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公开(公告)号：CN106206237A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610796166.8
申请日：2016-08-31
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: H01J41/04
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的碳纳米管阴极电离规，属于真空测量技术领域。该电离规主要包括碳纳米管阴极电子源、门极栅、阳极栅和离子收集极；其中，阳极栅为圆筒状结构，其顶端和筒身均为网状结构，底端为封闭结构；离子收集极的材质为金属，为一端开口的圆筒状结构，其外径大于阳极栅的外径；阳极栅、离子收集极、门极栅和碳纳米管阴极电子源同轴布置，且阳极栅套装在离子收集极的内部，门极栅布置在阳极栅和碳纳米管阴极电子源之间。该电离规可有效的增大气相分子产生离子的收集效率，提高碳纳米管阴极电离规的灵敏度，其测量下限达10-9Pa。
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