公开(公告)号：CN101715421A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200880021730.2

申请日：2008-05-09

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  长谷川文夫 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明公开一种通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送用的悬浮输送装置。所述悬浮输送装置具有：一个以上的基部，划分出所述流体通过的小室，分别具有平面状的上表面和喷出孔，该喷出孔形成为在所述上表面具有开口部，并配置成可在所述开口部包围的所述上表面的区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体产生均匀压力的空间，至少在所述上表面附近向所述区域的内部倾斜，用于与所述小室连通而喷出所述流体；流体供给装置，对所述流体施压从而向所述小室供给所述流体；读取装置，读取从由所述对象物的悬浮高度、品种所构成的组中选择的信息；控制装置，对所述流体供给装置进行控制，使得与所述读取装置所读取的所述信息对应地调节所述悬浮高度；以及输送装置，用于输送所述对象物。

公开(公告)号：CN101643152A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910164107.9

申请日：2009-08-04

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  和田芳幸 ,  田中刈入

IPC: B65G51/02 ,  B65G51/03 ,  B65G13/00 ,  B65G49/06

CPC classification number: H01L21/67784 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02

Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有：在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。