公开(公告)号：CN1891761A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200610095775.7

申请日：2002-12-13

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 西林浩文 ,  山外隆文 ,  东野克彦 ,  田中宏幸 ,  野口刚

IPC: C08L101/00 ,  C08K5/18 ,  C09K3/10 ,  C08K3/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: C08L27/18 ,  C08G73/101 ,  C08L79/08 ,  C08L101/00 ,  C08L2666/14 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明提供可以减少高温下HF的产生，即使对于在半导体制造工序中曝露于NF3等离子体处理和O3处理，其重量变化小，可以明显抑制在这些处理中产生异物(颗粒)的交联性弹性体组合物。本发明涉及含有交联性弹性体和比表面积大于等于0.5m2/g的、由主链具有热稳定和化学稳定的芳香环的合成高分子形成的填充物的交联性弹性体组合物、由交联性弹性体和非氧化陶瓷形成的交联性弹性体组合物，以及NF3等离子体照射时减小的重量小于等于0.20重量％的交联性弹性体组合物。

公开(公告)号：CN1882796A

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN200480034471.9

申请日：2004-11-17

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  野口刚 ,  东野克彦

IPC: F16J15/12 ,  C09K3/10

CPC classification number: F16J15/128 ,  C09K3/10 ,  G02F1/1339 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/3154 ,  Y10T428/31678

Abstract: 本发明涉及表面经涂布的密封材料，涉及在保持橡胶基材所具有的强度、硬度、密封性的同时提高了耐药品性、耐等离子体性、不粘性的密封材料。对于所述密封材料，其在含有软质材料的基材的整个或部分表面具有涂布膜，所述软质材料的肖氏D硬度小于等于75，并且肖氏A硬度为40～100，所述涂布膜含有选自由金属、金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物及它们的复合物组成的组中的至少一种金属或金属化合物。

公开(公告)号：CN1856529A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200480027655.2

申请日：2004-09-21

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  野口刚

IPC: C08J7/02 ,  F16J15/10

CPC classification number: C09K3/1009 ,  F16J15/102 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明提供了一种改善了固着强度以及与密封材料的接触面的污染、腐蚀和变色的全氟弹性体密封材料，其在特定条件下测定的密封材料的重量减少率小于等于1重量％。本发明还提供了全氟弹性体密封材料的制造方法。对于所述全氟弹性体密封材料，在全氟三正丁胺中于60℃浸渍70小时，取出后，于90℃干燥5小时、于125℃干燥5小时以及于200℃干燥10小时，此时的密封材料的重量减少率为小于等于1重量％。另外，所述全氟弹性体密封材料的制造方法包括用溶剂处理全氟弹性体成型品的工序，所述溶剂对在60℃浸渍70小时的所述成型品的溶胀率为大于等于50％。

公开(公告)号：CN1777644A

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：CN200480010736.1

申请日：2004-04-21

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  福山幸治 ,  野口刚

IPC: C08L27/12 ,  C08K5/00 ,  C09K3/10

Abstract: 提供含氟弹性体组合物，所述含氟弹性体组合物的耐热性、加工性不受影响，进一步，在半导体的制造工序中，当所述组合物暴露于氟类等离子体和氧等离子体时，重量变化小，因而在所述等离子体处理过程中，可以显著抑制异物(微粒)的产生；还提供由该组合物形成的成型品。

公开(公告)号：CN1166733C

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：CN00812819.7

申请日：2000-09-27

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 入江贞成 ,  三村和义 ,  西林浩文 ,  田中宏幸 ,  野口刚 ,  岸根充

IPC: C08L27/12 ,  C08K5/00 ,  C08L21/00

Abstract: 一种由平均粒径为20～150纳米的氟树脂微粒乳液和弹性体粒子乳液共凝得到的透明的弹性体组合物，其中氟树脂微粒被均一微分散在弹性体之中，由于氟树脂微粒事先被均一微分散在弹性体中，所以能提供机械强度、耐磨损性和透明性等均优良的弹性体成形品。

公开(公告)号：CN1335871A

公开(公告)日：2002-02-13

申请号：CN00802549.5

申请日：2000-01-11

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  长谷川雅典 ,  野口刚 ,  东野克彦

IPC: C08L21/00 ,  C08L83/04 ,  C08L15/02 ,  C08L27/12 ,  C08K3/22 ,  C08K3/36 ,  H01L23/29

Abstract: 提供合适的弹性体成形物用作非常洁净、具有优良的耐等离子体性以及耐金属溶出性的半导体或液晶制造装置用的成型品材料。该成型品可以将硅以外的杂质金属的含量为100ppm以下的氧化硅填料,和氟系弹性体成分组成的交联性弹性体组合物交联成形而得到,杂质金属含量为100ppm以下,而且由氧等离子体照射所致颗粒增加率为1000%以下,另外50%HF所致的硅以外的杂质金属提取量为200ppb以下。

公开(公告)号：CN1277575A

公开(公告)日：2000-12-20

申请号：CN98810565.9

申请日：1998-10-22

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  山下正宪 ,  白井善裕 ,  植田幸 ,  河内正治

IPC: B32B25/04 ,  C08J5/12

CPC classification number: B32B25/042 ,  B32B7/12 ,  B32B25/04 ,  B32B25/14 ,  B32B2038/0076 ,  B32B2581/00 ,  C08J5/124 ,  C08J2321/00 ,  F16J15/104 ,  Y10T428/215 ,  Y10T428/31536 ,  Y10T428/3154 ,  Y10T428/31544

Abstract: 一种具有全氟橡胶层及其它橡胶层的,且通过含多官能性化合物的粘接层使两层硫化粘结,制成具有O形密封圈、方形密封圈、胶辊、隔板、胶皮管、橡胶软管或药品塞等形状的叠层制品。如:在全氟橡胶层及其它橡胶层中的至少一方的表面上,涂布多官能性化合物,并将涂布面面对着另一方层的表面,将两层叠合,接着,硫化粘结两层制造的。由此,改善了含有全氟橡胶层和其它橡胶层的叠层制品的层间粘结性。