公开(公告)号：CN104114509A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201380007542.5

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社NSC

Inventor： 西山荣

IPC: C03C15/00

CPC classification number: C03C15/00 ,  B24B37/345 ,  B24B57/02

Abstract: 本发明提供一种不使用夹具也能够对玻璃基板实施化学研磨处理的单片式化学研磨装置。化学研磨装置(10)具备有多个搬送辊(50)以及多个喷射管(322)。多个搬送辊(50)构成为分别从下面支承玻璃基板(100)的同时向水平方向搬送玻璃基板(100)。喷射管(322)构成为对由多个搬送辊(50)搬送的玻璃基板(100)至少从下侧喷射研磨液。此外，喷射管(322)以利用研磨液至少使化学研磨处理空间内的全部的搬送辊的周面形成湿润状态的方式喷射研磨液。

公开(公告)号：CN103608309A

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201280029748.3

申请日：2012-06-29

Applicant: 株式会社NSC

Inventor： 西山荣 ,  柏原康宏

IPC: C03C15/00 ,  C03B33/02 ,  G02F1/1333 ,  G06F3/041

CPC classification number: G06F3/041 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明提供一种能够从实施了坚固的强化处理的大型的玻璃基材稳定地获取多片玻璃基板的玻璃基板的制造方法。玻璃基板的制造方法包括第一化学研磨步骤及第二化学研磨步骤。在第一化学研磨步骤中，以规定的单面研磨量仅对玻璃基材(10)的第一主面实施化学研磨处理。在第二化学研磨步骤中，对第一主面及第二主面的双方实施化学研磨处理。然后，在第一主面形成的第一分区槽(102)及在第二主面形成的第二分区槽(104)在从玻璃基材(10)的厚度方向的中心线(110)偏离了相当于单面研磨量的偏离量(114)的位置贯通。

公开(公告)号：CN103459342A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280017721.2

申请日：2012-02-08

Applicant: 株式会社NSC

Inventor： 西山荣

IPC: C03C15/00 ,  C03C15/02 ,  C03C23/00

CPC classification number: C03C15/02

Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够安全地实现高品质的化学研磨处理的玻璃基板的化学研磨装置。其解决手段为，本发明的化学研磨装置具有：输送通路，其沿水平方向输送玻璃基板（GL）；研磨处理部（16）、（22），其对在输送通路移动中的玻璃基板喷射化学研磨液而对玻璃基板进行薄型化；洗涤处理部（24），其对经过研磨处理部（22）而被薄型化了的玻璃基板喷射洗涤液进行洗涤，其中，在向研磨处理部（16）导入玻璃基板的导入部设置有：旋转滚轮（43），其轻轻地保持玻璃基板的表面并进行旋转；喷射部（NZ1）、（NZ2），其从研磨处理部（16）的外侧向旋转滚轮（43）喷射水。

公开(公告)号：CN103370285A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201180058971.6

申请日：2011-10-13

Applicant: 株式会社NSC ,  信越聚合物株式会社

Inventor： 西山荣 ,  吉田一义 ,  作田俊秀

IPC: C03B33/07 ,  G02F1/13

CPC classification number: C03B33/074 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够从一片玻璃母材有效地制造多个电子装置用玻璃基板的制造方法。其解决方法如下，该制造方法包括：第一工序（ST2），在玻璃基板的表面和背面中的一面或两面形成薄膜层，所述玻璃基板划分为多个使用区域；第二工序（ST4），以内部包括经过第一工序的玻璃基板的方式用保护膜覆盖玻璃基板的整体；第三工序（ST5-ST6），在被所述保护膜覆盖的状态下，将所述玻璃基板与保护膜一并按照每个使用区域机械性地切割分离成多个；第四工序（ST7），从切割分离的每个玻璃基板剥离保护膜；第五工序（ST8），在剥了保护膜的玻璃基板的表面和背面中的一面或两面粘贴板材料。