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公开(公告)号：CN110398536A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910696430.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01N29/02 , G01N29/036
Abstract: 本发明公开了一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法，本发明采用石墨烯、二硫化钼以及MXenes(二维过渡金属碳化物或氮化物)等同时具有高弹性模量、气体敏感性以及导电性的多功能材料作为CMUTs敏感元件，即单层悬空薄膜同时用作CMUTs振动薄膜、上电极以及敏感材料层，实现了振动薄膜、上电极以及敏感材料层等多层复合薄膜的一体化设计，可有效减小薄膜质量、提高单元一致性以及谐振频率，进而可实现CMUTs气体传感器检测极限及检测灵敏度等综合性能的大幅提高。
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公开(公告)号：CN111504219B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/16 , G01H9/00 , G01K11/3206 , G01K1/14
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L‑悬臂梁，L‑悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F‑P腔，通过对F‑P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L‑悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN114477079B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210096468.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种一体化法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片加工方法，包括以下步骤：首先湿法腐蚀制作腔体深度参考槽，以该槽为参考在硅晶圆刻蚀腔体，并在腔体表面重复交替沉积氧化硅和氮化硅薄膜制作光学增反膜；然后在玻璃晶圆表面重复交替沉积氧化硅和氮化硅薄膜，并图形化形成光学增反膜；之后将硅和玻璃晶圆进行阳极键合，并将硅片减薄至目标厚度；最后采用深反应离子刻蚀技术释放弹簧质量结构。本发明可以避免现有技术先刻蚀后键合存在残余应力导致敏感芯片变形或损坏的问题，具有工艺简单、成品率高的优势；此外，得益于腔体深度参考槽步骤，可以保证制作的敏感芯片工作在高灵敏度状态。
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公开(公告)号：CN114477076B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210096469.4
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于双层梁结构的法布里珀罗加速度敏感芯片加工方法，包括以下步骤：首先在SOI晶圆的器件层刻蚀键合定位槽，完成后交替沉积氧化硅和氮化硅薄膜，并图形化形成增反膜；之后利用剥离工艺制作铝掩蔽，并采用深反应离子刻蚀技术刻蚀释放弹簧支撑梁的背腔；然后将两片经过上述步骤加工后的SOI晶圆进行键合，并利用刻蚀释放质量块结构；接着湿法腐蚀玻璃晶圆制作法布里珀罗腔的腔体，完成后在腔体表面沉积氧化硅和氮化硅多层增反膜；最后将弹簧质量结构与玻璃腔体进行小片胶合键合。本发明提供的方法可以完成基于双层全对称弹簧质量结构的法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片的加工，并且具有加工精度高、工艺简单、成品率高的优势。
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公开(公告)号：CN118777602A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410849585.8
申请日：2024-06-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N33/569 , G01N21/64 , G01N33/68 , G01N33/574 , G01N33/53 , G01N33/58
Abstract: 本发明公开了一种用于微量样品中生物标志物定量检测的系统及方法，包括荧光检测探针：所述荧光检测探针为通过化学键修饰核酸适配体序列和荧光信号分子的磁性微球，用于捕获微量样品中目标生物标志物，并释放荧光信号分子；微量样品混合装置：用于加速荧光检测探针与微量样品的混合；荧光检测设备：用于对微量样品进行荧光信号分子检测，将检测到的光学信号转换为电信号，然后将电信号转换为数字信号，得到荧光强度结果，根据预先绘制的标准曲线和荧光强度结果对生物标志物的含量进行定量，实现微量样品中生物标志物定量检测。本发明能够通过荧光信号检测对微量临床样品中的生物标志物进行快速灵敏的定量检测，以解决现有技术存在的缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114136853B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202111417613.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种检测空气中活泼金属氧化物浓度的传感器和方法，所述传感器包括依次连通的第一反应室、第一检测室、第二反应室和第二检测室，所述第一反应室上设置有进气口，所述第一反应室中设置有一氧化碳热催化氧化剂，所述第一检测室中设置有第一二氧化碳敏感薄膜，所述第二反应室中设置有吸水层，所述第二检测室中设置有第二二氧化碳敏感薄膜。利用活泼金属氧化物颗粒在水蒸气环境下易与二氧化碳发生反应，通过检测反应前后二氧化碳浓度差间接反应出活泼金属氧化物颗粒的浓度。
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公开(公告)号：CN109352560B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN201811487943.6
申请日：2018-12-06
Applicant: 西安交通大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种柱形光学元件的工装夹具，利用固定底板结构和夹持装置组成夹持固定结构，在固定底板结构中间设置通孔，利用均匀固定设置于固定底板结构通孔内壁的多个夹持爪，使多个夹持爪均能够沿垂直于通孔内壁的方向移动，从而实现对工件进行夹持，利用多个夹持爪沿一个中心向内运动或者向外运动形式对光学元件进行固定，使得光学元件均匀受力，提高了对光学元件夹持的稳定性，避免了夹持爪松动，锁紧机构避免光学元件在检测过程中不会因为夹持爪稳定性不够和光学元件的自身重量使得光学元件对心不够准确而影响加工或检测。
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公开(公告)号：CN114324276B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202111629825.6
申请日：2021-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种急性心肌梗死三项标志物的检测试剂及制备方法和应用，所述检测试剂包括cTnI检测试剂、CK‑MB检测试剂和Myo检测试剂；所述的cTnI检测试剂采用由偶联纳米金颗粒的cTnI核酸适配体和偶联量子点1的互补ssDNA1链复合形成的生物探针；所述的CK‑MB检测试剂采用由偶联纳米金颗粒的CK‑MB核酸适配体和偶联量子点2的互补ssDNA2链复合形成的生物探针；所述的Myo检测试剂采用由偶联纳米金颗粒和量子点3的Myo核酸适配体形成的生物探针。本发明能够实现对cTnI，CK‑MB和Myo的快速、灵敏检测，具有检测试剂价格便宜，检测时间短，检测流程简单，检测精度高等优点。
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公开(公告)号：CN117773244A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410047000.0
申请日：2024-01-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于载液微细颗粒电解质的复杂结构零件电化学机械抛光设备，包括底座上的机械振动机构与多自由度传动机构，机械振动机构上方与多自由度传动机构之间设有电化学加工机构，电化学加工机构通过温湿度调节机构与储液箱相连；预先在电解槽内装有载液微细颗粒电解质，通过气动金属夹具夹持工件，在多自由度传动机构的带动下，使工件在电解槽中与载液微细颗粒电解质全方位运动接触，同时，通过直流电源施加电压，形成连接电源正极、阳极工件、电解质颗粒、阴极电解槽和电源负极的电流回路，通电过程中，工件表面在载液微细颗粒所搭载电解液的电化学作用下形成软化的金属氧化膜；通过机械振动机构带动电解槽里面的载液微细颗粒振动，与多自由度运动的工件产生相对摩擦，实现表面氧化膜的机械去除，促进抛光过程中的电化学和机械循环，提高抛光效率，对复杂结构零件抛光具有较好的加工可达性；具有效率高、抛光效果好、操作简单、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN116858394A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310840505.8
申请日：2023-07-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种夹层结构的探针式薄膜温度传感器及其制备方法，属于温度测量技术领域，传感器包括第一基底与第二基底，设置于第一基底与第二基底之间的正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线，以及基底端面的端面热电偶薄膜；利用基底及耐高温胶将正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜保护起来，只有形成热接点的端面热电偶薄膜直接暴露在高温环境中，避免正负极热电偶薄膜受高温环境及气流冲刷而导致失效，也保证了薄膜热接点的快速响应；正负极热电偶薄膜及端面热电偶薄膜的制备采用丝网印刷技术，制备工艺简单，成本低，仪器设备要求低，经济性好。
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