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公开(公告)号：CN114591074A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210310186.5
申请日：2022-03-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种自偏置铁氧体基板用高剩磁M型六角铁氧体及制备方法。通过适宜的球磨、预烧工艺，结合湿法磁场成型工艺制备生坯，再结合优化的烧结工艺，最终制备一种高剩磁M型钡铁氧体材料。其特征在于，饱和磁化强度约4300Gs，剩磁约3500Gs，矫顽力约2300～2400Oe。
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公开(公告)号：CN108558383B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201810297827.1
申请日：2018-04-04
Applicant: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司 , 电子科技大学 , 国网北京市电力公司
IPC: H01F1/37 , C04B35/26 , C04B35/622
Abstract: NiZn铁氧体材料及制备方法，属于铁氧体材料制备技术领域。本发明的铁氧体材料包括主成分和掺杂剂，主成分包括主料和辅料，按摩尔百分比，以氧化物计算，主料包括：47.1～49.6mol％Fe2O3、31.0～35.0mol％ZnO，余量为NiO，以主料的重量为计算基准，辅料包括0.03～0.05wt％的CaO和0.05～0.08wt％的BaTiO3；以主成分的重量为计算基准，掺杂剂包括：0.05～0.40wt％Bi2O3、0.05～0.40wt％Nb2O5、0.01～0.20wt％CaCO3和0.01～0.20wt％BaTiO3，所述CaCO3和BaTiO3的粒径皆为80nm～120nm。本发明的铁氧体材料兼具高阻抗、高磁导率、可应用频率范围宽且具有较高居里温度的特点。
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公开(公告)号：CN109851349B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201910202999.0
申请日：2019-03-18
Applicant: 电子科技大学 , 四川京都龙泰科技有限公司
IPC: C04B35/40 , C04B35/622 , H01F1/11 , H01F41/00 , H02K1/02
Abstract: 一种高性能环保型六角永磁铁氧体材料，属于材料制备技术领域。其中，主配方：1.3～6.3mol％BaCO3、78.3～87.2mol％Fe2O3、1.2～6.2mol％CaCO3、0.8～6.2mol％La2O3、0.3～1.1mol％ZnO、0.4～1.2mol％MnO、0.8～7.2mol％Co2O3；掺杂剂：0.2～0.6wt％SiO2、0.5～1.5wt％CaCO3、0.2～0.5wt％H3BO3、0.2～1.2wt％Bi2O3、0.1～1.0wt％La2O3、0.1～0.5wt％ISOBAM。本发明永磁铁氧体材料完全取代了主配方中的Sr元素，同时兼具高Br、高Hcj和高(BH)max。
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公开(公告)号：CN113087512A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110255861.4
申请日：2021-03-09
Applicant: 电子科技大学
IPC: C04B35/26 , C04B35/622
Abstract: 一种高频率稳定性高磁导率的MnZn铁氧体材料，属于铁氧体材料制备技术领域。包括主料和掺杂剂，主料：51.5～53.5mol％Fe2O3、16.5～22.0mol％ZnO、24.5～32.0mol％MnO，MnO的比表面积为10～15m2/g，掺杂剂：0.001～0.05wt％Bi2O3，0.001～0.1wt％MoO3,0.001～0.05wt％Nb2O5,0.1～0.60wt％NiO，0.001～0.05wt％Cu2V2O7，0.001～0.04wt％CaSiO3。本发明MnZn铁氧体材料在满足高频率稳定性高磁导率的同时还兼顾高Bs及高Tc特性。
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公开(公告)号：CN113077981A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110238832.7
申请日：2021-03-04
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器，属于薄膜电感器制备技术领域。该薄膜电感器包括衬底基片，形成于衬底基片之上的磁性薄膜，形成于磁性薄膜之上的电感线圈；其中，所述衬底基片包括依次设置的硅基片、聚酰亚胺层和氮化硅层，聚酰亚胺层的厚度为30μm～70μm。本发明薄膜电感器通过在基底上形成聚酰亚胺层，有效降低了电感的衬底损耗和寄生电容，使薄膜电感器具有高的Q值和谐振频率；采用旋转喷涂法低温沉积磁性薄膜，避免聚酰亚胺层的高温分解开裂；通过对电感线圈的匝数、导线宽度、导线间距和导线厚度进行优化，最终得到了高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113070196A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110225386.6
申请日：2021-03-01
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)清洗基板；2)将可溶性二价铁盐、镍盐、锌盐加入去离子水中，配制还原反应液；将亚硝酸钠、乙酸盐、乙酸加入去离子水中，配制氧化反应液；3)在基板温度90～95℃、旋转速度100～150r/min、氧化和还原反应液的供应速率0.6～1.0L/h、超声雾化功率2～3W的条件下，沉积10～60min。本发明通过在氧化液中预先构建乙酸‑乙酸钠缓冲对，提高溶液反应体系中OH‑离子浓度稳定性，提高旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的成膜质量，使薄膜具有更好的结晶性、更均匀的晶粒和更高的饱和磁化强度、磁导率。
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公开(公告)号：CN109852929B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201910202780.0
申请日：2019-03-18
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 一种NiZn铁氧体薄膜的制备方法，属于薄膜制备技术领域。该方法首先采用旋转喷涂法在玻璃基片上制备NiZn铁氧体种子层，然后再采用射频磁控溅射法在种子层上沉积NiZn铁氧体薄膜。本发明方法制备的NiZn铁氧体薄膜无需经过后续高温退火处理，解决了铁氧体薄膜在后续器件应用中与半导体工艺不兼容的问题；同时，旋转喷涂法制得的NiZn种子层的引入，在低温条件下使射频磁控溅射法制备的NiZn薄膜具有更好的结晶性能，饱和磁化强度4πMs(≥5900Gs)、起始磁导率μi(≥200)和截止频率fr(≥1.85GHz)大幅度提高。
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公开(公告)号：CN110729979A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910937624.9
申请日：2019-09-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 电子科技大学
Abstract: 本发明属于声波滤波器技术领域，涉及一种薄膜体声波滤波器晶圆级封装方法及其结构；封装方法包括在同一片硅晶圆上加工形成多个芯片；将陶瓷基板表面制作多个与芯片形状匹配的金属图形，针对外部引线制作出相应的导通孔；将芯片和金属图形正对后进行金属键合，并形成键合层金属，从导通孔连接至晶圆；在陶瓷基板背向芯片的一面镀制金属种子层再进行电镀，使导通孔内填充满金属，并去除以外的金属种子层；再制作外电极和外部电路结构，在外电极表面制作外部焊球。本发明通过金属键合，使器件内部与外部形成了隔绝的两个部分，从而保护裸芯片表面不被污染以及密封的效果能满足气密封的要求，保护了薄膜体声波滤波器件的工作面，使器件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN110649909A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910937621.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 电子科技大学
Abstract: 本发明属于声表面波滤波器晶圆封装技术领域，具体涉及一种声表面波滤波器件晶圆级封装方法及其结构，所述结构包括功能晶圆和有机感光膜盖板，在功能晶圆的中央包括多个工作面朝向相同的功能芯片；有机感光膜盖板位于功能晶圆的正上方，在有机感光膜盖板的四周向下叠放有多层台阶，其中，距离有机感光膜盖板最近的为第一层台阶，第一层台阶为有机感光膜台阶、第二层台阶为焊盘电极，且所述焊盘电极固定在功能晶圆上；在盖板的部分上表面、外表面以及每一层台阶的外表面制备有连续导通的金属种子层；在盖板的部分上表面的金属种子层上还包括外部焊球。本发明通过有机感光膜的方式避免了键合和刻蚀过程造成的裂片，缩短了工艺流程，降低了加工成本。
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