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公开(公告)号：CN1487275A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03132458.4
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种相变式自检测压力传感器及其制作方法。它包括硅杯，在硅杯的杯底上设置有压敏电阻，它还包括硅片底板和隔热玻璃板，隔热玻璃板上开有透气孔，硅片底板上开有相变物质充填孔并且在其上表面上设置有加热电阻，硅杯倒置安装在隔热玻璃板上，隔热玻璃板安装在硅片底板上且隔热玻璃板与硅片底板之间有相变物质装填腔，相变物质装填腔中装填有相变物质，相变物质充填孔处设置有封闭堵。本发明的产品具有结构简单、自检测效果显著等优点。本发明的方法能够保证其产品的加工简单，性能优异。
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公开(公告)号：CN1486822A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03132459.2
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种电化学法玻璃片硅片穿孔设备。它包括电解槽，在电解槽中装有碱性溶液。电源负极接石墨电极或者镍电极，穿孔探针接电源正极。玻璃片或硅片水平置于石墨电极或镍电极上。穿孔探针材料为金属钨，穿孔探针上串联有限流电阻。电源提供脉动直流电压，电压范围为40－100V。本发明的优点在于：1、穿孔速度快；2、结构简单，易于操作与携带；3、对玻璃片和硅片表面无破坏性损伤。
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公开(公告)号：CN1437018A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN03111185.8
申请日：2003-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/447 , G01N33/561
Abstract: 本发明提供的是一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，首先在材质上选用有机玻璃，采用机械划刻仪进行沟道加工，然后在加工完沟道的有机玻片上的相应位置打通孔，再进行沟道表面的光滑化以及表面改性处理，最后用有机溶剂将两片有机玻璃进行粘接处理，使沟道封闭。本发明的方法，制造成本低，易于大批量生产，工艺流程的简单，提高了制造成品率。
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公开(公告)号：CN101599548B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200910072443.0
申请日：2009-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学水资源国家工程研究中心有限公司
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明提供了一种百叶窗结构的自呼吸微型燃料电池结构与制备方法。自呼吸微型燃料电池包括双极板(阳极极板、阴极极板)、膜电极MEA及绝缘材料和夹具，双极板上两侧分别含有与膜电极相对应的流场，流场为平行结构，其中阴极极板4采用“百叶窗”式进气结构，利用夹具(4个)将双极板、绝缘材料与膜电极夹在一起，就可以作为发电单元使用。本发明是一种利用微细精密加工技术制作的微型燃料电池，具有工艺流程简单，制造成本低，占用空间小，节省体积，机械性能好，可加强电池的结构强度等优点。
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公开(公告)号：CN101266111B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810064210.1
申请日：2008-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本发明公开一种常压下微热管真空注液封装的方法，包括注液和封装两个过程，由于微热管腔体及工作液体中残留的空气会严重影响微热管的性能，因此本发明首先采用抽真空与超声振动相结合的方式，将微热管工质注满整个腔体，在封装过程中，采用加热-冷却的方式，使微热管内部达到汽液动态平衡，可实现注液量可控，最后胶封注液孔。与现有技术相比，该发明成本低廉、操作简便、并能保证微热管腔体的高真空度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101266112B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810064211.6
申请日：2008-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本发明提供了SOG(Silicon on Glass)微热管及其制作方法。结构以硅片作为衬底，以有机玻璃作为覆盖片，两者通过静电键合封接在一起形成封闭结构，然后由硅片上预留的小孔进行充液，并对此充液孔进行真空封闭，形成腔体内部填充有一定工质的微型平板热管结构。由于玻璃丝的存在既可以减小气液界面弯月面的半径，又能够增加沟槽内尖角区的数量，从而提高了工质回流的毛细力。覆盖片采用玻璃片，增强了可视性，可以对微热管的工作状态进行实时的观察和监控，在玻璃上刻蚀矩形腔，作为饱和蒸汽的流通空间。此连通的蒸汽流通空间可以减弱汽-液分界面上由于蒸汽流和液体流高速反向运动带来的剪切摩擦力，从而提高热管的携带极限，最终增加热管的最大传热量。
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公开(公告)号：CN101349517A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200810137064.0
申请日：2008-09-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F28D15/0233
Abstract: 本发明提供了一种微型平板热管的封装方法，微型平板热管的上下基板由金属制成，上下基板四周加工一圈焊接带，在焊接带上镀有焊料，采用夹具将上下基板对准后加紧，加温至焊料熔化，冷却后上下基板通过焊料紧密连接在一起，形成平板微热管的封装。本发明使用低熔点金属作为焊料，通过特制模具对微热管壳体施加一定压力，在真空或者保护气体环境下加温熔化焊料金属，再冷却后，使得微型平板热管上下基板粘合在一起，以达到微热管的封装目的。本发明操作方便可靠，简单灵活，成本低廉，应用广泛。
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公开(公告)号：CN101266112A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200810064211.6
申请日：2008-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本发明提供了SOG(Silicon on Glass)微热管及其制作方法。结构以硅片作为衬底，以有机玻璃作为覆盖片，两者通过静电键合封接在一起形成封闭结构，然后由硅片上预留的小孔进行充液，并对此充液孔进行真空封闭，形成腔体内部填充有一定工质的微型平板热管结构。由于玻璃丝的存在既可以减小气液界面弯月面的半径，又能够增加沟槽内尖角区的数量，从而提高了工质回流的毛细力。覆盖片采用玻璃片，增强了可视性，可以对微热管的工作状态进行实时的观察和监控，在玻璃上刻蚀矩形腔，作为饱和蒸汽的流通空间。此连通的蒸汽流通空间可以减弱汽-液分界面上由于蒸汽流和液体流高速反向运动带来的剪切摩擦力，从而提高热管的携带极限，最终增加热管的最大传热量。
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公开(公告)号：CN1595702A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410043700.5
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池。包括一个膜电极和位于膜电极两侧的双极板，双极板与膜电极相对应的一侧上含有与膜电极相对应的流场、另一侧上含有与流场相通的液体导流通道，流场中设置有支撑点，流场上淀积有作为收集电子及电池电极引出线的金属薄膜，双极板外键合有玻璃密封层，双极板与膜电极组装在一起，其端部有密封树脂胶。此种电池的整体厚度小于3mm。同时，通过MEMS工艺技术加工制作的双极板，可以有效的完成流场的结构和电流收集，并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。
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公开(公告)号：CN1594883A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410043699.6
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体，在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫，在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片，压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外，在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环，使用夹具将各零部件自上而下地压紧，然后，用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制，以及微化学分析、生物医药等领域。
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