公开(公告)号：CN114371148A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202210057225.5

申请日：2022-01-19

Applicant: 之江实验室

Inventor： 庞陈雷 ,  杨青 ,  王智 ,  陆宏杰 ,  罗志荣 ,  王兴锋 ,  刘旭

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/45 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。

公开(公告)号：CN113791472A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202111365523.2

申请日：2021-11-18

Applicant: 之江实验室

Inventor： 李庆鹏 ,  翟跃阳 ,  郝剑 ,  唐照建 ,  陆宏杰

IPC: G02B6/26 ,  G02B7/02

Abstract: 本发明公开了一种可多维度精密调节的光纤耦合器，包括箱体、偏移板、透镜单元、Z向调节螺钉、调节机构和光纤接头，所述箱体内通过若干个Z向调节螺钉螺纹连接所述偏移板，所述偏移板上磁性吸附连接所述透镜单元，所述箱体上固定连接有光纤接头，所述透镜单元侧面在所述箱体内设有所述调节机构，本发明体积较小，不依赖于额外的移动平台辅助调节，便于集成到其他光学装置中，有益于实现光学装置的小型化，本发明可以灵活稳定地调节六个自由度，且小螺距的精密细牙调节螺钉配合压缩弹簧，提高了装置的稳定性。