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公开(公告)号:CN2802446Y
公开(公告)日:2006-08-02
申请号:CN200520072781.1
申请日:2005-06-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺,包括电机,在电机驱动轴上设有陀螺转子/平衡环,在陀螺转子/平衡环的上方与下方分别设有电容上、下极板且由固定圆环固定,在固定圆环上设有用于引导电容上、下极板的输出信号的导线环。本实用新型针对谐振式微机电陀螺和动力调谐陀螺的不足,提高了微机电陀螺仪的精度和稳定性且具有体积小、重量轻、成本低、功耗小、可靠性好调谐式微机电陀螺。
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公开(公告)号:CN201965150U
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201120047949.9
申请日:2011-02-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计,包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座;所述微加速度计结构键合在玻璃基座上;所述玻璃基座上设有信号引线,微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接;所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本实用新型采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置,结构简单、紧凑、体积小、精度高。
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公开(公告)号:CN2608950Y
公开(公告)日:2004-03-31
申请号:CN03221832.X
申请日:2003-05-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本实用新型公开了一种单自由度硅微陀螺仪,由驱动谐振器、外框、信号引线板、信号检测电容和力矩检测电容组成,外框通过扭杆与驱动谐振器相连,支撑柱与信号引线板相连,并通过支撑梁与驱动谐振器相连,信号检测电容由设在外框上并对称于驱动谐振器的成对动极板和设在信号引线板上且位于信号检测电容动极板下方的成对定极板组成,力矩电容由设在外框上并对称于驱动谐振器的1对力矩电容动极板和设在信号引线板上且位于力矩电容动极板下方的2对力矩电容定极板组成,驱动谐振器由动齿和与信号引线板相连的定齿组成,该动齿与支撑梁相连。本实用新型能实现陀螺驱动模态与检测模态运动解耦且具误差小、稳定性好的优点。
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