低温泵抽空装置及其抽空方法

    公开(公告)号:CN115628199A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211267329.5

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法,包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室,所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连,所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通,且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中,通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压,使其满足低温泵组件的使用工况,防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值,通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度,控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下,从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空,同时免除了干泵等粗抽泵的使用,降低真空获取成本。

    一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法

    公开(公告)号:CN113566469A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110875057.6

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,当阀组打开时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通,当阀组关闭时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。

    耐热辐射的大抽速低温泵
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112392687B

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202011300645.9

    申请日:2020-11-18

    Abstract: 本发明涉及真空设备领域,具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵,包括制冷机,制冷机上安装有壳体,制冷机的冷头位于壳体中;所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板;所述壳体的开口处设置有前置挡板,自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收,自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于:通过本方案的前置挡板结构,可基本实现热辐射和气体分子分离的目的,从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射,并且由于气体运动通道相对顺畅,可以实现较高的气体抽速,从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。

    一种快速降温型低温泵及其降温方法

    公开(公告)号:CN108252896A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201711418218.9

    申请日:2017-12-24

    CPC classification number: F04B37/08 F04B39/06

    Abstract: 本发明公开了一种快速降温型低温泵,包括壳体、双级GM制冷机系统、辐射冷屏、低温板以及引入外部制冷液体的液冷源馈入部件,所述液冷源馈入部件包括中空直线导入器、馈入管路、液冷源容器、导冷块。调节所述中空直线导入器,可带动所述馈入管路的移动,实现安装于液冷源容器上的导冷块与所述一级冷却台的接触和分离。本发明还公开了该低温泵的制冷方法。相比于现有技术,本发明具有成本较低、控制过程简易、可实现快速制冷等特点。

    真空管道
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105673972B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201610153969.1

    申请日:2016-03-16

    Abstract: 本发明涉及真空设备技术领域,特别涉及一种真空管道,包括第一管体、第二管体以及波纹管,所述的波纹管设置有两个以上,气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中,流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起,第一管体和第二管体为刚性材料制成,真空管道的进、出气口同心布置,波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直,这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消,而第一、二管体是刚性的,这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移;同时,由于这里设置了波纹管,这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体,起到很好的隔振效果。

    一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN119827714A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411990967.9

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法,包括依次相连的分子泵、冷阱、测试腔体、连接管路、气体取样器,所述测试腔体外侧设有烘烤装置,所述连接管路包括并联连接的第一连接管路和第二连接管路,任一所述连接管路上设有MFC流量计,所述第一连接管路和第二连接管路上均设有阀门,所述测试腔体上连接有残余气体分析仪和高真空规。本发明中,通过气体分析仪能够对混合气体的组分定量分析监测,通过真空规测量10‑7Pa量级的压力,从而实现GM制冷机系统高纯氦气工质的纯度定量分析,监测氦气压缩机输出氦气的纯度,进而能够确认吸附器的更换周期。

    低温泵抽空装置及其抽空方法

    公开(公告)号:CN115628199B

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202211267329.5

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法,包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室,所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连,所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通,且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中,通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压,使其满足低温泵组件的使用工况,防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值,通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度,控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下,从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空,同时免除了干泵等粗抽泵的使用,降低真空获取成本。

    一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法

    公开(公告)号:CN113686059B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202110875079.2

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器,所述压缩机通过管道与储气腔相连通,所述储气腔的内腔安装有阀组,所述阀组包括固定阀、旋转阀,所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔,且所述排气孔均与旋转阀相连通,所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔,所述阀组通过管道与一级回热器相连通,所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器,所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通,有效的提高了制冷效率,同时提升了有效的制冷量,大大提高了装置的实用性,取消了外部的预冷部件,结构上整合成一套设备,更加紧凑。

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