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公开(公告)号：CN110244081A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910635444.5
申请日：2019-07-15
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热膨胀流三轴加速计，包括：顶盖和底座；顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，凸缘内设置有圆柱形上腔室，上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝；所述底座的顶面设置有与所述凸缘相适配的凹槽，所述凹槽内设置有圆柱形下腔室，所述下腔室内设置有两两相对且平行的四对绝缘子，每对绝缘子上设置有一根热敏丝；用于敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝中心设置有热源硅片，所述热源硅片通过绝缘子固定设置在所述下腔室内。本发明可以实现三轴加速度的测量。其结构简单、寿命长、抗冲击能力强、成本低，同时可抵抗外界环境的干扰和提高流体加速度计的灵敏度。
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公开(公告)号：CN106352865B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201510415598.5
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式平面双轴角速度传感器，由开放式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式平面双轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；入口敏感室和出口敏感室的宽度相同；两对平行热线分别设置在入口敏感室和出口敏感室，分别与两个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体。
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公开(公告)号：CN106989741A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710159244.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺，该射流陀螺包括四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中敏感元件包括压环、压电陶瓷圆振子、PMMA板、硅板；压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA板上，并用压环固定它的边缘；PMMA板设置有气流通道；硅板上设置有气流通道和热线；PMMA板、硅板依次粘接构成所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件。本申请提出了一种只用四根热线就能敏感三个正交轴—X、Y和Z轴角速度的新的三轴敏感原理，敏感元件结构只有两层，因此这种射流陀螺热线少，结构简单，成品率高，功耗低，能敏感三个正交方向(X、Y、Z)角速度，多轴一体，而且三个方向灵敏度为同一数量级，实用化强。
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公开(公告)号：CN106352863A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510419856.7
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式Z轴气流角速度传感器，由开放式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式Z轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，出口敏感室中下硅板表面设置一对长的平行热线分别作为PCB电路板中惠斯登电桥的两个臂。本发明出口敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强。
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公开(公告)号：CN106338614A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510415596.6
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式Z轴PET角速度传感器，该气流式角速度传感器包括单循环气流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式Z轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有一对平行敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PET盖板、硅板和PET底座依次连接构成单循环气流式Z轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器射流敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强；以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，角速度传感器的稳定性好，角速度传感器灵敏度较大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106338615B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201510415600.9
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P3/28
Abstract: 本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和两对分别位于两个射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在两个不同的射流敏感室内分别与两个射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且两对热线分别串联，热线电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，比普通单射流敏感室的气流式角速度传感器的灵敏度高，实用性强。
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公开(公告)号：CN106338614B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510415596.6
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式Z轴PET角速度传感器，该气流式角速度传感器包括单循环气流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式Z轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有一对平行敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PET盖板、硅板和PET底座依次连接构成单循环气流式Z轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器射流敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强；以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，角速度传感器的稳定性好，角速度传感器灵敏度较大。
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公开(公告)号：CN109164274A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811275837.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN104777330B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201410014008.3
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明单岛多电极石英加速度计属于利用多电极石英力敏谐振器为敏感核心元件进行线加速度测量的领域。这种加速度计将加速运动时所产生的惯性力作用到多电极石英力敏谐振器，通过检测谐振器谐振频率的变化量得到对应的待测加速度。这种加速度计由底座、外壳、电路板、敏感元件及航空插座组成。底座与外壳构成密闭腔体，敏感元件安装在底座上，电路板安装在敏感元件上，插座安装在外壳上。敏感元件的单岛基座和密封罩紧密配合构成密封腔体，腔体内中央单岛的两则安装多电极石英力敏谐振器，单岛基座及中央单岛由一体加工而成，单岛基座上装有限位螺钉。该加速度计测量范围为10‑4g～102g，可用于飞行器、车辆、舰船等的检测控制系统。
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公开(公告)号：CN105066978B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510415599.X
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，该传感器包括单循环气流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有两对双自由度敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路。本申请的气流式角速度传感器能抗高过载、耐强冲击；制作成本仅为全硅结构的1/10；能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交方向的角速度，两个方向角速度信号的灵敏度一致性好，便于角速度信号的采集和控制，实用性强。
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