公开(公告)号：CN112490168A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202011494210.2

申请日：2020-12-16

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈剑雄 ,  张辉 ,  潘文斌 ,  余林康

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置及方法，该装置包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构，吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上，以在其驱动下前后移动，晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上，以在其驱动下旋转，晶圆吸盘装置上放置晶圆，以支撑并真空吸住晶圆，晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上，以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起，线性传感器和光纤安装于传感器固定座上，传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上，以在其驱动下前后移动。该装置及方法有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。

公开(公告)号：CN214290657U

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202120032801.1

申请日：2021-01-07

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈剑雄 ,  潘文斌 ,  张辉 ,  余林康

IPC: B21J15/10 ,  B21J15/26 ,  B21J15/28

Abstract: 本实用新型提出一种有完整伺服驱动系统的冲压铆钉机，其特征在于：伺服电机、丝杆机构、缸体、受压平台、压力传感器和控制器；所述丝杆机构将伺服电机输出轴的转动转换为缸体中的冲头的直线运动；所述受压平台位于冲头的直线运动路径上；所述压力传感器安装在受压平台底部；所述伺服电机和压力传感器分别与控制器构成电气连接，所述压力传感器作为伺服电机工作状态的触发开关。其在冲压铆钉时，由闭环伺服驱动系统控制铆接，保证了铆接的效率和精确的控制冲压的铆钉长度，从而保证稳定铆接和铆接的质量，并且可以生成压力随铆钉长度的变化曲线。

公开(公告)号：CN213519910U

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202023035004.3

申请日：2020-12-16

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈剑雄 ,  张辉 ,  潘文斌 ,  余林康

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 本实用新型涉及一种自动定位并校准晶圆中心的装置，包括基座、线性传感器、光纤、传感器固定座、晶圆吸盘装置、晶圆顶起机构、吸盘旋转机构、第一直线运动机构和第二直线运动机构，吸盘旋转机构安装于第一直线运动机构上，以在其驱动下前后移动，晶圆吸盘装置安装于吸盘旋转机构上，以在其驱动下旋转，晶圆吸盘装置上放置晶圆，以支撑并真空吸住晶圆，晶圆顶起机构安装于晶圆吸盘装置旁侧的基座上，以在校准误差时将晶圆从晶圆吸盘装置上顶起，线性传感器和光纤安装于传感器固定座上，传感器固定座位于晶圆旁侧并安装于第二直线运动机构上，以在其驱动下前后移动。该装置有利于快速、精确地定位并校准晶圆中心。

公开(公告)号：CN216687811U

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202120775080.3

申请日：2021-04-16

Applicant: 福州大学

Inventor： 潘文斌 ,  赵磊 ,  叶铭 ,  尹楚杰 ,  何鸿志

IPC: C02F9/14

Abstract: 本实用新型提供了一种复合光催化水体生态修复装置，包括原水池、光催池、生物膜池、复合池，所述原水池、光催池、生物膜池、复合池具有相同的池体结构，所述池体结构包括池体框架，所述池体框架外侧四周与包覆有防水布。本实用新型质地轻巧能适用不同地形的富营养化水体，且采用光催化膜与生物膜相结合利用天然能量即可对水中污染物进行降解，工艺简单、运行成本低、氮磷去除率高。