金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

    公开(公告)号:CN107604304A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710624909.8

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法,该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下,各样品中的热复原率的平均值为-10ppm以上且+10ppm以下,且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。

    蒸镀掩模的制造方法和蒸镀掩模

    公开(公告)号:CN107208251A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680009233.5

    申请日:2016-02-05

    Inventor: 池永知加雄

    Abstract: 本发明提供利用镀覆处理来制造形成了具有复杂形状的贯通孔的蒸镀掩模的方法。本发明的蒸镀掩模制造方法具备在具有绝缘性的基板上形成以特定图案设有第1开口部的第1金属层的第1成膜工序、以及在第1金属层上形成设有与第1开口部连通的第2开口部的第2金属层的第2成膜工序。第2成膜工序包括在基板上和第1金属层上隔着特定间隙形成抗蚀剂图案的抗蚀剂形成工序、以及在抗蚀剂图案的间隙处使第2金属层在第1金属层上析出的镀覆处理工序。抗蚀剂形成工序按照第1金属层的第1开口部被抗蚀剂图案覆盖、同时抗蚀剂图案的间隙位于第1金属层上的方式来实施。

    蒸镀掩模
    30.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110551973B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN201910940065.7

    申请日:2016-02-05

    Inventor: 池永知加雄

    Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模。该蒸镀掩模是形成了从第1面延伸到第2面的2个以上的贯通孔的蒸镀掩模,其中,该蒸镀掩模具备以特定图案形成了上述贯通孔的金属层,在将上述贯通孔中位于上述第1面上的部分称为第1开口部、将上述贯通孔中位于上述第2面上的部分称为第2开口部的情况下,在沿着上述蒸镀掩模的法线方向观察上述蒸镀掩模时,上述贯通孔按照上述第2开口部的轮廓包围上述第1开口部的轮廓的方式来构成,上述金属层具有形成了上述第1开口部的第1金属层、以及层积于上述第1金属层且形成了上述第2开口部的第2金属层,上述第1金属层的端部的厚度小于上述第1金属层中与上述第2金属层连接的部分的厚度。

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