-
公开(公告)号：CN102744652B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201210250993.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 大面积平面光学零件加工装置及加工方法，它涉及一种平面光学零件加工装置及方法。本发明为解决现有的等离子体抛光装置成本高以及抛光方法效率低的问题。两个外电极与两个隔离板两两相对形成封闭结构，内电极位于两个外电极，两个外电极、两个隔离板和内电极之间形成两个等离子体产生腔室，所述氦气瓶、四氟化碳瓶和氧气瓶通过流量控制器与两个第一通孔连通；方法：向电极加冷却水；对流量控制器预热；通过流量控制器调节氦气和四氟化碳的气体流量；将待加工工件放置在工作台面的电极之上，使待加工工件逆时针旋转；对射频电源逐步增加功率；控制稳定的等离子体放电；关闭射频电源和阀门，取出待加工工件。本发明用于大面积平面光学零件加工。
-
公开(公告)号：CN103213172B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310177066.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B26F3/06
Abstract: 水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的成形电极的上端面连接在工作架上；在待加工零件的下方设置的所有喷头喷出的水都喷射到待加工光学零件的下端面上，所有喷头喷出的水都接地；成形电极靠近待加工光学零件的待加工表面；放电间隙附近设置有出气管，出气管的进气端口与混合等离子体气源的出气端口导气连通。本发明采用直线式排列的水射流作为电极来进行等离子体加工，多条水射流可以保证在每条直线上的放电特性相同，避免放电不均匀的问题。
-
公开(公告)号：CN102730945B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201210248655.1
申请日：2012-07-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03B20/00
Abstract: 大面积接触式等离子体放电加工熔石英加工装置，它涉及一种等离子体加工装置，以解决现有等离子体加工过程中的电极温度高，加工时间短，导致反应离子的活性相对较低，去除率低的问题。导风板的上端面与端部工件夹板的上端面在同一水平面内，成型电极设置在工件槽的上方，成型电极的下端面与工件槽的上端面设有两电极之间放电间距，上导流体与下导流体之间的腔体为导气腔，上导流体和下导流体的进气端端面上均设有进气孔，两个进气孔与气体混气箱连通，氦气气瓶、四氟化碳气瓶和氧气瓶分别通过氦气流量计、四氟化碳流量计和氧气流量计与气体混气箱连接，水泵与下冷却通道和上冷却通道连接，射频电源与高电极和底座板连接。本发明用于等离子体加工。
-
公开(公告)号：CN103273149A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310177039.6
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23H3/00
Abstract: 水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的方法，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的步骤一：将成形电极连接在工作架上；步骤二：在待加工零件的下方的所有喷头喷出的水都接地；步骤三：使成形电极靠近待加工光学零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：使所有喷头喷出的水都喷射到待加工光学零件的下端面上，启动射频电源；步骤六：使所有喷头进行左右移动和前后移动；步骤七：取出待加工光学零件。本发明采用直线式排列的水射流作为电极来进行等离子体加工，水射流可以保证在每条直线上的放电特性相同。
-
公开(公告)号：CN103258709A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310177075.2
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103236392A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177060.6
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 成型电极大气等离子体加工回转零件方法，它属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。针对目前加工方法效率低和质量差的问题，提出了这种方法。它的步骤一：将旋转成形电极的上端面连接在转轴上；步骤二：将待加工零件装卡在载物台上；步骤三：使旋转成形电极靠近待加工零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：使旋转成形电极做回转运动，启动射频电源；步骤六：控制旋转成形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工零件。本发明专利采用成型电极大气等离子体加工，实现了全表面复映去除，同时解决了高精度回转零件的加工效率和质量问题。
-
公开(公告)号：CN102730945A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210248655.1
申请日：2012-07-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03B20/00
Abstract: 大面积接触式等离子体放电加工熔石英加工装置，它涉及一种等离子体加工装置，以解决现有等离子体加工过程中的电极温度高，加工时间短，导致反应离子的活性相对较低，去除率低的问题。导风板的上端面与端部工件夹板的上端面在同一水平面内，成型电极设置在工件槽的上方，成型电极的下端面与工件槽的上端面设有两电极之间放电间距，上导流体与下导流体之间的腔体为导气腔，上导流体和下导流体的进气端端面上均设有进气孔，两个进气孔与气体混气箱连通，氦气气瓶、四氟化碳气瓶和氧气瓶分别通过氦气流量计、四氟化碳流量计和氧气流量计与气体混气箱连接，水泵与下冷却通道和上冷却通道连接，射频电源与高电极和底座板连接。本发明用于等离子体加工。
-
公开(公告)号：CN103258709B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310177075.2
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。
-
公开(公告)号：CN103237405B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310177048.5
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 一体化等离子体发生装置，它属于等离子体加工设备的技术领域。它是为了解决常温大气等离子体加工过程中，匹配器与等离子体炬距离过大，导致其工作不稳定的问题。它的当匹配器与电容耦合等离子体射流炬模块组合连接时，电容耦合等离子体射流炬模块的第一连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接；当匹配器与电感耦合等离子体炬模块组合连接时，第二连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接；当匹配器与成形电极模块组合连接时，成形电极模块的第三连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接。本发明将匹配器和等离子体炬集成为一体，无需负载线连接，缩短了匹配器和负载之间的距离，可有效降低外界对装置的电磁干扰，同时使阻抗匹配效果更加稳定。
-
公开(公告)号：CN103273180A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310177053.6
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工方法，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的步骤一：在工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬；步骤二：将待加工光学零件装卡在地电极上；步骤三：使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬靠近待加工表面；步骤四：预热；步骤五：启动射频电源；步骤六：使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬进行多自由度运动；步骤七：取出待加工光学零件。本发明采用三种不同口径的等离子体炬对大口径复杂曲面光学零件进行大气等离子体加工。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
45
records
(took 0.03 seconds)
