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公开(公告)号：CN107217242B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201710360173.8
申请日：2017-05-20
Applicant: 复旦大学
IPC: C23C16/34 , C23C16/50 , H01L21/318
Abstract: 本发明属于电子器件技术领域，具体为一种电子器件介电衬底的表面修饰方法。本发明是在介电衬底表面直接生长二维结构的六方氮化硼薄膜，厚度在1‑100nm之间，用于电子器件半导体与介电层之间界面的修饰。本发明通过控制原料浓度，达到等离子体气相沉积过程中生长与刻蚀的准平衡，从而实现二维结构的六方氮化硼薄膜在介电表面的非催化生长。本发明方法简单、成本低，应用中不需要转移工艺、与半导体工艺兼容、整个过程在低温下操作。本发明还能够在三维表面共型修饰上六方氮化硼薄膜，且可大面积制备。本发明能够提高载流子在电子器件半导体和介电层界面的迁移率，同时能够降低半导体和介电层界面的接触热阻，提高导热性质和器件稳定性。
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公开(公告)号：CN106226283B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201610533715.2
申请日：2016-09-18
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明为一种拉曼增强衬底的制作方法。本发明将基底（无机衬底）放入等离子体化学气相沉积系统中的生长区域，通入含有碳元素的反应源气体，控制反应源气体的气压值为0.01Torr‑760Torr；控制基底温度在300‑1200℃，开等离子体电源，设定等离子体功率为1‑1000W，使反应源气体分子裂解，活性基团在等离子体的作用下发生反应，在基底表面，生成石墨烯量子点，通过调控生长温度和生长时间，制备不同尺寸的石墨烯量子点拉曼增强衬底。在所制备的拉曼增强衬底表面滴需要检测分子的溶液，通过激光拉曼仪器，测得高灵敏的拉曼增强信号。本发明制备的拉曼增强衬底，无污染，灵敏度高，可大面积制备，制备步骤简单容易实现。
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公开(公告)号：CN109354697A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811175956.X
申请日：2018-10-10
IPC: C08G83/00
CPC classification number: C08G83/008
Abstract: 本发明属于共价有机框架材料的技术领域，具体为一种在超临界流体中制备共价有机框架材料的方法。本发明以超临界流体作为主要溶剂，包括以下步骤：将反应单体（和催化剂）及少量有机溶剂加入反应装置中，然后向反应装置中加入液态和/或气态可达到超临界态的物质，并加热反应装置，使反应装置中可达到超临界态的物质成为超临界流体，保持反应条件一定时间后冷却反应装置，打开反应装置后取出产物并用有机溶剂洗涤，烘干后得到共价有机框架材料。本发明方法操作简便，制备过程绿色环保，能用于大规模生产共价有机框架材料。制备的共价有机框架材料结晶性好。
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公开(公告)号：CN108226258A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711277171.9
申请日：2017-12-06
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/414 , H01L29/16 , H01L29/772 , H01L21/335
Abstract: 本发明属于传感检测技术领域，具体公开了一种检测羟基自由基的场效应传感器的制备方法。本发明方法包括：首先，在绝缘衬底上制备导电石墨烯薄膜，并制备图案化电极以获得场效应器件；然后，在石墨烯膜表面镀上一层金膜，通过在惰性气体氛围中退火得到分布均匀的金纳米颗粒；最后，将原卟啉修饰到金纳米颗粒表面，得到原卟啉‑金纳米颗粒修饰的石墨烯薄膜。借助镉离子等可与原卟啉配位的金属离子作为电流变化指示剂，通过羟基自由基对所修饰卟啉的氧化断键作用，改变石墨烯表面电荷浓度，从而实现羟基自由基浓度的检测。本发明工艺简单，能实现高选择性、快速传感，为其在生命、环境、能源、安全等领域的应用奠定了基础。
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公开(公告)号：CN106226283A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610533715.2
申请日：2016-09-18
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明为一种拉曼增强衬底的制作方法。本发明将基底（无机衬底）放入等离子体化学气相沉积系统中的生长区域，通入含有碳元素的反应源气体，控制反应源气体的气压值为0.01Torr-760Torr；控制基底温度在300-1200℃，开等离子体电源，设定等离子体功率为1-1000W，使反应源气体分子裂解，活性基团在等离子体的作用下发生反应，在基底表面，生成石墨烯量子点，通过调控生长温度和生长时间，制备不同尺寸的石墨烯量子点拉曼增强衬底。在所制备的拉曼增强衬底表面滴需要检测分子的溶液，通过激光拉曼仪器，测得高灵敏的拉曼增强信号。本发明制备的拉曼增强衬底，无污染，灵敏度高，可大面积制备，制备步骤简单容易实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105274500A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510698730.8
申请日：2015-10-24
Applicant: 复旦大学
IPC: C23C16/513 , C23C16/26
Abstract: 本发明属于石墨烯制备技术领域，具体为一种等离子体增强化学气相沉积制备石墨烯的方法。本发明以固态碳为碳源，利用等离子增强化学气相沉积法生长石墨烯，其步骤为：（1）将衬底和活化后的固态碳置入等离子体增强化学气相沉积设备中的不同温区，抽真空；（2）将衬底和活化后的固态碳所在温区分别加热到相应温度，并通入气体；（3）打开等离子体发生器，生长石墨烯；（4）关闭加热电源，继续通入气体，快速冷却到室温，在衬底表面均匀生长出石墨烯。本发明方法中，固态碳来源广、成本低，生长温度低，对衬底的选择范围广，且能够得到完整、高质量的单层或多层石墨烯。
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公开(公告)号：CN118225863A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202211644080.5
申请日：2022-12-20
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/414
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，尤其是涉及基于人工核苷酸适配体的场效应晶体管传感器及其制备与应用。基于人工核苷酸适配体的场效应晶体管传感器包括绝缘衬底、超薄半导体材料、源极、漏极、人工核苷酸适配体和加样槽；绝缘衬底上设置有存在间隔平行设置的源极和漏极，绝缘衬底上表面设置有超薄半导体材料，超薄电导体材料连接源极和漏极；超薄电导体材料上表面修饰有带有连接分子的人工核苷酸适配体；绝缘衬底上表面还设置有内部中空的加样槽，人工核苷酸适配体位于加样槽内部，源极和漏极位于加样槽外部；人工核苷酸适配体用于识别靶标；基于人工核苷酸适配体的场效应晶体管传感器拓宽了传统适配体场效应晶体管传感器的检测范围。
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公开(公告)号：CN118169083A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202211602449.6
申请日：2022-12-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及生物检测技术领域，尤其是涉及晶体管联合光电检测病原体的装置及其制备与检测方法。本发明的晶体管联合光电检测病原体的装置电传感单元是将生物探针修饰在晶体管栅极上得到的功能化单元；光传感单元是在二维敏感材料上修饰生物探针上得到的功能化单元。检测方法为：将待测样本加入样品池，实时读取电传感单元的电信号，后由光传感单元的光信号进行自校正，以判定待测样本是否含有病原体。该方法针对病原体的最短检测时间小于1分钟，准确率大于95％，能够用于疾病筛查防控，具有潜在的社会价值。
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公开(公告)号：CN114634968A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210186694.7
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
IPC: C12Q1/68
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种基于Argonaute蛋白的场效应晶体管核酸传感器及其制备方法。本发明的场效应晶体管核酸传感器包括：绝缘衬底；设置于绝缘衬底上的超薄半导体材料层；在超薄半导体材料层两端的源漏电极；所述超薄半导体材料表面上修饰Argonaute蛋白和引导链。在检测时，将该场效应晶体管传感器放置到检测溶液中，连接电学测试设备，向溶液中加入目标核酸，则可以实现痕量核酸分析物的检测。本发明实现了简便、快速和特异性地检测目标核酸的目的，与目前检测核酸所使用的传统核酸靶向光学测试方法相比，无需扩增，检测时间大大缩短，灵敏度高，特异性好，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN111952462A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010665708.4
申请日：2020-07-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域，具体为一种基于共价有机框架材料的紫外与可见光探测器及其制备方法。本发明方法包括：首先，制备半导体沟道暴露在外的晶体管器件；然后，在半导体沟道上沉积一层光敏性的共价有机框架材料；最后，将器件置于液体环境中，得到高性能的紫外与可见光探测器。本发明以光敏性的共价有机框架材料作为光能吸收材料，在液体辅助下可利用液固界面积累大量电荷，改变半导体沟道的掺杂状态和导电性，从而将光信号转化为电信号。本发明工艺简单，可实现紫外可见光（254纳米–760纳米）探测，响应度高，响应时间短，稳定性好，在信息、通讯、人工智能等领域具有广阔的应用前景。
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