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公开(公告)号：CN103091004A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210444127.3
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: G01L1/16 , B25J9/1694 , B25J19/028 , G01L1/162 , G01L5/167 , G01L5/226 , H01L41/1132 , H01L41/1873 , Y10S901/46
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机械臂，其中，传感器元件是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板和配置于上述压电基板的电极的传感器元件，上述压电基板的基板面包含晶轴的电轴，并且上述基板面与包含上述电轴和上述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。
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公开(公告)号：CN104596681B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201410594251.7
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，该传感器设备具有：电荷输出元件，其具有多个压电体以及形成在各压电体之间的内部电极；外壳，其收纳电荷输出元件；第一导电性膏，其与多个内部电极电连接；以及第二导电性膏，其将第一导电性膏与输出端子电连接，并且与第一导电性膏相比弹性模量较低。另外，第一导电性膏的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下，第二导电性膏的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。
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公开(公告)号：CN110319960A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910226635.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种能够发挥优异的力检测特性的传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器元件(3)构成为，在从层叠有第一压电元件(31)和第二压电元件(32)的方向俯视观察时，第一基准电位侧面端子(391)在比通过第一信号侧面端子(394)的位置和第二信号侧面端子(392)的位置的第一轴(L3)靠近一侧的侧面(3c、3f)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间，第二基准电位侧面端子(393)在比第一轴(L3)靠近另一侧的侧面(3d、3e)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间。
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公开(公告)号：CN104596676B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN108534922A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810183998.1
申请日：2018-03-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明提供了能够提高外力的检测精度的传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器器件具有：第一部件，具有凹部；力检测部，设置在所述凹部内，且包括根据外力而输出信号的至少一个压电元件；以及粘结部件，设置在所述力检测部和所述凹部的底面之间，且具有绝缘性；至少一个电极，设置在所述力检测部；至少一个端子，设置在所述第一部件；以及至少一个连接部，将所述电极和所述端子电连接，所述连接部具有在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述粘结部件重叠的部分，所述底面具有由金属构成的部分，所述力检测部在从所述力检测部和所述底面重叠的方向观察时与所述底面的由所述金属构成的部分重叠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103308221B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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公开(公告)号：CN104596680A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410594158.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
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公开(公告)号：CN104596676A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN102111118A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010603113.2
申请日：2010-12-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片，能在不影响振动特性的情况下进行高精度的频率调整。该振动片具有：基部(15)；从基部(15)起延伸的进行面外振动的振动臂(11，12，13)；激励电极，其形成在振动臂(11，12，13)上，对振动臂(11，12，13)进行激励；第1质量部(51，52，53)，其形成在振动臂(11，12，13)上，调整振动臂(11，12，13)的频率，第1质量部(51，52，53)和激励电极配置在随振动臂(11，12，13)的面外振动而交替被施加压缩力和拉伸力的相对的面中的一个面上，第1质量部(51，52，53)位于距基部(15)超过振动臂(11，12，13)的长度的1/2的振动臂(11，12，13)的末端侧，由密度D(×103kg/m3)在2.20≤D≤8.92的范围内的金属膜或绝缘膜形成。
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公开(公告)号：CN111745683A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010219180.8
申请日：2020-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
Abstract: 本发明提供一种能够充分地确保第三臂的可搬重量的水平多关节机器人。所述水平多关节机器人的特征在于，具备：基座；第一臂，与所述基座连接，并绕第一轴转动；第二臂，与所述第一臂连接，并绕与所述第一轴平行的第二轴转动；第三臂，与所述第二臂连接，并绕与所述第一轴平行的第三轴转动且沿所述第三轴移动；支承部，设于所述第二臂，并支承所述第三臂；以及力检测部，设于所述第二臂与所述支承部之间，并检测施加于所述第三臂的力。
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