域设置在第一半导体层与第二电极之间，包括：第一区域，具有第一杂质浓度；第二区域，在与从第一电极朝向第二电极的第一方向正交的第二方向上与第一区域并列，且具有比第一杂质浓度浓的第二杂质浓度。第二半导体柱区域设置在第一半导体层与第二电极之间，在第二方向上位于第一半导体柱区域之间，还包括：第三区域，具有第三杂质浓度；第四区域，在第二方向上与第三区域并列，且具有比第三杂质浓度浓的第四杂质浓度。
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