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公开(公告)号:CN216671554U
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202122298385.2
申请日:2021-09-23
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: H01J37/08
Abstract: 本实用新型涉及一种高稳定性能离子原栅网装置,包括:栅网套筒,所述栅网套筒内从下到上依次设有屏栅、加速栅以及减速栅;承载于所述栅网套筒用于调节栅网间距的调节机构,所述调节机构包括:开设于所述栅网套筒上下两侧的升降槽、嵌设于所述升降槽侧壁的轴承、位于所述升降槽且设于所述轴承内圈的螺纹杆、以及套设于所述螺纹杆的螺纹套;以及,一端连接于所述螺纹套且另一端连接于所述屏栅与减速栅的固定组件。通过上述设置,能够控制屏栅和减速栅上下运动,由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧,所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距。
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公开(公告)号:CN216663211U
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202122298049.8
申请日:2021-09-23
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种高效全自动真空镀膜机。包括:镀膜仓和用于包覆镀膜仓的壳体,镀膜仓的顶部设有用于放置镀膜粉的膜料盒,镀膜盒内滑动连接有一组第一滑动块,一组第一滑动块的顶部固定连接有用于放置镀膜粉的放置框,放置框的底部安装有加热带,膜料盒的底部开设有若干通孔,镀膜仓的侧壁上滑动连接有一组第二滑动块,一组第二滑动块的顶部放置有放置板,放置板的底部安装有放置在镀膜仓底部的电机,镀膜仓设置有用于放置物品的仓门。本实用新型通过导热片间接增大了半导体制冷片冷端与导热管的接触面积,从而提高了半导体散热片对镀膜片的散热效率。
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公开(公告)号:CN213013066U
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN202021230308.2
申请日:2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及蒸镀装置技术领域,尤其为一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,包括机体,所述机体的内侧转动连接有动力转杆,所述动力转杆的外端面固定连接有放置架,所述放置架的内侧可拆卸连接有伞具,所述伞具的内侧转动连接有卡具,所述伞具的内侧转动连接有主动转杆,靠近伞具内侧的卡具固定连接,所述主动转杆的另一端固定连接有第一动力齿轮,所述机体的内侧固定连接有第一齿条,所述第一齿条与第一动力齿轮啮合,本实用新型中,通过设置的动力转杆、伞具、第一齿条、卡具等构件,可以在伞具的转动时实现卡具的翻转,通过卡具的翻转,使镀件在镀膜时可以进行双面镀膜,增加镀膜效果,加快镀膜效率。
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公开(公告)号:CN212582000U
公开(公告)日:2021-02-23
申请号:CN202021230798.6
申请日:2020-06-29
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及镀膜机领域,尤其为一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机,包括箱体,所述箱体右端转动连接有控制柜,所述箱体外侧左端固定连接有气密性检测仪,所述气密性检测仪顶端固定连接有检测管,所述检测管与箱体固定连接,所述箱体内侧右端固定连接有第一电机,所述箱体内侧上端固定连接有固定板,所述第一电机的主轴末端固定连接有螺纹轴,所述螺纹套筒底端固定连接有光学干涉测厚仪,本实用新型中可通过打开第一电机带动螺纹杆转动,螺纹杆带动螺纹套筒左右移动,通过PLC和工控机自动控制,可实现靶材镀膜厚度的自动检测,通过PLC和工控机可同时对气密性检测仪操控,实现数据自动化记录,使工作十分方便。
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公开(公告)号:CN221398012U
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202323180303.X
申请日:2023-11-24
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
Abstract: 本实用新型涉及溅射靶技术领域,具体为一种角度可调式溅射靶,包括安装法兰、气缸,所述安装法兰的左侧设置有磁流体。本实用新型通过设置有电机、磁流体、联轴器、锥齿轮等部件,电机转动时,通过磁流体、联轴器带动小齿轮后传到大齿轮上,带动靶头旋转,靶头的摆动采用具有柔性的波纹管连接,在实现真空密封时也具有角度摆动功能,解决了倾斜安装的溅射靶,其溅射角度固定了,无法调整;当镀膜均匀性不好时,无法通过角度的微调来修正均匀性,当基片尺寸改变时或安装多个基片时,无法调整聚焦的角度,工艺灵活性较差;角度调节为手动的,且只能在不工作时,打开真空室调整,效率较低的问题。
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公开(公告)号:CN216668654U
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202122298477.0
申请日:2021-09-23
Applicant: 杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
IPC: G01B21/08
Abstract: 本实用新型涉及光控自动镀膜机领域,公开了一种白光自控镀膜检测系统。包括:工作台,间隔设于工作台上的固定柱;设于固定柱上的升降驱动装置,升降驱动装置包括:开设于固定柱上的容置槽、设于容置槽内的丝杠、设于固定柱内且与丝杠连接的第一电机、以及套设于丝杠上的滑动座。设于滑动座内的平移驱动装置,平移驱动装置包括:设于滑动座上的第二电机、套设于第二电机输出端上的驱动齿轮、以及设于滑动座上与驱动齿轮啮合配合的齿条座。设于齿条座上的安装座,设于安装座上的旋转驱动装置。设于安装座上且与监控检测本体配合的俯仰驱动装置。通过上述设置,使该装置能够根据实际需要监控到全部区域,提高了检测的准确性。
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