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公开(公告)号:CN1582392A
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN02822085.4
申请日:2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/84
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/045
Abstract: 本发明提供保持装置,其设有:放置玻璃基板(1)的保持本体(4);设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10);在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。
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公开(公告)号:CN1521529A
公开(公告)日:2004-08-18
申请号:CN200410004095.0
申请日:2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中,通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像,并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内,传送该成像的像,通过垂直延长镜筒内的转像光学系统,向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像,利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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