公开(公告)号：CN102057467A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200880129715.X

申请日：2008-06-12

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 河口纪仁 ,  川上隆介 ,  西田健一郎 ,  M正木 ,  森田胜 ,  芳之内淳

IPC: H01L21/268

CPC classification number: B23K26/0732 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0665 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/48 ,  H01L21/02678

Abstract: 在使用了固体激光的激光退火中，能够容易地对应于半导体膜的激光照射部分的位置变动，对矩形光束的短轴方向的焦点位置进行补正。使用将入射光在短轴方向聚光的短轴用聚光透镜（29）、和将来自该短轴用聚光透镜（29）的出射光投影到上述半导体膜（3）的表面的投影透镜（30），使激光（1）在半导体膜（3）的表面在矩形光束的短轴方向聚光。以位置变动检测器（31）检测出半导体膜（3）的激光照射部分在该半导体膜的垂直方向的位置变动，基于该检测值使短轴用聚光透镜（29）在光轴方向移动。

公开(公告)号：CN101208778A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200680022992.1

申请日：2006-09-12

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 川上隆介 ,  西田健一郎 ,  河口纪仁 ,  正木深雪 ,  芳之内淳

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02675 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/268 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1296

Abstract: 一种通过在基板表面形成的半导体膜上照射激光束而进行的激光退火方法，包括生成与行进方向垂直的截面为矩形且电场朝矩形长边方向的线偏振的矩形激光束或者长轴朝长边方向的椭圆偏振的矩形激光束的步骤；使上述矩形激光束入射到基板表面上的步骤；以及将上述矩形激光束的波长设定为与驻波方向所要的晶粒尺寸相当的长度的步骤。