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公开(公告)号：CN114019766B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202111266973.6
申请日：2021-10-28
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种利用千束独立可控PPI点阵进行高通量直写的装置，该装置主要包含激发光和抑制光两路光，激发光路包含核心元件数字微镜阵列DMD、微透镜阵列MLA和连续变形镜DM，抑制光路包括核心元件空间光调制器SLM。本发明利用微透镜阵列MLA产生千束激发光点阵，利用高速连续变形镜DM矫正系统波前像差，实现点阵分布均匀性和光斑质量的优化，利用数字微镜阵列DMD对点阵的开关、强度进行独立调控，抑制光路通过空间光调制器SLM产生四束光，四束光在物镜焦平面干涉产生的点阵暗斑用于涡旋抑制光，与激发光点阵在物镜焦平面重合后形成千束PPI点阵，可实现大面积复杂三维结构的超分辨高通量灵活刻写。
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公开(公告)号：CN116300328A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310063548.X
申请日：2023-01-13
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种激光直写光源和激光直写装置，包括控制器、激光器组、单模光纤组以及光学端口，所述激光器组包括多个激光器且所有所述激光器均电连接至所述控制器，所述单模光纤组包括与所述激光器数量相同的单模光纤，所述单模光纤的一端连接至对应的所述激光器，所述单模光纤的另一端连接至所述光学端口。激光器组通过单模光纤组在光学端口处形成了激光点阵。控制器对每个激光器分别控制能量大小和通断，由此控制光学端口中激光点阵的形状和各个激光点的能量大小，从而更加方便地进行激光直写。各个激光点是由各个激光器独立产生，激光点之间不需要进行匹配，因此激光点阵的控制和改变也就特别容易和精准，在进行直写过程中也就更加稳定。
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公开(公告)号：CN116300310A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310020668.1
申请日：2023-01-06
Abstract: 一种利用光引发剂实现超分辨激光直写与成像的方法，通过在光刻胶单体中加入的光引发剂7‑二乙基氨‑3‑(2‑噻吩基)香豆素(DETC)，利用边缘光抑制效应(PPI)，可以实现高精度激光直写；同时，利用其本身的荧光发光特性，及其存在的本征受激辐射效应，还可以实现超分辨受激辐射损耗显微成像(STED)。本发明利用DETC这些特性，在同一个装置中同时构建激光直写系统和显微成像系统，同时实现高精度刻写与超分辨成像。相比于掺杂荧光染料的方式，简化了光刻胶的成分，在一个系统中同时实现高精度刻写与超分辨成像，将刻写系统中的抑制光光路复用于成像系统中的损耗光路，有效简化了系统。本发明还包括一种利用光引发剂实现超分辨激光直写与成像的装置。
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公开(公告)号：CN115980999A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310243262.X
申请日：2023-03-14
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于光学系统的光束自动校准装置及方法，通过运用前置运算放大器、高精度模数转换芯片ADC电路采集探测器的信号，经过模数转换后在逻辑芯片进行算法实现；其后逻辑芯片再输出一组新的信号，经过后置运算放大器、高精度数模转换芯片DAC、变压器等处理，再输送至后端设备，可实现光束校准。本发明使用当前性能较高的集成电路，对光束校准测量的精度把控更精准，响应速度较快，整个装置低成本、低功耗，算法植入后全自动运作，并且可通过上位机的软件实时关注装置的工作状态。本发明采用独立芯片来采集信号、处理模数、数模转换，或者是算法运行，无论从精度上、或者是运行效率上，都高于传统设计。
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公开(公告)号：CN115327867B
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211253404.2
申请日：2022-10-13
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置，使用位移台与转镜同步运动算法，首先基于激光器产生激光束，基于电光/声光调制器实现激光强度高速调制，基于任意波形发生器产生高速调制信号控制；然后启动位移台，按照预设路径移动，经过预设触发位置时产生触发信号；再基于数据采集卡采集触发信号，获得触发后打开转镜触发激光器，基于转镜位置激光器获得转镜扫描起始点信号，用于启动任意波形发生器输出高速调制信号；最后位移台匀速移动到下一个触发位置产生触发信号，直到位移台预设路径移动结束，完成刻写。本发明基于位移台与转镜同步运动算法，有效解决了现有激光直写光刻系统无法实现高速高精度对准的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118892305B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411393670.4
申请日：2024-10-08
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明涉及一种多通道光声显微成像方法及装置，包括光源、扩束镜、数字微镜阵列、第一透镜、第二透镜、微透镜阵列、第三透镜、物镜、超声点探测器、样品运动台；其中光源发射的脉冲激光经过扩束镜后以一定偏角入射到数字微镜阵列上，其反射光经过一组焦距相等的第一、第二透镜投射到微透镜阵列上，在微透镜阵列焦面形成多通道激光点阵，再经过第三透镜和物镜成像到样品表面，多通道激光阵列聚焦在样品表面激发样品组织产生超声信号，超声点探测器将产生的超声信号接收并放大处理后重构出样品目标图形。本发明采用数字微镜阵列和微透镜阵列对光束进行调制，成像速度快、系统结构简单、成本低、普适性广，可以广泛的应用于生物组织医疗成像领域。
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公开(公告)号：CN118892305A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202411393670.4
申请日：2024-10-08
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明涉及一种多通道光声显微成像方法及装置，包括光源、扩束镜、数字微镜阵列、第一透镜、第二透镜、微透镜阵列、第三透镜、物镜、超声点探测器、样品运动台；其中光源发射的脉冲激光经过扩束镜后以一定偏角入射到数字微镜阵列上，其反射光经过一组焦距相等的第一、第二透镜投射到微透镜阵列上，在微透镜阵列焦面形成多通道激光点阵，再经过第三透镜和物镜成像到样品表面，多通道激光阵列聚焦在样品表面激发样品组织产生超声信号，超声点探测器将产生的超声信号接收并放大处理后重构出样品目标图形。本发明采用数字微镜阵列和微透镜阵列对光束进行调制，成像速度快、系统结构简单、成本低、普适性广，可以广泛的应用于生物组织医疗成像领域。
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公开(公告)号：CN117706880A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410057491.7
申请日：2024-01-15
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明涉及一种激光直写装置、光栅的制备方法、菲尼尔透镜的制备方法及应用，在光路传播方向上依次包括多光束光源、刻写光路和样品台；其中，多光束光源包括转动单元以及至少两根光纤头，所述转动单元具有第一转轴，所述光纤头的延伸方向和第一转轴平行，且所述光纤头和所述第一转轴间隔设置，所述转动单元用于控制所述光纤头绕第一转轴转动。
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公开(公告)号：CN116540504A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310807886.X
申请日：2023-07-04
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统，属于超精密光学成像与刻写技术领域，包括光源与刻写模块，其中光源为连续谱光源；光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件，以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块；光束调节组件包括滤波模块，和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比，本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路，可同时实现多通道不同波长的光束调制，多光束可互相配合，通过不同轴汇合或同轴重合方式，实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
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公开(公告)号：CN115826214A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211480569.3
申请日：2022-11-23
Abstract: 本发明公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测方法，该方法基于分别放置在共焦差分光路中的焦前和焦后位置上的两路图像传感器，通过将两路图像传感器获取的离焦光斑形状进行差分，结合后期图像处理，实现了焦面的实时探测跟踪与补偿。还公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测装置，包括位于光学系统中心光轴上依次排布的光源、滤波准直装置、二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片、物镜、样品，以及与偏振分光棱镜共轴依次布置的会聚透镜、分光棱镜和两路图像传感器。本发明与现有的其他焦面检测方法相比，具有装置简单，抗干扰能力强的优点，能实现高精度焦面跟踪定位与补偿。
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