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公开(公告)号:CN106054374A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610144163.6
申请日:2016-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 伊藤智
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供能够高效填埋镜支撑部的凹部并抑制镜的表面形成大的凹陷的电光装置、电光装置的制造方法及电子设备。在电光装置(100)中,镜由镜用导电层(56)和镜用反射层(57)的层叠体构成。镜用导电层(56)具备将凹部(520)朝向基板(1)的相反侧的镜支撑部(52)和从镜支撑部(52)的端部(521)延伸并与基板(1)相对的平板部(53),在凹部(520)内填充有树脂(41)。平板部(53)和树脂(41)的表面构成连续的平面,镜用反射层(57)层叠于树脂(41)的与基板(1)相反一侧的面(411)和镜用导电层(56)的平板部(53)的与基板(1)相反一侧的面(531)。
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公开(公告)号:CN106054373A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610143833.2
申请日:2016-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 伊藤智
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/00 , B81C1/00174 , G02B26/0833
Abstract: 本发明提供能够以在支撑镜的镜支撑部(镜柱内)未残留有牺牲层的方式形成的电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备。电光装置(100)在扭转铰链(扭矩铰链)(35)上设有第一开口部(351),在第一开口部(351)的周围,筒状的镜支撑部(41)的第一连接部(411)从与基板(1)侧相反的一侧接触于扭转铰链(35)。在镜支撑部(41)的内部未残留有构成牺牲层的树脂。镜支撑部(41)的与基板(1)相反一侧的第二端部(418)为平板部(416),镜(51)与该第二端部(418)接触。因此,在镜(51)的表面未产生凹陷。
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公开(公告)号:CN105027186A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201480011800.1
申请日:2014-03-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G09F9/30 , G02B5/02 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G02F1/1335
CPC classification number: G02F1/133526 , C23C16/50 , G02F1/133504 , G02F1/133524 , G02F2001/133302 , G09F9/30 , H01L27/1218
Abstract: 本发明稳定形成适用于棱镜元件的具有陡峭的斜面的槽。本发明具备:以第1斜面(72a、72b)及第2斜面(73a、73b)从背面(6b)朝向表面(6a)的方式配置的基板本体(6);覆盖第1斜面及第2斜面的第1绝缘膜(81);第2槽部(75),其具有覆盖上述第1斜面的上述第1绝缘膜(81)的表面即第3斜面(76a、76b)和覆盖上述第2斜面的上述第1绝缘膜(81)的表面即第4斜面(77a、77b),沿着从上述背面(6b)侧朝向上述表面(6a)侧的方向变宽;和覆盖上述第2槽部(75)及上述第1绝缘膜(81)的第2绝缘膜(82),第2绝缘膜(82)的覆盖上述第2槽部(75)的部分的一部分与上述第3斜面具有间隔,上述第2斜面配置于上述第1斜面的上述表面(6a)侧,上述第2斜面和上述法线所成的角度比上述第1斜面和上述法线所成的角度大。
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公开(公告)号:CN102890376A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201210247312.3
申请日:2012-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362 , G02F1/1345 , G02F1/1333 , G03B21/00
CPC classification number: G02F1/134336 , G02B27/141 , G02B27/149 , G02F1/13306 , G02F1/133345 , G02F1/133512 , G02F1/133528 , G02F1/134309 , G02F1/136213 , G02F1/136227 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , G02F2001/133357 , G02F2001/13685 , G02F2201/121 , G02F2201/123 , H04N9/3102 , H04N9/3167 , H04N9/3197
Abstract: 本发明涉及电光装置、投影型显示装置、电子设备及电光装置的制造方法。提供即使不用插头用的特殊的金属,利用以其他目的形成于电光装置的膜,也能够不占用大的面积且在像素电极的表面不产生大的凹凸地形成像素电极的导通部分的电光装置、投影型显示装置及电子设备。在电光装置中,在设置于像素电极的下层侧的绝缘膜(第1绝缘膜)形成柱状凸部,第2电极层(导电层)的导通部重叠于如此的柱状凸部的顶端面。虽然在第2电极层与像素电极之间设置层间绝缘膜(第2绝缘膜),但是,在如此的层间绝缘膜的表面上导通部露出。因此,若将像素电极叠层于层间绝缘膜,则像素电极与导通部导通。
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公开(公告)号:CN102738147A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210090900.0
申请日:2012-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L29/786 , G02F1/1343 , G03B21/14
Abstract: 本发明提供即使扩展存储电容的形成区域,也难以产生显示光的出射光量的降低和/或像素电极的端部附近的电位分布的紊乱的电光装置、投射型显示装置及电子设备。在液晶装置100中,在各像素,第1电极层7相对于透光的电介质层40设置于基板主体10w所位于的一侧,透光性的第2电极层8a相对于电介质层40设置于像素电极9a所位于的一侧。因此,通过透光性的第1电极层7、透光性的电介质层40及透光性的第2电极层8a构成存储电容55。此外,在存储电容55与像素电极9a之间设置有透光性的层间绝缘膜44。因此,能够将像素电极9a形成于通过研磨平坦化了的平坦面上,并且在被施加共用电位的第1电极层7与像素电极9a的端部之间不会产生多余的电场。
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