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公开(公告)号：CN102323445A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110160097.9
申请日：2011-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/26
Abstract: 本发明属于速度光学测量技术领域，涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件，结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律，通过控制器的延时控制功能，拍摄得到热气团的发生及演化过程，将获得的图像进行数字图像处理，根据图像的特征得到热气团的中心线，对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律，采用最小二乘法进行数据处理和误差估计，得到一维流场的速度分布信息，本方法采用非接触测量方法，能对流场速度进行实时测量，并得到整个一维速度分布信息，克服了现有技术中的不足和缺陷，具有很强的进步及实用性。
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公开(公告)号：CN103744197B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
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公开(公告)号：CN102980739B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210423106.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；探测光接收系统包括四象限光电探测器，其光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。本发明结构简单，操作方便，采用四象限光电探测器简化了实验装置，通过其光斑中心的移动来判断激波的扰动大小和传播方向，提高了探测的灵敏度；同时采用双色镜将探测光束与脉冲气体激光器的激光相分离，激光振荡同时获得实时的测试结果，避免了无激光谐振腔测试放电区热沉积偏高的缺陷。
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公开(公告)号：CN103257531A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310145818.8
申请日：2013-04-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器，包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机和冷却水套；电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态，通过两端具有压强差的空腔环形结构喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。提空腔环状的喷嘴所包含的辐射所需EUV光子能量的原子数目是最多的，并且吸收效率高；气源控制器和压力变送器所构成的加压系统用来给储液容器加高压；通过将靶室内抽真空，并充入氢气或氩气，以减少对EUV的吸收和降低高温高压的等离子体对收集镜的损害。本发明喷射距离远，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，成本低廉，更适合工业上大规模生产。
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公开(公告)号：CN103246176A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310112297.6
申请日：2013-04-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于激光技术应用领域，涉及一种用于隔离激光等离子体极紫外光源碎屑的隔离腔。它包括整流栅与腔体，腔体由中间圆柱形部分与两侧矩形部分连接组成。其中，圆柱形部分用于装接EUV椭球收集镜，两侧为水平方向的矩形流道，腔体矩形部分和圆柱形部分为曲线连接，整流栅放置在所述腔体的气流入口位置，用于调节流动截面上的气流分布，并规整流经腔体的缓冲气流。整流栅包括水平栅片和竖直栅片，水平栅片能够在竖直移动以调节气流竖直方向的压强分布。用于通入所述腔体内的缓冲气体为氢气和氩气的混合气体。本发明使用的设备简单、易于操作控制。可有效隔离等离子体碎屑对收集镜的污染，对提高光学系统寿命和发展极紫外光刻技术有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103105740A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310015937.1
申请日：2013-01-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。
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公开(公告)号：CN103076081A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210534883.5
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器风机振动的测量系统，该系统包括探测光源，第一反射镜面，第二反射镜面，光电探测器，信号处理电路，数据采集器，处理器和显示器；该系统通过固定支架与脉冲气体激光器刚性连接，风机转动过程产生的振动通过固定支架使反射镜面发生位移。风机工作之前，探测光束通过固定支架中的两面反射镜反射后反向射出，探测光束光斑位于二象限光电探测器光敏面的中心，保证两个象限输出信号相同。风机工作产生离心振动带动固定支架上产生上下移动，探测光束在反射镜上的位置发生变化，出射光束的位置和投射在光电探测器光敏面上的光斑位置发生相应变化；本发明具有测量系统简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN102412495A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110267368.0
申请日：2011-09-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种CO2激光在扇形周期性晶体中产生可调谐太赫兹波的方法，步骤为：①利用一台可调谐双波长输出的CO2激光器，产生两束可调谐的中红外激光；②使两束中红外激光传播方向共线；③将非线性晶体放置在激光束的光路上，该非线性晶体为周期性反转的扇形结构，晶体的反转周期长度是连续变化的，非线性晶体反转周期的长度满足准相位匹配条件；④改变CO2激光器所输出的中红外激光束的波长，连续平移扇形结构非线性晶体，以改变晶体的周期，实现THz波的可调谐输出。本发明调谐范围广，能够利用晶体的最大非线性系数和最大晶体长度，提高了转换效率。基于此调谐技术的太赫兹源，可广泛应用于医学成像、安全检查、环境监测、药物检测和太赫兹通讯等领域。
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公开(公告)号：CN113173559B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202110470835.3
申请日：2021-04-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法，属于半导体学中的微观结构技术领域。包括：将2.5D微纳结构的高度分成2N个等级，建立对应的N张二元曝光版图，其中N＞I；再获取所述N张二元曝光版图的并集，建立一个额外的补偿版图；在硅片上旋涂光刻胶后进行N+1次分层曝光，获取包含2N种高度的光刻胶层；以光刻胶层作掩膜进行干法刻蚀制备纳米压印模板，通过软膜热固化纳米压印，再加上紫外固化纳米压印的二次转印即可批量生产。本发明的纳米压印模板图形精度高，具有2N个不同高度，且通过软膜转印、纳米压印、干法刻蚀制备的微纳结构效率高、成品率高、尺寸精确。
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公开(公告)号：CN103163743B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310062528.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于激光技术领域，公开了一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法，该产生装置包括真空腔室以及位于真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；还包括驱动光源和辅助光源；辅助光源用于产生辅助激光，辅助激光辐射所述固体靶材并使得固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；电机用于带动固体靶材旋转，驱动光源用于产生驱动激光，驱动激光通过聚焦镜聚焦后辐射固体靶材的热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。本发明由于采用辅助光源来加热固体靶材，使得整个装置简化、实现方式简单且扩大了靶材材料的选择范围。
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