用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法

    公开(公告)号:CN103162616B

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201310071146.0

    申请日:2013-03-06

    Abstract: 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法,涉及光学检测空间物体三维形貌领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。参考光经单模光纤传递给光纤准直器,准直后形成入射参考光束;测量光束经透射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束,入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束,依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束,四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。

    结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法

    公开(公告)号:CN103151704B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201310050543.X

    申请日:2013-02-08

    Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜;方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振;改变声光调制器加载的超声波频率,在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中,实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。

    用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置

    公开(公告)号:CN103389311A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201310332071.7

    申请日:2013-08-01

    Abstract: 用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置,涉及光学元件检测技术领域。本发明是为了解决大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷难于检测的问题。本发明所述的采用线阵CCD暗场成像,获得暗场背景下的位相缺陷的亮斑,使得位相缺陷直接可见。同时本发明所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置对图像的分辨率达到6千万像素。通过线平移台带动光学元件平移进行快速扫描,可以在30至60秒内,扫描完成400*400mm口径的大型光学元件,且检测口径范围可达到5*5至400*400mm。本发明所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置适用于大型固体激光装置中光学元件内部的位相缺陷检测。

    基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器

    公开(公告)号:CN103151706A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310081718.3

    申请日:2013-03-14

    Abstract: 基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器,涉及光纤通信领域。本发明是为了解决现有激光器在机械调谐的方式下,调谐速度慢、精度差、不适应未来动态光网络需要,并且不能保持窄动态线宽,不适用于密集波分复用系统的问题。本发明利用电寻址的空间光调制器,通过数字编程和电信号共同控制光波频率,因此只改变空间光调制器的控制信号即可对其周期调谐,加快了调谐速度,并且本发明只需要将激光器的出射波长定位于特定的光通道上,空间光调制器与激射频率之间有很好的对应关系,使准确性得到保证,因此能够适应未来动态光网络的需要。由于采用了外腔结构,使本发明能够保持比现有激光器降低一个数量级的单模动态线宽,适用于密集波分复用系统。

    结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法

    公开(公告)号:CN103151705A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310051730.X

    申请日:2013-02-16

    Abstract: 结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器由于采用了对光栅的机械转动,存在调谐连续性差的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器和闪耀光栅;方法为使半导体激光器发射的激光束经液晶空间光调制器后入射至声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,并使一级衍射光原路返回,在激光器的内腔和外腔之间形成谐振,形成谐振的激光束最后从声光调制器的零级出射;改变声光调制器加载的超声波频率,在折射率随一级衍射角变化的过程中,实现所述Littrow外腔式激光器的调谐。本发明适用于激光调谐。

    结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法

    公开(公告)号:CN103151704A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310050543.X

    申请日:2013-02-08

    Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜;方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振;改变声光调制器加载的超声波频率,在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中,实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。

    一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪

    公开(公告)号:CN102829715A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210299780.5

    申请日:2012-08-22

    Abstract: 一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪,涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标,经待测目标反射后的光束沿原光路返回,返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD;经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光,透射光入射至小视场CCD;反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明适用于显微监测。

    束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN102721368A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210233767.X

    申请日:2012-07-06

    Abstract: 束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法,涉及一种束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法。目的是为了提高束靶耦合传感器引导激光的打靶精度的问题。本装置包括:靶架、束靶耦合传感器、四个模拟激光源、上(下)部调焦平台、上(下)部束靶耦合监测系统、标定用靶、两个内调焦望远镜、传感器二维调整平台和防震平台;其标定方法是先以防震平台为基准面,调整束靶耦合传感器的镜面、CCD像面和靶面平行;再以靶面为基准面调整四束激光的入射角度均为45°,并将靶面上的光点在中心位置处重合为一点,传感器确定共轭面的位置及参数;内调焦望远镜,标定出束靶耦合传感器的中心位置,为下一次定位提供基准。用于辅助束靶耦合传感器精确打靶。

    基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN102538715A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110448226.4

    申请日:2011-12-28

    Abstract: 基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法,涉及一种双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪直线度的探测灵敏度较低的问题。双频激光经λ/4波片透射再经分束镜分束为两束双频入射光,其中一束经全反镜和减偏器透射后获得双频参考光并入射至光电探测器的探测面上;另一束入射经渥拉斯顿棱镜分束为线偏振光和线偏振光,并分别入射至带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜,原路反射后经渥拉斯顿棱镜合并获得双频反射光,再经分束镜、全反镜、减偏器透射后入射至光电探测器的探测面,并在与双频参考光会聚并产生拍频,光电探测器探测所述拍频。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。

    光电式双刀口支承静平衡测量仪及测量方法

    公开(公告)号:CN101710016A

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200910073363.7

    申请日:2009-12-07

    Abstract: 光电式双刀口支承静平衡测量仪及测量方法,涉及一体化的静平衡测量技术领域,克服了现有技术的静平衡测量方法测量精度低、操作不便和难以实现自动化的缺陷,包括三个升降机构、三个支柱、底座、外刀承座、一对内刀承座、一对粗刀口、一对细刀口、支承、托架体、测量反射镜和光电准直光管,将被测转子放置在托架体的支承上,利用光电准直光管接收到的测量反射镜的发射光,对被测转子的质量不平衡量进行粗测;再对被测转子的质量不平衡量进行精测。本发明是一种非接触的光电测量技术,测量精度高、测量范围较大、使用安全可靠、操作方便、使用寿命长、智能化水平高,有利于提高测量自动化水平,适用于对转子不平衡量进行测量和校正的各领域。

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