公开(公告)号：CN111383948A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201910869309.7

申请日：2019-09-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 江藤谦次 ,  阿部洋一 ,  龟崎厚治

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：以多段方式收纳多张基板的盒；能够密闭地收纳所述盒的腔室；和用于使所述盒在所述腔室内升降的升降机构。所述腔室具有顶棚部、底部和侧部，并且被分割为上腔室和下腔室且以平面状环设有相互成为密封面的凸缘部，所述凸缘部以至少比所述顶棚部更靠下侧的部分成为分割位置的方式倾斜配置。

公开(公告)号：CN110291625A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201980001255.0

申请日：2019-01-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 宫谷武尚 ,  神保洋介 ,  山本良明 ,  江藤謙次 ,  阿部洋一

IPC: H01L21/683 ,  C23C16/44 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明的加热器基座为用于支撑加热器的加热器基座，具备多个变位机构，所述变位机构配置在所述加热器与所述加热器基座之间且设置于所述加热器基座上，多个所述变位机构中的三个以上的变位机构在与加热器接触的状态下能够使所述加热器相对于加热器基座变位。