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公开(公告)号：CN104047976A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410243834.5
申请日：2014-06-04
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种回转机及其减速方法、减速装置。回转机的主轴上固定或一体连接有减速轴，减速轴上固定有在其外周上悬伸并处于一容器中的搅动桨叶，容器上设有供减速液在主轴降速阶段逐渐注入的开口。在开始减速时由于液面较低，减速液对搅动桨叶产生的阻力较小，不致于使主轴在减速轴的带动下骤然减速；随着减速液的液面升高，搅动桨叶搅动减速液的深度也逐步增大，即搅动桨叶的悬伸端插入减速液的长度也逐渐增大，对减速轴产生的阻力也同步增大，而此时主轴在减速轴的带动下转速已缓慢下降，而由于减速液对减速轴的阻力是缓慢增加的，所以可以保证固定主轴上固定砂轮的螺母不致于松脱，确保砂轮和回转机的安全。
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公开(公告)号：CN112420505B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202011353049.7
申请日：2020-11-27
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/68 , H01L21/67
Abstract: 一种衬底材料最优划片方向的确定方法，通过对材料塑性变形发生的临界条件的确定，也就是最容易发生塑性变形的晶面以及该晶面发生变形的方向的确定即可得到该种衬底材料的最优划片方向，该方法指导实际的生产，减少衬底材料在划片的过程中的正崩和背崩尺寸，提高加工质量和衬底的利用率。
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公开(公告)号：CN114669884B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210528615.6
申请日：2022-05-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于水平液面调控的激光加工金刚石平坦化的装置，包括激光加工组件、加工储液槽、阻光吸热辅助加工液、液流循环装置和液面控制装置，所述的加工储液槽内水平放置固定待加工金刚石片，所述的加工储液槽的两端分别水平开设有进液口和出液口，液流循环装置设置在进液口和出液口之间，液面控制装置用于精准调控激光加工过程中加工储液槽内液面的实时高度变化。本发明利用液面水平原理来保证金刚石加工表面的面型精度，利用黑色液体吸光吸热原理对金刚石表面低点区域进行保护，同时利用液体流动带走多余热量以及加工过程中产生的废渣，不污染空气，辅助加工液可循环利用；本发明无需大功率耗能部件，无需高精密运动部件，无需复杂工艺步骤，实现金刚石表面的高效平坦化加工，有利于环保节能，降低金刚
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公开(公告)号：CN114838661B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202210530599.4
申请日：2022-05-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种砂轮回转动态几何参数的在机检测方法，通过在机床上回转状态下，利用点激光位移传感器连续扫描采样砂轮外圆周面，从而实时获得砂轮不同转速条件下的外圆周面微观起伏位移数据，再针对采集数据依次进行定位识别、整周分段、滤波、插值、轮廓线生成、坐标变换、非线性曲线拟合、检测指标计算等处理步骤，获得砂轮升速或稳定转速条件下的回转膨胀量、跳动、圆度、几何偏心量、偏心位置等检测结果。
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公开(公告)号：CN114227555B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202111451345.5
申请日：2021-12-01
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00 , B24B53/017 , B23K26/352 , B23K26/082 , B23K26/70 , B23K103/00
Abstract: 本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法，属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台，激光光束从紫外皮秒激光器中输出，经过激光光路射入三维扫描振镜，三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工，制得表面具有金字塔型结构的基体，再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜，制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工，解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把持力弱等问题，进而保证抛光垫的修整质量及效率，提高晶圆的化学机械抛光的抛光质量。
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公开(公告)号：CN112414876A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011361225.1
申请日：2020-11-27
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 该快速检测衬底材料损伤层深度的方法，通过连续压痕试验测试衬底材料的弹性模量，然后与标准件的弹性模量对比就可得到衬底材料的亚表面损伤层深度，且连续刚度法测定一个样品弹性模量的时间不超过10分钟，具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于衬底材料不同加工流程中损伤层深度的快速检测，为优化衬底加工流程中下一道工序的加工时间有一定的指导意义。
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公开(公告)号：CN109202750B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201810962265.8
申请日：2018-08-22
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种中空堆积磨粒及其制备方法、超硬磨具，属于超硬材料技术领域。本发明的中空堆积磨粒包括壳体以及位于壳体内部的中空腔体，所述壳体包括磨料及结合剂。本发明的中空堆积磨粒的制备方法，包括如下步骤：将磨料、结合剂、有机微球、造粒粘结剂混合均匀，造粒，烧结，即得。本发明的中空堆积磨粒包括中空腔体，形成了具有空心结构的磨粒微球，改善了堆积磨粒的结合强度，降低了堆积磨粒的制造繁杂程度，由于磨粒中不包含空心微珠，采用这种磨粒的磨具在使用过程中不会对工件造成损害。
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公开(公告)号：CN109015425B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810669407.1
申请日：2018-06-26
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明属于磨削加工技术领域，具体涉及一种树脂结合剂砂轮及其制备方法。本发明公开了一种树脂结合剂砂轮及其制备方法。该树脂结合剂砂轮磨料层包括以下质量百分比的组份：树脂15~25%，碱土金属氟化物5~34%，金刚石磨料45~65%，可溶性无机盐5~25%，湿润剂1~2%。其中碱土金属氟化物为氟化钙或氟化钡。将原料物质混合均匀得成型料，然后经过热压、硬化、基体粗车、基体精车等一系列加工工艺加工成型得树脂结合剂砂轮。本发明的树脂结合剂砂轮有效的降低了砂轮表面粘屑几率，并且对加工工件表面无损伤。
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公开(公告)号：CN110238765A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910540985.X
申请日：2019-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明针对现有技术中陶瓷结合剂砂轮存在的问题，提供一种超精磨砂轮用陶瓷结合剂及其制备方法和应用，由以下重量百分比的组分构成：二氧化硅粉体25%-50%，高岭土5%-10%，硝酸盐类粉体5%-15%，氧化硼粉5%-15%，金属氧化物粉2%-8%，添加剂2%-10%。利用该陶瓷结合剂制备的砂轮，具有自锐性好，孔隙率高，且大部分是闭气孔，磨削性能好的特点。
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公开(公告)号：CN109623659A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811482061.0
申请日：2018-12-05
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种超硬砂轮的摩擦驱动修整装置及摩擦驱动修整方法。该修整装置包括两个回转体，两个回转体中至少一个为主动回转体，两个回转体上缠绕有环形砂带，环形砂带包括软弹性带体和磨料，还包括超硬砂轮的安装轴，安装轴是带有阻尼作用的轴，安装轴上安装有转速测量装置，还包括用于将环形砂带和被修整的超硬砂轮相互压紧的压紧装置。该修整装置可以用于解决现有软弹性修整法中因砂带连续性差而导致修整效率低的问题，还可以用于解决随着修整装置的运行砂带的行走速度逐渐增大而影响修整效果的问题，还可以解决因砂带与超硬砂轮接触部位较少而导致弹性效果较差的问题；该修整方法可以使整个修整过程简单且判断修整结果精准。
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