涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法

    公开(公告)号:CN118829489A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202280092645.5

    申请日:2022-11-14

    Abstract: 本发明提供一种涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法。根据实施方式,提供能够得到大面积且均匀的涂敷膜的涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法。实施方式的涂敷装置通过弯月面法形成涂膜,具备输送基材的部件、涂敷棒、向涂敷棒的表面供给涂敷液的狭缝式模头、以及向狭缝式模头供给涂敷液的部件,各部件配置成,使得从狭缝式模头供给的涂敷液经由涂敷棒的表面供给到涂敷棒与基材之间而形成弯月面。

    涂敷装置以及涂敷方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117062675A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202280016250.7

    申请日:2022-02-21

    Abstract: 提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法。根据实施方式,涂敷装置包括涂敷杆、多个喷嘴、多个保持部以及检测部。上述涂敷杆能与被涂敷构件相向。上述多个喷嘴能朝上述涂敷杆供给液体。上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴。上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置。上述检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量。

Patent Agency Ranking