检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法

    公开(公告)号:CN110045688A

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201811202151.X

    申请日:2018-10-16

    Abstract: 本发明提供一种将与检查装置中的检查内容的设定相关的信息保持为历史,使得所述信息能够容易地参照的检查管理系统、检查管理装置及检查管理方法。检查管理系统是对具有产品制造装置与检查装置的生产线中的所述检查装置的检查进行管理,其中包括:检查内容数据获取部件,获取包含每个零件的检查基准的检查内容数据;检查内容设定部件,设定检查内容;设定关联信息获取部件,在所述检查内容设定部件设定有新检查内容时,获取包含何时进行新检查内容的设定的设定关联信息;存储部件,将所述设定关联信息与检查内容的设定历史相关联地保持;设定关联信息读出部件,读出由所述存储部件保持的设定关联信息;以及输出部件,能输出至少所述设定关联信息。

    基板检查装置及其参数设定方法和参数设定装置

    公开(公告)号:CN1885014A

    公开(公告)日:2006-12-27

    申请号:CN200610093124.4

    申请日:2006-06-22

    Abstract: 本发明提供可自动生成为在图像中确定相邻的2个部分之间的边界而使用的参数的技术。分别针对训练图像、对颜色采集区域设定多个图案,该颜色采集区域由用于采集第一部分的颜色的第一区域和用于采集第二部分的颜色的第二区域构成,关于颜色采集区域各自的图案,将第一区域内的各像素的颜色作为对象点、将第二区域内的各像素的颜色作为排除点,分别映射到色彩空间中,关于颜色采集区域各自的图案,计算色彩空间中的对象点分布和排除点分布的分离度,选择分离度为最大的颜色采集区域的图案,求出分割色彩空间的颜色范围,使得所选择出的图案中的对象点的数量和排除点的数量之差最大,将所求出的颜色范围设定为在基板检查处理中使用的颜色条件。

    基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置

    公开(公告)号:CN1825100A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200610008388.5

    申请日:2006-02-21

    Abstract: 基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置。本发明的课题是提供可以高速地且以较小的存储容量检查IC类部件的错位的技术。作为解决手段,预先存储检查逻辑,该检查逻辑包含规定检查对象部件的部件主体所呈现的颜色的颜色条件、以及判断条件,以不同的入射角对检查对象部件照射多种颜色的光,对其反射光进行拍摄,从而取得包含所述检查对象部件的部件主体的边缘的至少一部分的检查图像,使用所述颜色条件,通过图像处理,从所述检查图像中提取满足所述颜色条件的部件主体区域,通过图像处理确定所述部件主体区域的边缘,通过对所述边缘的特征量的值和所述判断条件进行比较,来判断所述检查对象部件是否为正确的位置和/或角度。

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