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公开(公告)号:CN1323386C
公开(公告)日:2007-06-27
申请号:CN200410058625.X
申请日:2004-07-23
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G11B5/39
CPC classification number: H01F10/324 , B82Y25/00 , G11B5/3906 , H01F10/3259 , H01F10/3268
Abstract: 一种磁电阻元件,具有彼此分离的第一磁性层和第二磁性层,第一磁性层和第二磁性层分别具有方向基本上被钉扎的磁化,和与第一磁性层和第二磁性层接触形成并电连接第一和第二磁性层的非磁性导电层,该非磁性导电层形成从一磁性层至另一磁性层的自旋极化电子的路径,非磁性导电层包含位于第一磁性层和第二磁性层之间的部分,该部分为感应区。
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公开(公告)号:CN1953061A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610137368.8
申请日:2006-10-20
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: C23C8/02 , B82Y10/00 , B82Y25/00 , B82Y40/00 , C23C8/34 , C23C28/321 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/345 , C23C28/3455 , C23C28/42 , G11B5/3163 , G11B5/3932 , G11B2005/3996 , H01F10/3259 , H01F10/3268 , H01F41/305
Abstract: 一种磁阻效应元件的制造方法,该磁阻效应元件包括:磁化方向实质上被固定在一个方向的磁化固定层;磁化方向相对外部磁场发生变化的磁化自由层;间隔层,该间隔层包含设在所述磁化固定层和所述磁化自由层之间的绝缘层和贯通所述绝缘层的电流通道,其特征在于,在形成所述间隔层时,使形成所述电流通道的第1非磁性金属层成膜,将变换为所述绝缘层的第2金属层在所述第1非磁性金属层上成膜,第1氧化工序的氧化气体分压小于等于第2氧化工序的氧化气体分压的1/10,依次进行2个阶段的氧化工序,在所述第1氧化工序中对所述第2金属层照射稀有气体的离子束或RF等离子。采用本方法,可以制造具有合适的面积电阻RA和高的MR变化率的磁阻效应元件。
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公开(公告)号:CN100573670C
公开(公告)日:2009-12-23
申请号:CN200710101294.7
申请日:2005-07-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B82Y25/00 , B82Y10/00 , G01R33/093 , G11B5/3932 , G11B2005/3996
Abstract: 本发明提供一种磁阻效应元件、磁头、磁记录再生装置以及磁存储器,该磁阻效应元件具有磁化方向实质上固定的第1磁性层;磁化方向根据外部磁场变化的第2磁性层;设置在上述第1磁性层与上述第2磁性层之间的磁性隔离层;和相对于包含上述第1磁性层、磁性隔离层以及第2磁性层的叠层膜的膜面垂直地通过电流的电极,其中,当外部磁场为0时,在上述磁性隔离层中,在从接近上述第1磁性层的区域到接近上述第2磁性层的区域之间,自旋方向成为扭曲大约90°的状态。
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公开(公告)号:CN101499514A
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200910003801.2
申请日:2009-02-01
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L43/08 , B82Y10/00 , B82Y25/00 , G01R33/093 , G11B5/3906 , G11B2005/3996 , G11C11/161 , H01L27/228 , H01L43/10 , H01L43/12
Abstract: 本发明提供一种可实现更大MR变化率的磁阻效应元件,该磁阻效应元件,其特征在于,具有:磁阻效应膜;以及用于使电流在上述磁阻效应膜的膜面上垂直流通的一对电极,该磁阻效应膜,含有:磁化方向实质上固定在一个方向上的磁化固定层;磁化方向对应于外部磁场而变化的磁化自由层;设置在上述磁化固定层和上述磁化自由层之间的中间层;设置在上述磁化固定层或上述磁化自由层上面的盖层;以及设于上述磁化固定层中、上述磁化自由层中、上述磁化固定层和上述磁化自由层的界面、上述中间层和上述磁化自由层的界面、以及上述磁化固定层或磁化自由层与上述盖层的界面的任何一个、并由含有氧或氮的材料形成的功能层,上述功能层的结晶取向面与其上或其下邻接的层的结晶取向面不同。
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公开(公告)号:CN101404320A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200810178701.9
申请日:2006-05-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/3929 , G11B5/3903 , G11B5/3932 , G11C11/161 , G11C11/1657 , G11C11/1659 , G11C11/1675 , H01F10/3263 , H01F10/3272 , H01L27/224 , H01L27/228 , H01L43/08 , H01L43/10
Abstract: 本发明提供一种磁阻效应元件、磁头、磁记录再生装置、以及磁存储器,该磁阻效应元件包括:3层以上的金属磁性层;所述3层以上的金属磁性层间设置的连接层;以及使电流相对于所述金属磁性层和连接层的迭层体在垂直方向上导通的电极,所述3层以上的金属磁性层当中最底层或最顶层的金属磁性层的磁化方向被固定,中间的金属磁性层的磁化方向扭转。
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公开(公告)号:CN101064358A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710102978.9
申请日:2007-04-27
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01F41/302 , B82Y10/00 , B82Y25/00 , B82Y40/00 , G01R33/09 , G11B5/3929 , G11B2005/3996 , G11C11/16 , H01F10/3222 , H01F10/3272 , H01F10/3295
Abstract: 本发明的磁阻元件包括:具有基本上固定的磁化方向的第一磁性层;设置于该第一磁性层上、具有氧化物、氮化物、氧氮化物、以及金属其中至少一种的薄膜层;以及设置于该薄膜层上、具有基本上固定的磁化方向的第二磁性层。
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公开(公告)号:CN101042874A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200710101294.7
申请日:2005-07-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B82Y25/00 , B82Y10/00 , G01R33/093 , G11B5/3932 , G11B2005/3996
Abstract: 本发明提供一种磁阻效应元件、磁头、磁记录再生装置以及磁存储器,该磁阻效应元件具有磁化方向实质上固定的第1磁性层;磁化方向根据外部磁场变化的第2磁性层;设置在上述第1磁性层与上述第2磁性层之间的磁性隔离层;和相对于包含上述第1磁性层、磁性隔离层以及第2磁性层的叠层膜的膜面垂直地通过电流的电极,其中,当外部磁场为0时,在上述磁性隔离层中,在从接近上述第1磁性层的区域到接近上述第2磁性层的区域之间,自旋方向成为扭曲大约90°的状态。
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公开(公告)号:CN101026221A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200710078832.5
申请日:2007-02-16
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/398 , B82Y25/00 , G01R33/09 , G11B5/3906 , H01F10/3254 , H01F10/3259 , H01F10/3281 , H01L27/228 , H01L43/08
Abstract: 一种磁阻效应元件,包括:固定磁化层;自由磁化层;其设置在所述固定磁化层和所述自由磁化层之间的非磁性隔离;和设置在所述自由磁化层背向所述非磁性中间层的一侧上的插入层,其中,第一绝缘层具有包含选自由Al(铝)、Si(硅)、Mg(镁)、Ta(钽)和Zn(锌)构成的组中的至少一种元素的氧化物、氮化物或氧氮化物作为主要成分,以及,所述插入层具有包含选自由Al(铝)、Si(硅)、Mg(镁)、Ta(钽)和Zn(锌)构成的组中的至少一种元素的氧化物、氮化物或氧氮化物作为主要成分。
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公开(公告)号:CN101017668A
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200710005511.2
申请日:2007-02-09
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/3909 , B82Y10/00 , B82Y25/00 , B82Y40/00 , G01R33/093 , G11B5/3163 , G11B5/3929 , G11B2005/3996 , H01F10/3259 , H01F10/3272 , H01F10/3281 , H01F41/303 , H01F41/325
Abstract: 一种用于制造磁阻效应元件的方法,该磁阻效应元件具有依次层叠的磁化固定层、非磁性中间层以及磁化自由层。该方法包括:形成将成为磁化固定层或磁化自由层之一的至少部分磁性层;形成功能层,该功能层包括位于该磁性层的部分上的氧化物、氮化物以及氟化物中的至少一种;以及通过将功能层暴露于离子束辐射或等离子体辐射之一从而去除部分功能层。
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公开(公告)号:CN1674094A
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN200510053078.0
申请日:2005-03-07
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L43/08 , B82Y10/00 , B82Y25/00 , G01R33/093 , G11B5/3906 , G11B2005/3996 , H01F10/3259 , H01F10/3272 , H01F41/325
Abstract: 磁电阻元件具有磁化受钉扎层、包括非磁性金属层、增加电阻层和另一个非磁性金属层叠层的非磁性间隔层、具有fcc晶体结构的磁化自由层、具有fcc、hcp或bcc晶体结构并且具有比磁化自由层更大的最近邻原子之间原子间距的磁化自由层,以及一对电极,提供所述电极从而在基本上垂直于磁化受钉扎层、非磁性间隔层、磁化自由层和盖层的平面的方向上供应检测电流。
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