公开(公告)号：CN113005516A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202110201711.5

申请日：2016-10-14

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  住友电工硬质合金株式会社

Inventor： 西林良树 ,  辰巳夏生 ,  野原拓也 ,  小林丰 ,  植田晓彦

IPC: C30B29/04 ,  C30B25/16 ,  C30B31/22 ,  C30B33/00 ,  C23C16/27 ,  C23C16/52 ,  C23C16/56 ,  C23C16/01 ,  B23B27/20 ,  B21C3/02

Abstract: 本发明提供了一种单晶金刚石，其包括一组彼此相对的主表面，其中，在主表面中，杂质浓度沿着第一方向变化。

公开(公告)号：CN108474136B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201780007532.X

申请日：2017-01-18

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  住友电工硬质合金株式会社

Inventor： 野原拓也 ,  辰巳夏生 ,  西林良树 ,  角谷均 ,  小林丰 ,  植田晓彦

IPC: C30B29/04 ,  A44C27/00 ,  C01B32/26 ,  C23C16/01 ,  C23C16/27 ,  C30B25/08 ,  C30B25/20 ,  H01L21/205

Abstract: 本发明提供一种制造单晶金刚石的方法、所述方法包括如下步骤：在辅助板的至少一部分表面上形成保护膜的步骤；准备金刚石籽晶衬底的步骤；将具有保护膜的辅助板和金刚石籽晶衬底布置在腔室内的步骤，在所述具有保护膜的辅助板中所述保护膜形成在所述辅助板上；以及在将含碳气体引入所述腔室内的同时通过化学气相沉积法在所述金刚石籽晶衬底的主面上生长单晶金刚石的步骤。

公开(公告)号：CN111133134A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201880060767.X

申请日：2018-09-14

Applicant: 住友电气工业株式会社 ,  住友电工硬质合金株式会社

Inventor： 辰巳夏生 ,  西林良树 ,  野原拓也 ,  植田晓彦 ,  小林丰

IPC: C30B29/04 ,  C23C16/27 ,  C30B25/02

Abstract: 本发明涉及一种单晶金刚石，所述单晶金刚石包含：在观察表面中观察到的杂质总浓度不同的n种类型的区域，所述观察表面与(110)面平行并且具有不大于5μm的表面粗糙度Ra，所述观察表面是通过对所述单晶金刚石的表面进行研磨而得到的，其中n为2或3。所述n种类型的区域各自具有不小于0.1μm2的面积。在所述观察表面上的第一条线、第二条线和第三条线中的至少一条与所述n种类型的区域之间的边界交叉至少四次。所述第一条线、所述第二条线和所述第三条线是与 方向平行并且具有1mm长度的线段。所述第一条线的中点对应于所述观察表面的重心。所述第二条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。所述第三条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。

公开(公告)号：CN111032932A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880052808.0

申请日：2018-08-13

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 西林良树 ,  辰巳夏生 ,  滨木健成

IPC: C30B33/12 ,  C04B41/91

Abstract: 一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料由至少具有含有固体碳的表面的材料构成；形成气相流体的步骤，所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种；和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。

公开(公告)号：CN106661759B

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201580043048.3

申请日：2015-08-10

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 西林良树 ,  辰巳夏生 ,  角谷均

IPC: C30B29/04 ,  C23C16/27

Abstract: 提供一种能缩短分离衬底和金刚石层的分离时间的金刚石复合体、衬底和制造金刚石的方法、以及从所述金刚石复合体获得的金刚石和包括所述金刚石的工具。所述金刚石复合体包括：包括金刚石籽晶并在主表面中具有沟槽的衬底，形成在所述衬底的主表面上的金刚石层，以及在距所述衬底和所述金刚石层之间的界面恒定深度处形成在衬底侧上的非金刚石层。

公开(公告)号：CN107848002B

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201680043048.8

申请日：2016-07-22

Applicant: 住友电工硬质合金株式会社 ,  住友电气工业株式会社 ,  联合材料公司

Inventor： 汤川实 ,  末光文也 ,  木下卓哉 ,  住本繁俊 ,  小林丰 ,  植田晓彦 ,  辰巳夏生 ,  西林良树 ,  角谷均

IPC: B21C3/02 ,  C23C16/27 ,  C30B29/04

Abstract: 一种金刚石拉丝模，其包括设置有用于拉拔丝材的孔的金刚石，所述金刚石是CVD单晶金刚石，所述孔的轴相对于所述金刚石的晶面的法线方向倾斜。

公开(公告)号：CN107848002A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680043048.8

申请日：2016-07-22

Applicant: 住友电工硬质合金株式会社 ,  住友电气工业株式会社 ,  联合材料公司

Inventor： 汤川实 ,  末光文也 ,  木下卓哉 ,  住本繁俊 ,  小林丰 ,  植田晓彦 ,  辰巳夏生 ,  西林良树 ,  角谷均

IPC: B21C3/02 ,  C23C16/27 ,  C30B29/04

Abstract: 一种金刚石拉丝模，其包括设置有用于拉拔丝材的孔的金刚石，所述金刚石是CVD单晶金刚石，所述孔的轴相对于所述金刚石的晶面的法线方向倾斜。

公开(公告)号：CN1813329A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200480018499.3

申请日：2004-09-15

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 辰巳夏生 ,  西林良树 ,  今井贵浩

IPC: H01J1/304 ,  H01J1/308

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J1/308 ,  H01J2237/06325 ,  H01J2237/3175

Abstract: 提供了一种比传统器件更小的、能够在更低电压下、更有效地进行操作的电子发射器件。该器件包括用于向阴极照射光线的光发射器件，其中至少阴极的电子发射面是由金刚石做成的。通过按照这种方式组成器件，可以使抽出电子的电压比传统器件降低很大余量，并因此获得能够以低电压进行操作的小器件。优选地，将光发射器件与阴极形成一个单元，同样优选地，光发射器件和电极是由金刚石做成的。此外，优选地，阴极的电子发射面是n－或p－型金刚石半导体。