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公开(公告)号：CN100436135C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610004250.8
申请日：2006-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种静电激励器，具备：构成一方的电极的振动板(12)、和形成与振动板(12)隔着间隙(20)对置的对置电极(17)的电极基板(3)，对置电极(17)在形成于电极基板(3)上的平面形状为大致长方形的槽部(19)中形成，且静电激励器形成为随着向槽部(19)的长边方向的中央部，间隙(20)变大的多段的面。这样便提供一种以很低的驱动电压便可驱动的静电激励器以及其制造方法、应用该静电激励器的液滴喷头以及其制造方法、搭载该液滴喷头的液滴喷吐装置、搭载所述静电激励器的设备。
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公开(公告)号：CN1803453A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200510138117.7
申请日：2005-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可以实现设备的小型化，并可以有效地防止水分等进入到间隙内的静电驱动器等。其具备具有作为固定电极的单独电极(12)的电极基板(10)、和具有与单独电极(12)隔开距离相对并利用在与单独电极(12)之间产生的静电力动作的作为可动电极的振动板(22)的腔室基板(20)，在电极基板(10)或腔室基板(20)的一方上将多层由遮断在单独电极(12)和振动板(22)之间形成的空间和外界气体的密封材(25)构成的密封层(TEOS层25a、水分透过防止层25b)层叠在一起，形成密封部(26a)。
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公开(公告)号：CN112114426B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010560459.2
申请日：2020-06-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 提供在抑制可靠性降低的同时能够实现小型化的波长可变干涉滤波器。波长可变干涉滤波器具备设置有第一反射镜及第一电极的第一基板、设置有与第一反射镜对应的第二反射镜及与第一电极相对的第二电极的第二基板及接合第一基板和第二基板的接合部，第一基板包括用于配置第一反射镜的可动部、以使可动部能够在Z方向上移动的方式保持可动部的膜片部和设置于膜片部的外侧的外周部，膜片部包括厚度均匀的平坦部和在Z方向上的厚度从平坦部朝向外周部逐渐增大的第一倾斜部，第一电极以从平坦部遍及到第一倾斜部的方式射置，第一电极的为与第一反射镜为相反侧的边缘的外侧边缘位于第一倾斜部，接合部以从第一倾斜部的一部分遍及到外周部的方式设置。
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公开(公告)号：CN110954981A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201910907275.6
申请日：2019-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供光学装置及电子设备。其目的在于解决从光学装置使目标波长的光透过时，透过率降低且透过光的量减少的问题。光学装置具备第一反射膜和第二反射膜隔着第一间隙而对置的第一波长可变干涉滤光器、第三反射膜和第四反射膜隔着第二间隙而对置的第二波长可变干涉滤光器、以及具有第一面及与所述第一面相反的一侧的第二面的透光性的第一基板，所述第二反射膜设置在所述第一基板的所述第一面，且所述第三反射膜设置在所述第一基板的所述第二面。
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公开(公告)号：CN104865694B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510087877.3
申请日：2015-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J1/0214 , G01J1/0271 , G01J1/0488 , G01J1/32 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/506 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及光学模块以及电子设备。光学模块(3)具备：电路基板(33)，具有凹部(331)及平面部(332)；光传感器(34)，设置在空间(S)内；及光学滤波器装置(600)，在内部收纳有波长可变干涉滤波器(5)，并具有基座(620)及第一玻璃部件(627)，基座(620)具有来自波长可变干涉滤波器(5)的出射光所通过的光通过孔(623)并接合于平面部(332)，第一玻璃部件(627)设置于光通过孔(623)并位于空间(S)内，第一玻璃部件(627)与光传感器(34)的距离(L3)被设定为从波长可变干涉滤波器(5)射出的光在第一玻璃部件(627)与光传感器(34)之间不发生干涉的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105334561A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510783816.0
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
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公开(公告)号：CN104678474A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410722694.X
申请日：2014-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/28
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81C2203/0145 , G02B7/006 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种具有优良特性的电子器件以及电子设备。电子器件(1)具有波长可变干涉滤波器(3)以及容纳波长可变干涉滤波器(3)的封装体(2)。封装体(2)具有具备通过光的光通过孔(29)的基底基板(21)、以及堵塞光通过孔(29)的具有透光性的基底基板侧透光性基板(24)。基底基板(21)由多层层叠的层叠体构成，光通过孔(29)形成为与位于波长可变干涉滤波器(3)一侧的第一开口(291)的面积相比，位于与波长可变干涉滤波器(3)相反一侧的第二开口(292)的面积更大。
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公开(公告)号：CN103116208A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201210359300.X
申请日：2012-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G02B26/001
Abstract: 本发明公开了一种滤光器装置、光模块以及电子设备，该滤光器装置具备：波长可变干涉滤波器，具有固定基板、可动基板、固定反射膜以及可动反射膜；以及框体，在内部收容波长可变干涉滤波器。框体具备：底部基板；盖板，与该底部基板接合，在与该底部基板之间形成内部空间；以及盖板侧玻璃基板，闭塞设在盖板上的光通过孔。而且，盖板侧玻璃基板的基板端缘位于光通过孔的外周边缘之外，从光通过孔的外周边缘到基板端缘的区域与盖板接合。
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公开(公告)号：CN102608689A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN101274519A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810088821.X
申请日：2008-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14411 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供多喷嘴化的液滴吐出头、具备其的液滴吐出装置、电极基板制作方法。液滴吐出头减小液滴吐出用执行机构的驱动电路的时间常数，降低液滴吐出动作延迟。包括：喷嘴基板(5)，形成有多个吐出液滴的喷嘴孔(16)；腔基板(3)，形成有多个吐出室(12)，各个吐出室将底壁作为用作电极的振动板(11)，从喷嘴孔(16)吐出液滴；电极基板(2)，包括：多个单个电极(7)，形成于第一槽6a内与振动板(11)隔着间隔相对，驱动振动板(11)；驱动器IC(20)，控制单个电极(7)驱动；输入配线(25)，形成于第二槽6b内从外部输入驱动器IC(20)驱动用电力或信号，电极基板的第二槽6b形成比第一槽6a深，输入配线导体厚度厚于单个电极厚度。
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