公开(公告)号：CN111578921A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010092779.X

申请日：2020-02-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。

公开(公告)号：CN108982917A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810413983.X

申请日：2018-05-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 描述了一种微电子机械加速度计。该加速度计包括：用于测量沿着垂直于衬底平面的竖直轴的加速度的第一传感器；以及具有与衬底平面相邻且平行的至少一个内封装平面的加速度计封装。第一传感器包括相对于衬底可移动的转子、转子悬吊件以及相对于衬底不可移动的一个或更多个定子。转子是跷跷板框架，其中纵向转子杆包括一个或更多个第一偏转电极，并且第二偏转电极在该一个或更多个第一偏转电极中的每一个的上方和/或下方被固定至内封装平面，使得它们交叠。该加速度计可以被配置成通过将测试电压施加于至少一个第一偏转电极和至少一个第二偏转电极来执行自测试。可以利用在转子电极与定子电极之间进行的电容式测量来读取自测试响应信号。

公开(公告)号：CN108872638A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810414277.7

申请日：2018-05-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 马蒂·柳库 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125

Abstract: 本公开内容描述了一种电容式微电子机械加速度计。该加速度计具有至少第一传感器，第一传感器包括作为双侧式跷跷板框架的转子。转子包括在其旋转轴的第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在其旋转轴的第二侧的一个或更多个第二阻尼板。一个或更多个第二阻尼板在该一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方或下方被固定至内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板的投影在旋转轴的每一侧交叠。框架形转子可以围绕位于衬底平面中的第二加速度传感器和第三加速度传感器。