公开(公告)号：CN102099128A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN200980127841.6

申请日：2009-07-17

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 青木禧明 ,  久下守正 ,  辻田京史 ,  田中秀幸 ,  野村充

IPC: B08B3/02 ,  B05B1/20 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/022 ,  B05B1/202 ,  B05B13/0468 ,  H01L21/67051

Abstract: 本发明的高压清洗液喷射式清洗装置，具备棒状支架、以及沿着所述棒状支架的长度方向保持一定的间隔排列的多个高压清洗液喷嘴，可在该支架的长度方向的两侧可转动地支持所述支架使其能够围绕长度方向的轴转动，一边将清洗对象相对于所述支架以一定的速度输送，一边使所述支架在规定的转动角度内围绕所述轴往复转动，一边从各喷嘴对所述清洗对象的清洗面以一直线状喷射高压清洗液进行清洗，所述高压清洗液喷射式清洗装置将所述支架做成横越所述清洗对象的长度以上的长度，从所述清洗面的法线方向看来，将所述支架与所述清洗对象的输送方向正交或斜交地配置。