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公开(公告)号：CN103674252A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310571593.2
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层沉积过程中随时测量薄膜厚度，并且通过光路孔的腔内开口与反应腔的进气口与出气口错开设置，使反应腔的气体流动不易进入光路孔，从而避免在光路孔内壁沉积反应物，无需复杂的定期清洗，整个测量装置结构简单、紧凑，使用方便。
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公开(公告)号：CN109920920B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201910147910.5
申请日：2019-02-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学材料制备领域，并公开了一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法。该制备方法包括将量子点溶液旋涂在洁净基底上制备第一量子点薄膜，然后将有机物配体溶液滴覆在第一量子点薄膜上并静置一段时间，待配体交换完成后用溶剂进行清洗，从而完成配体交换层薄膜的制备；将量子点溶液旋涂在配体交换层薄膜上制备单层量子点薄膜，在惰性气氛下进行原子层沉积使该单层量子点薄膜充分钝化，重复上述步骤数次从而获得钝化层薄膜，最后在钝化层薄膜上蒸镀电极制成量子点光电探测器。本发明采用原子层沉积技术钝化量子点薄膜表面，能够提高器件的光暗电流比，优化探测器的器件性能，并且形成PN结双层结构，能够有效提高响应速度。
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公开(公告)号：CN105779968B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201610148917.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种量子点薄膜制备方法，其包括如下步骤：1)采用原子层沉积技术在量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物薄膜，以将量子点包覆；2)将包覆有金属氧化物的量子点涂覆在有机薄膜聚对苯二甲酸乙二酯衬底上，制备获得量子点薄膜；3)采用空间隔离原子层沉积技术在量子点薄膜及量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的氧化物薄膜，以保证量子点不被氧化。本发明采用在量子点表面分步包覆钝化膜的方法制备量子点薄膜，解决量子点易被氧化，致使其丧失发光性能的问题，具有制备工艺简单，制备成本低等优点。
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公开(公告)号：CN104624184B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310571863.X
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/34 , B01J23/889 , B01J23/83 , B01D53/94 , B01D53/56
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的催化剂，其特征在于，所述催化剂为莫来石型复合氧化物，化学通式为A1‑xA'xB2‑yB'yO5，其中，A和A'各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种，B和B'各自独立地为过渡族金属元素中的一种，且0≤x≤1，0≤y≤2。该催化剂可以在较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮，且成本低，具有很好的热稳定性，能长时间保持较高的催化活性，明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率，且制备方法简单，易于操作，适合大规模工业化应用。
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公开(公告)号：CN104174860B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410400714.1
申请日：2014-08-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种核壳型合金纳米颗粒的制备方法。该方法包括：使用有机硅烷偶联剂在氧化物基底表面生长出自组装单分子层。随后在生长有自组装单分子层的基底表面通过原子层沉积生长一种金属核心，接着在金属核心上通过原子层沉积选择性地生长另一种包覆核心的金属壳层。该方法可以通过调节原子层沉积的生长循环次数控制核心尺寸与壳层厚度，以及核与壳的合金成分比例。按照本发明使用的基底改性方法实现核壳结构合金颗粒的制备，由于采用了原子层沉积的工艺，因此对于生长的核壳结构合金颗粒能够达到纳米级的可控性。并且基于基底改性的方法对原子层沉积的工艺要求较小，能够推广到更多的二元合金纳米颗粒的核壳结构的构建。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103451623B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310364445.3
申请日：2013-08-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。
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公开(公告)号：CN103674252B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310571593.2
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层沉积过程中随时测量薄膜厚度，并且通过光路孔的腔内开口与反应腔的进气口与出气口错开设置，使反应腔的气体流动不易进入光路孔，从而避免在光路孔内壁沉积反应物，无需复杂的定期清洗，整个测量装置结构简单、紧凑，使用方便。
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公开(公告)号：CN104060239A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410247951.9
申请日：2014-06-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种金属制品表面保护方法，包括：对待保护的金属制品表面进行清理、除油污、清洁和修复的预处理步骤；将上述预处理步骤处理后的金属制品置于原子层沉积设备中，并用载气对表面进行吹洗，同时利用真空泵对原子层沉积设备进行抽气的沉积前处理步骤；以及在适当的反应温度和压力下，将多种前驱体交替通入，从而使各种前驱体分别依此吸附在待保护表面并从而在各前驱体间发生化学反应而形成单层薄膜的沉积步骤；多次循环执行上述沉积步骤，即可在所述待保护表面生成致密的薄膜，实现对金属制品表面的隔水隔氧保护。本发明的方法可以解决目前的金属制品表面的保护薄膜不去够致密、厚度不均匀、以及寿命短且容易产生光泽等问题。
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公开(公告)号：CN103801288A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410063485.9
申请日：2014-02-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的复合氧化物催化剂及其制备方法。该催化剂的化学通式为xABO3-(1-x)A’B2O5，由化学通式为ABO3的钙钛矿型氧化物和化学通式为A’B2O5的莫来石型氧化物复合而成，其中，A和A’各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种，B为过渡族金属元素中的一种，0＜x＜1。该催化剂可以在较低的温度下和较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮，成本低，具有很好的热稳定性，能长时间保持较高的催化活性，明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率，且制备方法简单，易于操作，适合大规模工业化应用。
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公开(公告)号：CN103668120A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310636805.0
申请日：2013-12-02
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置，包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。
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