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公开(公告)号:CN106154362A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201510208487.7
申请日:2015-04-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种小F数多波长标准球面参考透镜组,工作波长为632.8nm、543.5nm和532nm,采用色散低的冕牌玻璃ZK7和色散高的火石玻璃ZF6实现透镜组的消色差;采用3片式透镜设计,由双胶合正透镜、负透镜和最后一面为标准球面的正透镜构成;参考透镜组的口径、F数以及顶焦距设计理论值分别为100mm、F/3和254.7mm;参考透镜组中除最后一片镜面之外,各镜面均镀有632.8nm、543.5nm和532nm的三点增透膜;采用双胶合正透镜和负透镜组合,实现光路结构的近似无焦,降低了焦点与其末面曲率中心重合误差随镜间距变化的灵敏度,便于小 F 数标准球面透镜组的装调。
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公开(公告)号:CN103176372B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310089788.3
申请日:2013-03-20
Applicant: 南京理工大学
IPC: G03F7/20 , G03F1/84 , G02B27/44 , G01N21/956
Abstract: 本发明公开了一种基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置,包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维精密微调整台、五维精密微调整台控制器、基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件;本发明结构简单,抗振性好,精度高,系统成本低。
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公开(公告)号:CN102175150B
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201110029807.4
申请日:2011-01-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检测红外透镜非球面面形和透射波像差质量的红外干涉检测装置,采用两个红外焦平面阵列作为红外探测器,提供了对点、测试双探测成像光路;采用五维调整架夹持被测件,五维调整架固定在配备有精密测长装置的导轨的滑块上;实际干涉检测时通过观察对点、测试图像,配合精密测长装置,实时监测被测件的三维空间位置和倾斜、俯仰二维角度,快速便捷地完成标准镜和被测件的装夹调整,解决了红外光不可见性带来的检测过程中装夹调整的困难。
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公开(公告)号:CN119554970A
公开(公告)日:2025-03-04
申请号:CN202411576526.4
申请日:2024-12-23
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法,属于光学检测领域,步骤包括:采用低相干干涉光路,对微结构线宽样品进行过焦扫描,得到具有待测对象表面信息的图像序列;确定图像序列中干涉信号包络峰值索引;以该位置为聚焦平面建立待测对象的过焦扫描光学显微图像;利用时域有限差分算法以及角谱理论仿真不同线宽模型的低相干干涉过焦扫描散射光场图像,建立标准尺寸线宽模型数据库;结合库匹配算法提取出待测结构的线宽。本发明突破低相干干涉测量系统的衍射极限,提升系统的横向分辨率,实现超分辨测量线宽;同时通过干涉条纹精准定位聚焦平面,减小系统焦深引入的过焦扫描线宽测量误差,保证测量方法的有效性。
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公开(公告)号:CN119198639A
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202411739338.9
申请日:2024-11-29
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于柱面物镜干涉的光纤三维折射率测量系统与方法。系统包括激光光源、准直扩束透镜组、分光棱镜、直角棱镜、反射镜、柱面物镜、管镜、CCD、计算机、PZT、电动旋转台、比色皿及待测光纤。基于所述系统的折射率重建方法,激光束经柱面物镜形成的干涉信号由CCD接收,在1800范围内等角度旋转光纤获得充分采样下的光纤投影相位图,结合光学计算层析反投影算法实现光纤折射率三维重建。系统使用区别于球面物镜的柱面物镜,能够有效补偿球面像差并匹配光纤的光学特性,改善成像质量,实现光纤折射率的高精度三维重建,提高光纤纤芯直径的测量精度。本发明适用于多种类型光纤结构及内部缺陷的高精度无损测量,易于应用。
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公开(公告)号:CN118865043A
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202411006995.2
申请日:2024-07-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉物镜频率筛选的多倍率形貌数据融合方法,属于光学检测领域,采用小波变换的多孔算法,基于所选择干涉物镜的截止频率参数,对各倍率独立的原始形貌数据矩阵进行正变换,得到多个空域子数据矩阵,分别对应包含低、中、高三种频率分量,按本发明阐述的筛选融合策略对两个倍率的多个空域数据矩阵进行融合,再进行小波逆变换,实现形貌数据的多倍率融合。融合后的形貌数据既覆盖大视场全局性,又针对关注区域提供详尽数据。
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公开(公告)号:CN117213358A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311107028.0
申请日:2023-08-30
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055 , G02B27/00 , G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种干涉仪波前系统误差的主动补偿方法,为大口径干涉仪中由于第二准直透镜引入的波前误差提供主动补偿。首先在光学设计软件Zemax中建立干涉参考光路系统模型;采用多项式表征第二准直透镜引入的波前;采用Zemax中自定义面型实现对第二准直透镜的面形误差、材料均匀性误差、残余应力、装夹变形、重力变形等系统误差的建模并模拟分析这些系统误差对参考波前的影响。在干涉系统准确建模的基础之上,通过控制变形镜面形参数来补偿大口径干涉仪参考波前中由于上述误差来源导致的系统误差。本发明对参考波前中第二准直透镜引入的系统误差精确建模,并通过控制变形镜表面矢高来补偿波前误差,精度高且实用性好。
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公开(公告)号:CN116972768A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202310812260.8
申请日:2023-07-04
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种针对米级大口径卧式平面干涉仪的绝对检验方法,属于光学检测领域,融合了两种检测手段,通过支撑机构与轻量化平面反射镜的协同工作,实现对米级卧式平面干涉仪的绝对检验。支撑机构采用一对三角块实现V型支撑方式,其工作面与轻量化平面反射镜相切,并垂直于轻量化平面反射镜的筋。同时,利用平面反射镜60°旋转对称的轻量化网格形式,保证了每次旋转测量时反射镜都处于最佳的检测状态。采用瑞奇‑康芒法补偿旋转平移绝对检验法中求解不准确的离焦项面形,实现对米级大口径卧式平面干涉仪的绝对检验。
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公开(公告)号:CN115170718A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202210900539.7
申请日:2022-07-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G06T15/06 , G06F30/20 , G06F111/08
Abstract: 本发明公开了一种利用调制平移变换的Harvey散射模型进行散射光线追迹的方法,首先根据入射光线方向确定抽样区域调制参数,之后将描述Harvey散射模型的双向反射分布函数BRDF改写为积分存在解析解的调制函数,在此基础上构造散射光线追迹概率模型对天顶角与方位角进行模拟采样,将采样点坐标转换为二次方向余弦坐标系中的坐标后作平移变化,通过限制条件筛选出有效样本,最终确定散射光线方向余弦。散射光线能量可通过BRDF、散射光线数量与入射光线能量求解。本发明通过抽样区域调制参数将BRDF改写为积分存在解析解的调制函数,解决了难以构建散射光线追迹概率模型的问题,同时避免了坐标平移导致的能量损失,最终可以实现Harvey散射模型散射光线追迹。
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公开(公告)号:CN114202618A
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN202111545073.5
申请日:2021-12-16
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于物理约束的残差网络有限角度燃烧场三维重建方法,包括以下步骤:将有限角度燃烧火焰场投影图的一维投影数据作为输入数据;燃烧火焰场的物理三维结构特征分布作为约束火焰场重建结果的先验知识,将其以正则项引入损失函数;基于该损失函数对残差网络进行训练;通过训练建立优化的残差网络模型,对有限角度燃烧火焰场实现高精度三维重建。本发明构建的残差网络模型能够实现火焰燃烧场在投影角度受限条件下的火焰发射层析三维重建,和传统的代数迭代类算法(ART)重建结果相比,基于物理约束的残差网络模型在角度受限条件下所得到的重建结果具有更高的重建精度,并且在计算时间上具有优越性,重建速率更快。
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