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公开(公告)号：CN100392353C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200510040595.4
申请日：2005-06-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺，包括电机，在电机驱动轴上设有陀螺转子/平衡环，在陀螺转子/平衡环的上方与下方分别设有电容上、下极板且由固定圆环固定，在固定圆环上设有用于引导电容上、下极板的输出信号的导线环。本发明针对谐振式微机电陀螺和动力调谐陀螺的不足，提高了微机电陀螺仪的精度和稳定性且具有体积小、重量轻、成本低、功耗小、可靠性好调谐式微机电陀螺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1710383A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200510040595.4
申请日：2005-06-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺，包括电机，在电机驱动轴上设有陀螺转子/平衡环，在陀螺转子/平衡环的上方与下方分别设有电容上、下极板且由固定圆环固定，在固定圆环上设有用于引导电容上、下极板的输出信号的导线环。本发明针对谐振式微机电陀螺和动力调谐陀螺的不足，提高了微机电陀螺仪的精度和稳定性且具有体积小、重量轻、成本低、功耗小、可靠性好调谐式微机电陀螺。
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公开(公告)号：CN2802446Y
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200520072781.1
申请日：2005-06-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺，包括电机，在电机驱动轴上设有陀螺转子/平衡环，在陀螺转子/平衡环的上方与下方分别设有电容上、下极板且由固定圆环固定，在固定圆环上设有用于引导电容上、下极板的输出信号的导线环。本实用新型针对谐振式微机电陀螺和动力调谐陀螺的不足，提高了微机电陀螺仪的精度和稳定性且具有体积小、重量轻、成本低、功耗小、可靠性好调谐式微机电陀螺。
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公开(公告)号：CN2516942Y
公开(公告)日：2002-10-16
申请号：CN02218376.0
申请日：2002-01-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 硅微振动陀螺仪是一种较高精度的陀螺仪,该陀螺仪由制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号引线的下层部分所组成,陀螺仪上层机械结构的内框架通过内扭杆与外框架相连,外框架通过外扭杆和横梁连于固定基座,陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线,敏感输出信号引线、反馈信号引线,上层机械结构的固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上,使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。
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公开(公告)号：CN2482679Y
公开(公告)日：2002-03-20
申请号：CN01244736.6
申请日：2001-07-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 一种双自由度硅微振动陀螺仪属陀螺技术,由上层制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构与下层制作在玻璃衬底上的信号线,电容极板等所组成,上层机械结构的外框架通过外扭杆与隔离环相连,隔离环通过内扭杆与驱动轮相连,驱动轮通过支撑梁连于支撑柱,下层玻璃衬底包括地线,输入、输出线,x、y轴检测电容固定极板与x、y轴反馈力矩电容固定极板等,上层通过支撑柱悬空安装在下层之上。本陀螺仪实现了运动解耦,减少了误差。
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公开(公告)号：CN2608950Y
公开(公告)日：2004-03-31
申请号：CN03221832.X
申请日：2003-05-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本实用新型公开了一种单自由度硅微陀螺仪，由驱动谐振器、外框、信号引线板、信号检测电容和力矩检测电容组成，外框通过扭杆与驱动谐振器相连，支撑柱与信号引线板相连，并通过支撑梁与驱动谐振器相连，信号检测电容由设在外框上并对称于驱动谐振器的成对动极板和设在信号引线板上且位于信号检测电容动极板下方的成对定极板组成，力矩电容由设在外框上并对称于驱动谐振器的1对力矩电容动极板和设在信号引线板上且位于力矩电容动极板下方的2对力矩电容定极板组成，驱动谐振器由动齿和与信号引线板相连的定齿组成，该动齿与支撑梁相连。本实用新型能实现陀螺驱动模态与检测模态运动解耦且具误差小、稳定性好的优点。
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