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公开(公告)号：CN103019045A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210533774.1
申请日：2012-12-11
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/027 , F16F15/08 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67346
Abstract: 一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体和线缆台，线缆台安装在硅片台的一个侧面，硅片台含有三个气囊、四个阻尼缓冲元件和气源，三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件和气体管路相连通，气体管路固定在线缆台上与气源相连通。当两个硅片台发生碰撞时，两个硅片台的气囊首先撞上，内部气体受到挤压，部分通过两侧阻尼缓冲原件的调节排出气囊，既缓冲了冲击力，又使得了硅片台不被反弹出去。由于该防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。
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公开(公告)号：CN102506110A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110326616.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: F16F6/00
CPC classification number: F16F6/005 , F16F2228/063
Abstract: 一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构，包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向磁化，外环形永磁体径向磁化，内外环形永磁体构成一个正刚度系统，上、下橡胶片构成负刚度系统，正负刚度系统并联使用可构成低频隔振机构。三个或四个单自由度隔振机构并联使用可实现三自由度的低频隔振；该隔振机构磁场力最大时，其刚度接近于零。本发明不需要外界气源，具有在真空中使用的前景；结构简单，成本低廉，且易于加工的特点；可用于光学、声学、生物学、半导体制造和精密测量等领域。
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公开(公告)号：CN101727019B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910241909.5
申请日：2009-12-15
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01L21/68 , G03F7/70725 , G03F7/70733 , G03F7/70758
Abstract: 一种光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法，该系统含有两个硅片台、基台、X方向直线导轨、Y方向直线导轨、硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元，所述系统还包括设置在第一X方向直线导轨上的第一主驱动单元和设置在第二X方向直线导轨上的第二主驱动单元。在主驱动单元驱动下，Y方向导轨可实现沿X方向的移动和基台平面内的旋转运动；当Y方向导轨带动硅片台旋转至与X方向平行时，另一带有硅片台的Y方向导轨可在主驱动单元的驱动下沿X方向平移运动，以实现两硅片台的位置交换。本发明避免了硅片台尺寸一致性、零部件加工和装配的极高精度要求等缺陷，不仅简化了系统结构，而且提高了系统的空间利用率和精度。
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公开(公告)号：CN101769764A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN201010034274.4
申请日：2010-01-19
Applicant: 清华大学
IPC: G01D5/12
Abstract: 一种基于直线磁钢阵列的运动平台一维定位方法，该方法包括以下步骤：在运动系统中运动平台表面运动方向上的直线磁钢阵列一个或一个以上极距内任意不同位置放置2个以上线性霍尔传感器，根据直线磁钢阵列确定磁通密度分布模型，确定上述线性霍尔传感器的安装位置，并转化为相对运动平台质心的相位，在运动过程中记录所述线性霍尔传感器磁通密度测量值，并以所述测量值作为观测量，所述磁通密度分布模型作为计算模型，解算运动平台质心在运动方向上的相位，再以所述相位为依据，确定运动平台质心相对于初始相位的位置，实现运动平台的一维定位。本发明为包含直线磁钢阵列的运动系统提供了一种简单、便捷、鲁棒的平台一维质心位置计算方法。
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公开(公告)号：CN101727019A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910241909.5
申请日：2009-12-15
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01L21/68 , G03F7/70725 , G03F7/70733 , G03F7/70758
Abstract: 一种光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法，该系统含有两个硅片台、基台、X方向直线导轨、Y方向直线导轨、硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元，所述系统还包括设置在第一X方向直线导轨上的第一主驱动单元和设置在第二X方向直线导轨上的第二主驱动单元。在主驱动单元驱动下，Y方向导轨可实现沿X方向的移动和基台平面内的旋转运动；当Y方向导轨带动硅片台旋转至与X方向平行时，另一带有硅片台的Y方向导轨可在主驱动单元的驱动下沿X方向平移运动，以实现两硅片台的位置交换。本发明避免了硅片台尺寸一致性、零部件加工和装配的极高精度要求等缺陷，不仅简化了系统结构，而且提高了系统的空间利用率和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101046483A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710064950.0
申请日：2007-03-30
Applicant: 清华大学
Inventor： 张利
Abstract: 本发明属于数字信号处理领域，其特征在于通过极坐标变换，利用目标信号比背景信号强或者弱的特点进行背景估测。其方法是根据目标信号比背景信号强或者弱的特点，分别以信号的幅值为极径，信号的自变量为极角，进行极坐标变换；之后，在极坐标平面上，计算变换后信号的凸包；接着，将极坐标中所求凸包的顶点进行逆变换，在直角坐标系中就得到了信号上的一些背景点；最后，以找到得背景点为插值关键点，再利用插值方法估测出信号背景。本方法简单易行，精度较高，特别适合于目标边缘模糊且背景不均匀的情况。
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公开(公告)号：CN1199607C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN03109810.X
申请日：2003-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 双向数字式无线内窥镜系统属医用无损伤内窥镜技术领域，它是一种双向无线通信可控且可实时观察图像、全数字且全消化道检查的双向数字式无线内窥镜系统，含有无线收发数字式内窥镜摄像装置，便携式无线接收与数据传输装置以及计算机控制与处理装置，在无线收发数字式内窥镜摄像装置内设有可调视角的摄像头、可调焦距的光学镜头以及可摄取三维图像的发光照明结构。具有三种不同的工作方：无线收发数字式内窥镜摄像装置与便携式无线接收和数据传输装置联合工作方式；无线收发数字式内窥镜摄像装置和计算机控制与处理装置联合工作方式；无线收发数字式内窥镜摄像装置、便携式无线接收和数据传输装置和计算机控制与处理装置联合工作方式。
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公开(公告)号：CN1342517A
公开(公告)日：2002-04-03
申请号：CN01130896.6
申请日：2001-08-31
Applicant: 清华大学
IPC: B01J21/06 , B01J37/03 , C01G23/053
Abstract: 本发明涉及一种用溶胶-凝胶法制备介孔二氧化钛粉体和薄膜光催化剂的方法,首先制备前驱体,以钛酸正丁酯为原料,将原料、低碳醇、二乙醇胺例配成溶液,并加入聚乙二醇,得到透明前驱体溶胶,将前驱体溶胶中的溶剂蒸发,干燥后粉碎,煅烧,即形成介孔TiO2光催化剂。本发明的方法制备出的介孔TiO2光催化剂,具有光催化效率高以及高活性等优点,利用该方法制备的介孔粉体和薄膜具有垂直开放的孔结构,有利于光催化反应的进行和活性的提高。PEG是一种很普通的高分子材料,利用该方法可以制备出成本低,工艺简单的介孔TiO2粉体或薄膜光催化剂。
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公开(公告)号：CN1078565C
公开(公告)日：2002-01-30
申请号：CN99100221.0
申请日：1999-01-22
Applicant: 清华大学
IPC: C01G23/047
Abstract: 本发明涉及一种用四氯化钛醇解法制备二氧化钛纳米粉体的方法，该方法首先制备四氯化钛乙醇溶胶，将四氯化钛溶液滴加到醇溶液中，存放30-50小时，然后把溶液放在饱和水蒸气中，存放30-50小时，最后蒸发回收醇溶剂，直到形成干凝胶。干凝胶经粉碎后，在空气氛条件下进行煅烧，即形成本发明的二氧化铁纳米粉体。运用本发明的方法制备出的二氧化钛纳米粉体，其粒径均匀，粒径大小可以从4纳米到10纳米，而且分散性好。
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公开(公告)号：CN1079093A
公开(公告)日：1993-12-01
申请号：CN92103741.4
申请日：1992-05-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于数字图象处理领域，它是一种基于PC/286或PC/386微机的动态序列图象处理系统。通过它来自摄象机的视频信号可以被实时量化成256×256×8的数字图象，并以每秒小于或等于25幅的速度存入计算机扩展内存中，存储容量可达几百幅；同样存入扩展内存中的序列图象既可以相同的速度按序号进行各种动态伪彩色显示，也可根据实际需要进行各种图象处理。因此它在工业检测、国防建设、体育训练、医疗卫生、电视特技、人象打印等领域都有较大的应用价值。
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