一种阻性类金刚石碳基薄膜材料的制备方法

    公开(公告)号:CN108707863B

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201810369646.5

    申请日:2018-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种阻性类金刚石碳基薄膜材料的制备方法,该方法适合于采用非平衡直流磁控溅射沉积技术在微结构气体探测器电极基体表面依次通过高能等离子体轰击、刻蚀和溅射高纯石墨靶材而制备类金刚石碳基薄膜材料。通过本发明方法不仅可以制备出厚度均匀性好、膜基结合力强的类金刚石碳基薄膜材料,同时可以调控类金刚石碳基薄膜的面电阻率。本发明方法所制备的阻性类金刚石碳基薄膜材料适合用于制作微结构气体探测器的阻性电极,具有很好的应用前景和价值。

    轴承球滚动体全表面润滑耐磨涂层的批量制备方法

    公开(公告)号:CN105779946A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201410792168.0

    申请日:2014-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种轴承球滚动体全表面润滑耐磨涂层的批量制备方法,该方法将滚动体放入镀膜支撑装置中,采用物理气相沉积技术在轴承球滚动体(钢球、陶瓷球)全表面镀制薄厚均一、性能优良的润滑耐磨涂层,镀膜支撑装置包括其形状为空心圆柱体的不锈钢网子和置于网子轴线上的作为网子转动轴的不锈钢丝杠,不锈钢丝杠通过齿轮与真空腔体内的转动架相连,网子在真空腔体内做匀速转动,滚动体在网子中做自由滚体运动。与现有技术相比,本发明具有能进行批量稳定制备的优点,并且制备出的涂层具有硬度高、韧性好、减摩、耐磨性好等优点,提高了滚珠轴承的质量和性能。

    用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN101748370B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN200810189022.1

    申请日:2008-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术,能够在工件表面获得微织构形貌造型,然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后,通过镀制钛过渡层,掺杂钛的类金刚石薄膜,能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能,摩擦系数降低高达40%,耐磨性提高1~3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化,延长使用寿命。

    一种聚合物复合铜箔铜种子层的制备方法

    公开(公告)号:CN116334556B

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202310243169.9

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 本发明公开了涉及聚合物复合铜箔技术领域的一种聚合物复合铜箔铜种子层的制备方法,步骤1,采用高能量非金属离子束,对聚合物薄膜的表面进行刻蚀活化,得到活化后的聚合物薄膜;步骤2,采用磁控溅射,在活化后的聚合物薄膜的表面沉积金属离子,形成聚合物‑金属互穿网络结构;步骤3,在聚合物‑金属互穿网络结构表面沉积纳米厚度的铜种子层,通过低基底偏压、还原性气氛、低沉积气压和磁场增强实现高导电铜种子层的择优取向快速沉积。本发明提供的铜种子层具有高的结合强度、优异的导电性能和抗氧化性能,所属制备方法具有较高沉积速率,可进一步提高生产效率。

    一种聚合物复合铜箔铜种子层的制备方法

    公开(公告)号:CN116334556A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310243169.9

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 本发明公开了涉及聚合物复合铜箔技术领域的一种聚合物复合铜箔铜种子层的制备方法,步骤1,采用高能量非金属离子束,对聚合物薄膜的表面进行刻蚀活化,得到活化后的聚合物薄膜;步骤2,采用磁控溅射,在活化后的聚合物薄膜的表面沉积金属离子,形成聚合物‑金属互穿网络结构;步骤3,在聚合物‑金属互穿网络结构表面沉积纳米厚度的铜种子层,通过低基底偏压、还原性气氛、低沉积气压和磁场增强实现高导电铜种子层的择优取向快速沉积。本发明提供的铜种子层具有高的结合强度、优异的导电性能和抗氧化性能,所属制备方法具有较高沉积速率,可进一步提高生产效率。

    宽温域耐磨自润滑CrVN/Ag复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN114703454B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202210372300.7

    申请日:2022-04-08

    Abstract: 本发明公开了一种宽温域耐磨自润滑CrVN/Ag复合涂层及其制备方法。所述复合涂层包括粘结层、梯度层和耐磨自润滑面层,所述粘结层为Cr层,所述梯度层包括CrN层、CrVN层和CrVN/Ag层,所述耐磨自润滑面层包括氮化物陶瓷相和Ag相,所述氮化物陶瓷相包括VN和CrN。本发明采用磁控溅射技术制备出CrVN/Ag复合涂层,该复合涂层不仅具有致密的内部结构且具有较高的结合强度,VN和CrN在高温摩擦过程中通过摩擦化学反应生成氧化钒、氧化铬以及钒酸银等高温固体润滑剂,具有优异的低摩擦高抗摩性能,有效改善零部件在宽温域(RT‑750℃)区间内的润滑抗磨问题,延长材料在宽温域服役条件下的使用寿命。

    一种Ti基耐蚀导电非晶结构涂层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN115652255A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202211375939.7

    申请日:2022-11-04

    Abstract: 本发明提供了一种Ti基耐蚀导电非晶结构涂层的制备方法,属于燃料电池技术领域。本发明在Ti防护层中引入类金属元素(C、B和Si中的一种或几种),在磁控溅射沉积过程中,类金属元素作为非晶形成能力元素,由于其原子尺寸小,加入Ti中使体系原子尺寸差较大,混乱度增加,长程无序性增加,同时也会增强非晶的形成与稳定;Ti与类金属元素间具有较大的负混合焓,能够与周围彼此约束的近邻原子形成类似网状结构或骨架结构,所得非晶基涂层消除了物理气相沉积涂层常见的柱状结构生长,使涂层的贯穿性孔隙、缺陷减少甚至消除。同时,非晶涂层的存在有效阻隔了腐蚀性介质进入Ti基底表面,对Ti基底材料可起到耐蚀保护作用。

    一种指尖密封用高温耐磨自润滑涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN115287592A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210959703.1

    申请日:2022-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种指尖密封用高温耐磨自润滑涂层及其制备方法。所述高温耐磨自润滑涂层包括沿厚度方向依次层叠的:金属Me粘结层、成分梯度过渡层以及高温耐磨自润滑面层;所述成分梯度过渡层为Me‑MeN‑MeN/MoS2过渡层;所述高温耐磨自润滑面层为MeN/MoS2复合层。本发明提供的高温耐磨自润滑涂层具有高硬度、强结合力、低内应力与耐高温热循环冲击等优点,在高温摩擦中被氧化生成具有优异润滑效果的氧化产物,显著降低了指尖密封结构的摩擦系数和磨损率,并显著提高了密封性;通过在指尖密封摩擦面沉积高温耐磨自润滑涂层,有效降低了其更换频率,节省了制造与更换成本,同时延长了长效服役寿命,保障了的设备的稳定性。

Patent Agency Ranking