公开(公告)号：CN208476438U

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201821224129.0

申请日：2018-08-01

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 余辉洋 ,  于许可 ,  李义丰

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

Abstract: 本实用新型提供了一种柔性电容式压力传感器，所述柔性电容式压力传感器包括上电极、下电极，夹设于上电极和下电极之间的复合电介质层，其中，复合电介质层包括与所述上电极连接的第一结构层、与所述下电极连接的第二结构层、以及设置在第一结构层和第二结构层之间的可形变层；所述可形变层具有拓扑结构。与现有技术相比，本实用新型提出了基于3D打印技术的电容式压力传感器结构，精确控制压敏材料中孔的尺寸和分布，从而改善传感器的动态范围和线性度；复合电介质层的可形变结构的设置，还充分利用了介电应变效应的特性，提高了介质材料的介电应变系数，可以进一步提高传感器的灵敏度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207300455U

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201721094685.6

申请日：2017-08-29

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 余辉洋 ,  李义丰 ,  卜明

IPC: G01L1/14

Abstract: 本实用新型提供一种电容式压力传感器，所述电容式压力传感器包括衬底、形成在该衬底层的导电区域、该导电区域作为电容单元的下电极，所述电容单元还包括形成在所述下电极上的绝缘介质层以及形成在所述绝缘介质层上的上电极，所述电容单元包括并联的且具有不同电极面积的第一电容单元和第二电容单元；所述第一电容单元为接触式电容单元并具有第一密封腔；所述第二电容单元为非接触式电容单元并具有第二密封腔。本实用新型利用不同电极面积的接触式电容单元和非接触式电容单元组合的结构，能够解决非线性问题，并且提高整个传感器结构的灵敏度。