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公开(公告)号:CN102155922A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110053548.9
申请日:2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。
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公开(公告)号:CN110174054B
公开(公告)日:2020-12-11
申请号:CN201910479875.7
申请日:2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次,使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8,同时,所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构,即测量光束与参考光束的传播路径相似,光程差主要由被测试样的长度引起,因此,测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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公开(公告)号:CN108007392A
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201711306080.3
申请日:2017-12-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置,属于光电测量技术领域。方法为:可调控的钟形波电信号加载于发光电子器件之上产生信号光;信号光分为相同的两路,一路信号光经转换变成电信号并传输给上位机;另一路信号光传输给动态光电显微镜,动态光电显微镜输出电信号传输给上位机;两路电信号进行对比,即实现校准。装置包括控制及信息处理模块,调频控制模块,光学输出模块,光学接收模块,动态光电显微镜(校准对象)。用于解决现有动态光电显微镜的瞄准触发动态校准问题,具有较好的适应性和同步测量瞄准测量的评价能力,可以在稳定位置结构的条件下,完成动态光电显微镜瞄准触发信号的动态特性校准。
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公开(公告)号:CN104266593A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201410569205.1
申请日:2014-10-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种采用双可调激光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明采用两套以波长可调激光为光源的法布里-珀罗干涉仪对被测目标的位移进行测量,通过用两个可调光源对法布里-珀罗腔不同谐振模态的频率进行交替跟踪,在保持法布里-珀罗干涉仪高测量分辨力的同时,实现了位移测量范围的扩大。该系统有效地解决了提高干涉仪测量分辨力和扩大测量范围之间的矛盾,可以应用于纳米级准确度微位移测量。
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公开(公告)号:CN102155986B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110053568.6
申请日:2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种用于激光测振仪的光频式计量测试装置,属于激光测振仪计量技术领域。由一个或者一个以上的光频调制器、信号发生装置、光学组件、精密姿态调整机构、控制系统及数据采集系统组成,其中光学组件负责光频调制的必要的分光、准直和汇聚。本发明采用光频调制的方法建立激光测振仪的等效测量工作环境,模拟的速度信号范围宽,能满足激光测振仪稳态特性校准的计量要求,解决了目前激光测振仪高速测量模式无法计量的问题;适用于多种激光测振仪的实验室计量校准,实现对激光测振仪的关键技术指标如:灵敏度、幅值线性度、测量限等的标定、验证,保证了激光测振仪测量数据的准确性。
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公开(公告)号:CN102155986A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110053568.6
申请日:2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种用于激光测振仪的光频式计量测试装置,属于激光测振仪计量技术领域。由一个或者一个以上的光频调制器、信号发生装置、光学组件、精密姿态调整机构、控制系统及数据采集系统组成,其中光学组件负责光频调制的必要的分光、准直和汇聚。本发明采用光频调制的方法建立激光测振仪的等效测量工作环境,模拟的速度信号范围宽,能满足激光测振仪稳态特性校准的计量要求,解决了目前激光测振仪高速测量模式无法计量的问题;适用于多种激光测振仪的实验室计量校准,实现对激光测振仪的关键技术指标如:灵敏度、幅值线性度、测量限等的标定、验证,保证了激光测振仪测量数据的准确性。
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公开(公告)号:CN111537552B
公开(公告)日:2022-08-09
申请号:CN202010588332.1
申请日:2020-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明的一种低膨胀材料线膨胀系数测量装置及方法,属于测量技术领域。本发明采用法布里‑珀罗干涉仪测量试样的长度,利于提高测量准确性。本发明采用声光调制器产生附加光频移动,利用由同一套稳频激光器、高速光电接收器和频率计数器组成的频率测量系统能够完成对法布里‑珀罗干涉仪两个相邻谐振峰的频率测量,在不显著增加系统成本情况下,实现测量试样长度。本发明能够对不同温度下的试样长度进行绝对测量,突破通常法布里‑珀罗干涉仪测量范围小的局限,且不需要干涉测长系统连续工作,操作方便。综上,本发明具有测量准确度高、测量范围大、干涉系统结构简单且不需要长时间连续工作等优点,在低膨胀材料线膨胀系数测量方面有重要应用价值。
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公开(公告)号:CN110174054A
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910479875.7
申请日:2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次,使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8,同时,所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构,即测量光束与参考光束的传播路径相似,光程差主要由被测试样的长度引起,因此,测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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公开(公告)号:CN108279509A
公开(公告)日:2018-07-13
申请号:CN201810076304.4
申请日:2018-01-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置,属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里-珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域,以解决因为法布里-珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题,通过引入一块过渡参考镜,使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准,实现了平凹腔法布里-珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成,本发明方法能够提高平凹腔法布里-珀罗干涉仪的调整精度和调整速度,在应用法布里-珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。
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公开(公告)号:CN104266593B
公开(公告)日:2017-01-18
申请号:CN201410569205.1
申请日:2014-10-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种采用双可调激光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明采用两套以波长可调激光为光源的法布里-珀罗干涉仪对被测目标的位移进行测量,通过用两个可调光源对法布里-珀罗腔不同谐振模态的频率进行交替跟踪,在保持法布里-珀罗干涉仪高测量分辨力的同时,实现了位移测量范围的扩大。该系统有效地解决了提高干涉仪测量分辨力和扩大测量范围之间的矛盾,可以应用于纳米级准确度微位移测量。
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