-
公开(公告)号：CN101865215B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
-
公开(公告)号：CN102176424A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
-
公开(公告)号：CN102161199A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110062736.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
-
公开(公告)号：CN102152297A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062767.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/02 , B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的串联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径要求过大，而结构本身的限制又使R轴的大臂、小臂及取片臂无法做的更大时，采用串联型R轴扩展机械臂是一种有效的解决途径。串联型R轴扩展机械臂的动力由独立的直线驱动模块输出，由计算机统一控制其工作程序；当需要R轴的回转半径加大时，串联型R轴扩展机械臂的直线驱动模块驱动执行机构开始向前运动，带动FORK组合的工作位置前伸，从而额外获得以R轴旋转中心为圆心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
-
公开(公告)号：CN102126208A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110062722.6
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的并联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径变化不大而行走轨迹较为复杂时，采用并联型R轴扩展机械臂能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。并联型R轴扩展机械臂的动力由独立的W/T轴电机和两个W/R轴电机提供，由计算机统一控制其工作程序；当R轴的工作轨迹在其回转半径内变化不大且呈现较为复杂状态时，并联型R轴扩展机械臂的W/T轴电机和两个W/R轴电机按计算机程序的控制，驱动执行机构开始作不同角度、不同方向的旋转，带动两个FORK组合按工作位置行进，从而额外获得以W/T轴和W/R轴为旋转中心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101436562A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810209690.6
申请日：2008-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J3/00 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。
-
公开(公告)号：CN102594015B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210080223.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K7/102
CPC classification number: H02K7/1023
Abstract: 一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机，属于半导体芯片设备制造领域，为了解决现有Z轴伺服电机的制动装置响应不够迅速、制动力矩不够大的问题。它由Z轴伺服电机和断电制动装置组成，断电制动装置包括环形侧壁、固定磨擦片、间距定位套、牙嵌齿轮、牙嵌磨擦片、活动磨擦片、弹性装置和电磁铁线圈，环形侧壁固定在Z轴伺服电机的端盖上，电磁铁线圈套在Z轴伺服电机的Z轴电机轴外侧，活动磨擦片与Z轴伺服电机端盖之间设置有弹性装置，牙嵌磨擦片套在Z轴电机轴的外侧，牙嵌齿轮位于Z轴电机轴和牙嵌磨擦片之间，和牙嵌磨擦片滑动啮合连接，固定磨擦片套在Z轴电机轴外，与Z轴伺服电机端面间设有间距定位套。用于硅片传输机器人的Z轴驱动装置。
-
公开(公告)号：CN102152297B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110062767.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/02 , B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的串联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径要求过大，而结构本身的限制又使R轴的大臂、小臂及取片臂无法做的更大时，采用串联型R轴扩展机械臂是一种有效的解决途径。串联型R轴扩展机械臂的动力由独立的直线驱动模块输出，由计算机统一控制其工作程序；当需要R轴的回转半径加大时，串联型R轴扩展机械臂的直线驱动模块驱动执行机构开始向前运动，带动FORK组合的工作位置前伸，从而额外获得以R轴旋转中心为圆心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
-
公开(公告)号：CN101873036B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201010225876.8
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K15/00
Abstract: 一种伺服电机转子与轴的联接结构，其中，伺服电机转子(2)、专用胶粘剂由伺服电机制造商提供，伺服电机转子配合孔公差为φD(H7)。伺服电机轴(1)与伺服电机转子(2)的配合部位开有直辊花槽。装配时，先将伺服电机转子(2)放入沸水中煮5～10min；同时将电机轴(1)配合表面清洗干净，表面均匀地涂一薄层胶粘剂。然后将伺服电机转子(2)从沸水中捞出，待表面水滴蒸发干净后，迅速套在电机轴(1)的相应部位，并以台虎钳压入到位。冷却后，进行胶粘剂的固化程序。结构合理，具有更高的联接精度、联接刚度和联接可靠性、可有效降低成本的联接结构。
-
公开(公告)号：CN102161199B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110062736.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
41
records
(took 0.021 seconds)
