层叠结构体及半导体制造装置部件

    公开(公告)号:CN113451172A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202110228008.3

    申请日:2021-03-02

    Abstract: 本发明提供层叠结构体及半导体制造装置部件,层叠结构体(10)具备:第一结构体,其由包含AlN及MgAl2O4作为主相的复合烧结体形成;以及第二结构体,其由陶瓷烧结体形成,且层叠并接合于该第一结构体。并且,该第一结构体与该第二结构体的线性热膨胀系数之差为0.3ppm/K以下。由此,能够抑制由热应力所导致的第一结构体与第二结构体之间的接合部受损。

    电介质组成物及电介质膜元件

    公开(公告)号:CN100400465C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200510092940.9

    申请日:2005-08-24

    Abstract: 本发明涉及提供电子发生元件中能够改善电子放出量随时间恶化的电介质组成物。本发明的电介质组成物,以PbxBip(Mgy/3Nb2/3)aTib-zMzZrcO3(0.95≤x≤1.05,0.02≤p≤0.1,0.8≤y≤1.0,且a、b、c是在(0.550,0.425,0.025),(0.550,0.150,0.300),(0.100,0.150,0.750),(0.100,0.525,0.375),(0.375,0.425,0.200)的5个点所包围的范围内的小数。还有,0.02≤z≤0.10,M是从Nb、Ta、Mo、W中选择的至少一种。)所表示的PMN-PZ-PT三成分固溶系组成物为主要成分,并且含有的Ni的量换算成NiO的含量为0.05~2.0重量%。

    陶瓷体、蜂窝结构体、陶瓷体的制造方法及加热器构件

    公开(公告)号:CN116803955B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202310174736.X

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明提供陶瓷体、蜂窝结构体、陶瓷体的制造方法及加热器构件,陶瓷体的室温电阻率较低,且200℃电阻率为室温电阻率的500倍以上。陶瓷体以Ba的一部分由稀土元素及碱土金属元素置换得到的BaTiO3系结晶粒子为主成分。该陶瓷体包含1.0~8.0质量%的Ba6Ti17O40结晶粒子。另外,BaTiO3系结晶粒子中,1摩尔的Ba中的碱土金属元素的置换量为0.01~0.10摩尔。

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