一种超纯氩气在线净化系统及方法

    公开(公告)号:CN104291284A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410526169.0

    申请日:2014-10-09

    Abstract: 本发明公开了一种超纯氩气在线净化系统及方法,属于气体净化领域。技术方案为:将锆钒铁合金材料,涂镀到康铜合金条上,将合金条打褶成折叠形状,安装于法兰盘的专用支架及骨架固定,再装入不锈钢圆筒,形成非蒸散型氩气净化装置;通过相关接口和控制阀门与高纯瓶装氩气和终端设备相连,组成超纯氩在线净化系统;利用设备的真空检测和控制系统,实现净化装置吸气剂的在线激活或活化。应用证明:该净化系统和方法可在线获得99.999999%(W/W)的超纯氩气,系统净化效果良好,可使氩气中的活性及中性杂质气体均能从几十个ppm减少到ppb量级,系统工作温度较低,一般在160~200℃,不需水冷,使用安全方便。

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